문맥 (context)
[청구항2]
제 1 항에 있어서,상기 막두께조절판은 상기 개구면적을 증감시키는 방향으로 왕복이동 가능하도록 배열된다수의막두께조절판구성되는것을특징으로 하는성막장치.
제 1 항에 있어서,상기 막두께조절판은 상기 개구면적을 증감시키는 방향으로 왕복이동 가능하도록 배열된다수의막두께조절판구성되는것을특징으로 하는성막장치.
[청구항3]
제 2 항에 있어서,상기 진공챔버 외부에서 상기 막두께조절판들 각각을 구동 조작 가능하게 하는구동부더포함하는것을특징으로 하는성막장치.
제 2 항에 있어서,상기 진공챔버 외부에서 상기 막두께조절판들 각각을 구동 조작 가능하게 하는구동부더포함하는것을특징으로 하는성막장치.
[청구항4]
제 2 항에 있어서,상기 기재와 상기 재료보유부 사이에 상기 개구부를 형성하며, 상기 막두께조절판의 왕복이동 방향에 대응하는 방향으로 가이드홈이 상기 막두께조절판에 대응하는 수로 형성되어 있는 개구프레임을 더 포함하며,상기 각 막두께조절판에는 상기 가이드홈에 대응하는 가이드가 상기 구동부로부터 구동력 전달 가능하게마련되어있는것을특징으로 하는성막장치.
제 3 항에 있어서,상기 기재와 상기 재료보유부 사이에 상기 개구부를 형성하며, 상기 막두께조절판의 왕복이동 방향에 대응하는 방향으로 가이드홈이 상기 막두께조절판에 대응하는 수로 형성되어 있는 개구프레임을 더 포함하며,상기 각 막두께조절판에는 상기 가이드홈에 대응하는 가이드가 상기 구동부로부터 구동력 전달 가능하게마련되어있는것을특징으로 하는성막장치.
[청구항5]
제 4 항에 있어서,상기 구동부는 상기 막두께조절판에 대응하는 수로 상기 진공챔버 외부에 회전조작 가능하게 마련되는 조절노브와, 상기 조절노브의 회전운동을 상기 막두께조절판의 직선운동으로 전달하도록 상기 가이드와 연결된 이송스크류와,상기 조절노브의 회전축 단부와 이에 인접하는 상기 이송스크류 일단부에 상호 맞물림 회전하여 회전운동을 직선운동으로 변환하는기어부재갖는것을특징으로 하는성막장치.
제 4 항에 있어서,상기 구동부는 상기 막두께조절판에 대응하는 수로 상기 진공챔버 외부에 회전조작 가능하게 마련되는 조절노브와, 상기 조절노브의 회전운동을 상기 막두께조절판의 직선운동으로 전달하도록 상기 가이드와 연결된 이송스크류와,상기 조절노브의 회전축 단부와 이에 인접하는 상기 이송스크류 일단부에 상호 맞물림 회전하여 회전운동을 직선운동으로 변환하는기어부재갖는것을특징으로 하는성막장치.
[청구항6]
제 4 항에 있어서,상기 구동부는 상기 막두께조절판에 대응하는 수로 상기 진공챔버 외부에 설치되는 스탭모터와, 상기 스탭모터의 회전운동을 상기 막두께조절판의 직선운동으로 전달하도록 상기 가이드와 연결된 이송스크류와,상기 스탭모터의 회전축 단부와 이에 인접하는 상기 이송스크류 일단부에 상호 맞물림 회전하여 회전운동을 직선운동으로 변환하는기어부재갖는것을특징으로 하는성막장치.
제 4 항에 있어서,상기 구동부는 상기 막두께조절판에 대응하는 수로 상기 진공챔버 외부에 설치되는 스탭모터와, 상기 스탭모터의 회전운동을 상기 막두께조절판의 직선운동으로 전달하도록 상기 가이드와 연결된 이송스크류와,상기 스탭모터의 회전축 단부와 이에 인접하는 상기 이송스크류 일단부에 상호 맞물림 회전하여 회전운동을 직선운동으로 변환하는기어부재갖는것을특징으로 하는성막장치.
[청구항7]
제 2 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기재는 상기 개구부를 거쳐 이송되며, 상기 막두께조절판들은 상기 기재의 이송방향에 직교하는 방향으로 배열되어 상기 기재의 이송방향으로 왕복이동 가능하게 설치되어상기개구부의개구면적증감시키는것을특징으로 하는성막장치.
제 2 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기재는 상기 개구부를 거쳐 이송되며, 상기 막두께조절판들은 상기 기재의 이송방향에 직교하는 방향으로 배열되어 상기 기재의 이송방향으로 왕복이동 가능하게 설치되어상기개구부의개구면적증감시키는것을특징으로 하는성막장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
성막장치의 구동부에서 조절노브의 회전운동이 막두께조절판의 직선운동으로 전달되기 위해 필요한 구성 요소들은 무엇이며, 각 요소는 어떻게 연결되어 있는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation청구항 5를 분석하여 조절노브의 회전운동이 막두께조절판의 직선운동으로 변환되는 메커니즘과 구성 요소를 파악해야 한다.
- 상기 구동부는 상기 막두께조절판에 대응하는 수로 상기 진공챔버 외부에 회전조작 가능하게 마련되는 조절노브와
-
2정보 추출
information_extraction구동부를 구성하는 세 가지 핵심 요소인 조절노브, 이송스크류, 기어부재를 추출한다.
- 조절노브
- 이송스크류
- 기어부재
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3근거 선택
evidence_selection각 구성 요소 간의 물리적 연결 및 운동 변환 관계를 설명하는 문구를 선택한다.
- 상기 조절노브의 회전운동을 상기 막두께조절판의 직선운동으로 전달하도록 상기 가이드와 연결된 이송스크류
- 상기 조절노브의 회전축 단부와 이에 인접하는 상기 이송스크류 일단부에 상호 맞물림 회전하여 회전운동을 직선운동으로 변환하는기어부재
-
4논리 통합
logical_integration조절노브(회전) -> 기어부재(회전/변환) -> 이송스크류(직선) -> 가이드/막두께조절판 순의 운동 전달 경로를 논리적으로 연결한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation조절노브, 기어부재, 이송스크류가 유기적으로 결합되어 운동을 변환함을 결론짓는다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 답변하기 위해 구성 요소와 연결 관계를 구조화하여 작성한다.
근거 (evidence)
- 상기 구동부는 상기 막두께조절판에 대응하는 수로 상기 진공챔버 외부에 회전조작 가능하게 마련되는 조절노브와
- 조절노브
- 이송스크류
- 기어부재
- 상기 조절노브의 회전운동을 상기 막두께조절판의 직선운동으로 전달하도록 상기 가이드와 연결된 이송스크류
- 상기 조절노브의 회전축 단부와 이에 인접하는 상기 이송스크류 일단부에 상호 맞물림 회전하여 회전운동을 직선운동으로 변환하는기어부재
최종 답변 (final_answer)
성막장치의 구동부는 다음과 같은 구성 요소와 연결 관계를 통해 운동을 전달한다.
1. 조절노브: 진공챔버 외부에 마련되어 회전 조작된다.
2. 기어부재: 조절노브의 회전축 단부와 이송스크류의 일단부가 상호 맞물림 회전하며, 회전운동을 직선운동으로 변환한다.
3. 이송스크류: 기어부재와 연결되어 있으며, 가이드와 연결되어 조절노브의 회전운동을 막두께조절판의 직선운동으로 전달한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
조절노브의 회전력을 기어부재를 통해 직선운동으로 변환한 뒤, 이송스크류를 통해 막두께조절판에 전달하는 구동 메커니즘에 관한 구성이다.