문맥 (context)
[청구항1]
외부와 격리되어 진공상태를 유지하는 반응실과, 이 반응실의 내부에 설치되어 기판이 안착되는 서셉터와, 상기 서셉터에 안착된 기판 상에 박막을 형성하기 위하여 이종(異種)의 프로세스가스를 분사하는 가스분사장치로 이루어지는 화학기상증착 반응기에 있어서
상기 가스분사장치는 가스분사장치 코어와, 이 가스분사장치 코어를 반응실 상부에 고정하기 위한 가스분사장치 하우징으로 이루어지되, 상기 가스분사장치 코어는 적어도 하나 이상의 분리된 프로세스가스가 서로 다른 분사핀을 통해 반응실 내부로 유입되고, 1000℃ 이상의 고온에서 사용하도록 냉각수층이 구비되며, 상기 가스분사장치 코어는 가스분사장치 하우징에 기밀의 유지가 가능한 신축 벨로우즈로 연결되어 상하 이동이 가능하도록 된 것을 특징으로 하는 화학기상증착 반응기의 가스분사장치
[청구항2]
청구항 1에 있어서,상기 가스분사장치 코어와 가스분사장치 하우징은 분리가 가능하도록구성된것을특징으로 하는화학기상증착 반응기의 가스분사장치.
[청구항3]
청구항 1에 있어서,상기 가스분사장치 코어와 가스분사장치 하우징의 사이로 퍼지가스 공급부가 구비되어 퍼지가스가 반응실 내부로 공급되도록구성된것을특징으로 하는화학기상증착 반응기의 가스분사장치.
[청구항4]
청구항 1에 있어서,상기 가스분사장치 코어는 외부 전기 신호의 의해 동작하는 액추에이터에 의해이루어지는것을특징으로 하는화학기상증착 반응기의 가스분사장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
가스분사장치 코어는 어떠한 구성요소를 포함하며, 하우징과의 연결 방식 및 작동 방식은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation가스분사장치 코어의 구성, 하우징과의 연결 구조, 작동 메커니즘을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction코어의 구성(분리된 프로세스가스, 분사핀, 냉각수층), 연결 방식(신축 벨로우즈), 작동 방식(액추에이터) 정보를 추출한다.
- 적어도 하나 이상의 분리된 프로세스가스가 서로 다른 분사핀을 통해 반응실 내부로 유입
- 1000℃ 이상의 고온에서 사용하도록 냉각수층이 구비
- 가스분사장치 하우징에 기밀의 유지가 가능한 신축 벨로우즈로 연결되어 상하 이동이 가능
- 외부 전기 신호의 의해 동작하는 액추에이터에 의해이루어지는것
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 코어의 구성, 연결, 작동에 관한 핵심 문구를 선택한다.
- 분리된 프로세스가스가 서로 다른 분사핀을 통해 반응실 내부로 유입
- 냉각수층이 구비
- 신축 벨로우즈로 연결되어 상하 이동이 가능
- 액추에이터에 의해이루어지는것
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4논리 통합
logical_integration추출된 정보를 종합하여 코어는 프로세스가스 유입을 위한 분사핀과 고온 대응을 위한 냉각수층을 가지며, 하우징과는 신축 벨로우즈로 연결되어 상하 이동이 가능하고, 액추에이터로 동작함을 정리한다.
- 분리된 프로세스가스가 서로 다른 분사핀을 통해 반응실 내부로 유입
- 냉각수층이 구비
- 신축 벨로우즈로 연결되어 상하 이동이 가능
- 액추에이터에 의해이루어지는것
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5결론 도출
conclusion_formulation가스분사장치 코어의 구성, 연결, 작동 방식을 하나의 완성된 설명으로 구성한다.
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6답변 생성
answer_generation최종 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 적어도 하나 이상의 분리된 프로세스가스가 서로 다른 분사핀을 통해 반응실 내부로 유입
- 1000℃ 이상의 고온에서 사용하도록 냉각수층이 구비
- 가스분사장치 하우징에 기밀의 유지가 가능한 신축 벨로우즈로 연결되어 상하 이동이 가능
- 외부 전기 신호의 의해 동작하는 액추에이터에 의해이루어지는것
- 분리된 프로세스가스가 서로 다른 분사핀을 통해 반응실 내부로 유입
- 냉각수층이 구비
- 신축 벨로우즈로 연결되어 상하 이동이 가능
- 액추에이터에 의해이루어지는것
최종 답변 (final_answer)
가스분사장치 코어는 서로 다른 분사핀을 통해 유입되는 하나 이상의 분리된 프로세스가스와 고온 사용을 위한 냉각수층을 포함한다. 코어는 가스분사장치 하우징과 기밀 유지가 가능한 신축 벨로우즈로 연결되어 상하 이동이 가능하며, 외부 전기 신호에 의해 동작하는 액추에이터에 의해 작동한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
가스분사장치 코어의 내부 구성(분사핀, 냉각수층), 하우징과의 기밀 연결 방식(신축 벨로우즈를 통한 상하 이동), 그리고 구동원(액추에이터)을 기술함.