보호막 형성용 약액의 조제 방법

[청구항5] 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 실릴화제가, 하기 일반식 [1]로 나타내어지는 규소 화합물로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1개인 것을 특징으로 하는, 발수성 보호막 형성용 약액의 조제 방법.(r1)asi(h)bx14-a-b [1][식 1 중, r1은, 각각 서로 독립하여, 일부 또는 전부의 수소 원소가 불소 원소로 치환되어 있어도 되는 탄소수가 1 내지 18의 1가의 탄화수소기를 포함하는 1가의 유기기이다. 또, x1은, 각각 서로 독립하여, 규소 원소와 결합하는 원소가 질소인 1가의 관능기, 규소 원소와 결합하는 원소가 산소인 1가의 관능기, 할로겐기, 니트릴기, 및, -co-nh-si(ch3)3로 이루어지는 군선택되는적어도 1개의 기를 나타낸다. a는 1∼3의 정수, b는 0∼2의 정수이고, a와 b의 합계는 1∼3이다.] [청구항6] 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 산이, 염화수소, 황산, 과염소산, 하기 일반식 [2]로 나타내어지는 술폰산 및 그 무수물, 하기 일반식 [3]으로 나타내어지는 카르본산 및 그 무수물, 알킬 붕산 에스테르, 아릴 붕산 에스테르, 트리스(트리플루오로아세톡시) 붕소, 트리알콕시보록신, 트리플루오로 붕소, 하기 일반식 [4]로 나타내어지는 실란 화합물로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1개인 것을 특징으로 하는, 발수성 보호막 형성용 약액의 조제 방법.r2s(o)2oh [2][식 2 중, r2는, 일부 또는 전부의 수소 원소가 불소 원소로 치환되어 있어도 되는 탄소수가 1 내지 18의 1가의 탄화수소기이다.]r3cooh [3][식 3 중, r3는, 일부 또는 전부의 수소 원소가 불소 원소로 치환되어 있어도 되는 탄소수가 1 내지 18의 1가의 탄화수소기이다.](r4)csi(h)dx24-c-d [4][식 4 중, r4는, 각각 서로 독립하여, 일부 또는 전부의 수소 원소가 불소 원소로 치환되어 있어도 되는 탄소수가 1 내지 18의 1가의 탄화수소기이다. 또, x2는, 각각 서로 독립하여, 클로로기, -oco-r5(r5는, 일부 또는 전부의 수소 원소가 불소 원소로 치환되어 있어도 되는 탄소수가 1 내지 18의 1가의 탄화수소기), 및, -os(o)2-r6(r6는, 일부 또는 전부의 수소 원소가 불소 원소로 치환되어 있어도 되는 탄소수가 1 내지 18의 1가의 탄화수소기)로 이루어지는 군선택되는적어도 1개의 기를 나타낸다. c는 1∼3의 정수, d는 0∼2의 정수이고, c와 d의 합계는 1∼3이다.] [청구항7] 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 염기가, 암모니아, n,n,n’,n’-테트라메틸에틸렌디아민, 트리에틸렌디아민, 디메틸아닐린, 알킬아민, 디알킬아민, 트리알킬아민, 피리딘, 피페라진, n-알킬모르폴린, 하기 일반식 [5]로 나타내어지는 실란 화합물로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1개인 것을 특징으로 하는, 발수성 보호막 형성용 약액의 조제 방법.(r7)esi(h)fx34-e-f [5][식 5 중, r7은, 각각 서로 독립하여, 일부 또는 전부의 수소 원소가 불소 원소로 치환되어 있어도 되는 탄소수가 1 내지 18의 1가의 탄화수소기이다. 또, x3는, 각각 서로 독립하여, 규소 원소와 결합하는 원소가 질소이고,불소원소나규소원소포함하고되는1가의 관능기이다. e는 1∼3의 정수, f는 0∼2의 정수이고, e와 f의 합계는 1∼3이다.] [청구항13] 제 9 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 실릴화제가, 하기 일반식 [1]로 나타내어지는 규소 화합물로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1개인 것을 특징으로 하는, 발수성 보호막 형성용 약액 키트의 조제 방법.(r1)asi(h)bx14-a-b [1][식 1 중, r1은, 각각 서로 독립하여, 일부 또는 전부의 수소 원소가 불소 원소로 치환되어 있어도 되는 탄소수가 1 내지 18의 1가의 탄화수소기를 포함하는 1가의 유기기이다. 또, x1은, 각각 서로 독립하여, 규소 원소와 결합하는 원소가 질소인 1가의 관능기, 규소 원소와 결합하는 원소가 산소인 1가의 관능기, 할로겐기, 니트릴기, 및, -co-nh-si(ch3)3로 이루어지는 군선택되는적어도 1개의 기를 나타낸다. a는 1∼3의 정수, b는 0∼2의 정수이고, a와 b의 합계는 1∼3이다.] [청구항14] 제 9 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 실릴화제가, 하기 일반식 [6]으로 나타내어지는 규소 화합물인 것을 특징으로 하는, 발수성 보호막 형성용 약액 키트의 조제 방법.r8gsix44-g [6][식 6 중, r8는, 각각 서로 독립하여, 수소기, 및, 일부 또는 전부의 수소 원소가 불소 원소로 치환되어 있어도 되는 탄소수가 1 내지 18의 1가의 탄화수소기에서 선택되는 적어도 1개의 기이고, 규소 원소와 결합하는 모든 상기 탄화수소기에 포함되는 탄소수의 합계는 6 이상이다. 또, x4는, 각각 서로 독립하여, 규소 원소와 결합하는 원소가 질소인 1가의 관능기, 규소 원소와 결합하는 원소가 산소인 1가의 관능기, 할로겐기, 니트릴기선택되는적어도 1개의 기이고, g는 1∼3의 정수이다.] [청구항15] 제 9 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 산이, 염화수소, 황산, 과염소산, 하기 일반식 [2]로 나타내어지는 술폰산 및 그 무수물, 하기 일반식 [3]으로 나타내어지는 카르본산 및 그 무수물, 알킬 붕산 에스테르, 아릴 붕산 에스테르, 트리스(트리플루오로아세톡시) 붕소, 트리알콕시보록신, 트리플루오로 붕소, 하기 일반식 [4]로 나타내어지는 실란 화합물로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1개인 것을 특징으로 하는, 발수성 보호막 형성용 약액 키트의 조제 방법.r2s(o)2oh [2][식 2 중, r2는, 일부 또는 전부의 수소 원소가 불소 원소로 치환되어 있어도 되는 탄소수가 1 내지 18의 1가의 탄화수소기이다.]r3cooh [3][식 3 중, r3는, 일부 또는 전부의 수소 원소가 불소 원소로 치환되어 있어도 되는 탄소수가 1 내지 18의 1가의 탄화수소기이다.](r4)csi(h)dx24-c-d [4][식 4 중, r4는, 각각 서로 독립하여, 일부 또는 전부의 수소 원소가 불소 원소로 치환되어 있어도 되는 탄소수가 1 내지 18의 1가의 탄화수소기이다. 또, x2는, 각각 서로 독립하여, 클로로기, -oco-r5(r5는, 일부 또는 전부의 수소 원소가 불소 원소로 치환되어 있어도 되는 탄소수가 1 내지 18의 1가의 탄화수소기), 및, -os(o)2-r6(r6는, 일부 또는 전부의 수소 원소가 불소 원소로 치환되어 있어도 되는 탄소수가 1 내지 18의 1가의 탄화수소기)로 이루어지는 군선택되는적어도 1개의 기를 나타낸다. c는 1∼3의 정수, d는 0∼2의 정수이고, c와 d의 합계는 1∼3이다.] [청구항16] 제 9 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 염기가, 암모니아, n,n,n’,n’-테트라메틸에틸렌디아민, 트리에틸렌디아민, 디메틸아닐린, 알킬아민, 디알킬아민, 트리알킬아민, 피리딘, 피페라진, n-알킬모르폴린, 하기 일반식 [5]로 나타내어지는 실란 화합물로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1개인 것을 특징으로 하는, 발수성 보호막 형성용 약액 키트의 조제 방법.(r7)esi(h)fx34-e-f [5][식 5 중, r7은, 각각 서로 독립하여, 일부 또는 전부의 수소 원소가 불소 원소로 치환되어 있어도 되는 탄소수가 1 내지 18의 1가의 탄화수소기이다. 또, x3는, 각각 서로 독립하여, 규소 원소와 결합하는 원소가 질소이고,불소원소나규소원소포함하고되는1가의 관능기이다. e는 1∼3의 정수, f는 0∼2의 정수이고, e와 f의 합계는 1∼3이다.]