문맥 (context)
[청구항2]
제1항에 있어서,상기 제2가스공급관은,중공의 형상으로 형성되며, 내부로 상기 gacl 가스가 유입되는 본체부와,중공의 형상으로 상기 본체부의 단부로부터 연장 형성되며, 상기 기판의 상방에 배치되며, 그 내주면이 상기 본체부측으로부터 타측으로 갈수록 수평면에 대하여 하방향으로 경사지도록 형성되며, 상기 gacl 가스가 분사되는분사부포함하는것을특징으로 하는질화갈륨 기판제조장치.
제1항에 있어서,상기 제2가스공급관은,중공의 형상으로 형성되며, 내부로 상기 gacl 가스가 유입되는 본체부와,중공의 형상으로 상기 본체부의 단부로부터 연장 형성되며, 상기 기판의 상방에 배치되며, 그 내주면이 상기 본체부측으로부터 타측으로 갈수록 수평면에 대하여 하방향으로 경사지도록 형성되며, 상기 gacl 가스가 분사되는분사부포함하는것을특징으로 하는질화갈륨 기판제조장치.
[청구항3]
제2항에 있어서,체부에는 상기 본체부의 내부로 상기 gacl 가스가 유입되는 유입공이 형성되어 있으며,상기 본체부 내부에 배치되어 상기 유입공으로부터 상기 분사부 쪽으로 유동하는 상기 gacl 가스를 가이드하는유동경로형성유닛더포함하는것을특징으로 하는질화갈륨 기판제조장치.
제2항에 있어서,체부에는 상기 본체부의 내부로 상기 gacl 가스가 유입되는 유입공이 형성되어 있으며,상기 본체부 내부에 배치되어 상기 유입공으로부터 상기 분사부 쪽으로 유동하는 상기 gacl 가스를 가이드하는유동경로형성유닛더포함하는것을특징으로 하는질화갈륨 기판제조장치.
[청구항4]
제3항에 있어서,상기 유입공은 한 쌍 구비되며 서로 이격되게 배치되며,상기 유동경로형성유닛은,상기 각 유입공으로부터 상기 분사부 쪽으로 이격되게 배치되며, 각각의 일단부는 상기 본체부의 내측벽에 접촉되는 한 쌍의 제1유동경로형성부재와,상기 한 쌍의 유입공을 연결한 직선과 상기 한 쌍의 제1유동경로형성부재를 연결한 직선 사이에 배치되는제2유동경로형성부재포함하는것을특징으로 하는질화갈륨 기판제조장치.
제3항에 있어서,상기 유입공은 한 쌍 구비되며 서로 이격되게 배치되며,상기 유동경로형성유닛은,상기 각 유입공으로부터 상기 분사부 쪽으로 이격되게 배치되며, 각각의 일단부는 상기 본체부의 내측벽에 접촉되는 한 쌍의 제1유동경로형성부재와,상기 한 쌍의 유입공을 연결한 직선과 상기 한 쌍의 제1유동경로형성부재를 연결한 직선 사이에 배치되는제2유동경로형성부재포함하는것을특징으로 하는질화갈륨 기판제조장치.
[청구항5]
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1가스공급관의 단부와 상기 기판의 중심을 지나며 상기 기판에 수직인 직선 사이의 거리는, 상기 제2가스공급관의 단부와 상기 기판의 중심을 지나며 상기 기판에 수직인 직선 사이의 거리 보다 더 짧은 것특징으로 하는질화갈륨 기판제조장치.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1가스공급관의 단부와 상기 기판의 중심을 지나며 상기 기판에 수직인 직선 사이의 거리는, 상기 제2가스공급관의 단부와 상기 기판의 중심을 지나며 상기 기판에 수직인 직선 사이의 거리 보다 더 짧은 것특징으로 하는질화갈륨 기판제조장치.
[청구항6]
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1가스공급관은, 상기 기판 지지대와 수평방향으로 일정 거리 이격되게 배치되며 상기 nh3 가스가 유입되어 내부에서 상방으로 유동하는 베이스부와,상기 베이스부의 상부로부터 상기 기판쪽으로 연장 형성되며, 상기 nh3 가스가 상기 기판의 상방으로 배출되며, 상기 gacl 가스가 분사되는 상기 제2가스공급관의 단부 보다 더 큰 폭을 가지도록 형성되는연장부포함하는것을특징으로 하는질화갈륨 기판제조장치.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1가스공급관은, 상기 기판 지지대와 수평방향으로 일정 거리 이격되게 배치되며 상기 nh3 가스가 유입되어 내부에서 상방으로 유동하는 베이스부와,상기 베이스부의 상부로부터 상기 기판쪽으로 연장 형성되며, 상기 nh3 가스가 상기 기판의 상방으로 배출되며, 상기 gacl 가스가 분사되는 상기 제2가스공급관의 단부 보다 더 큰 폭을 가지도록 형성되는연장부포함하는것을특징으로 하는질화갈륨 기판제조장치.
[청구항7]
제6항에 있어서,상기 제1가스공급관의 베이스부의 내부에 상하방향으로 이격되게 배치되며, 각각의 일단부는 상기 베이스부의 내측벽에 접촉하며, 각각 상기 nh3 가스가 유입되는 유입구의 상방에 배치되는복수의유로형성부재더포함하는것을특징으로 하는질화갈륨 기판제조장치.
제6항에 있어서,상기 제1가스공급관의 베이스부의 내부에 상하방향으로 이격되게 배치되며, 각각의 일단부는 상기 베이스부의 내측벽에 접촉하며, 각각 상기 nh3 가스가 유입되는 유입구의 상방에 배치되는복수의유로형성부재더포함하는것을특징으로 하는질화갈륨 기판제조장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
제2가스공급관에 포함되는 유동경로형성유닛은 어떠한 부재들로 구성되며, 각 부재의 배치 특징은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation제2가스공급관 내 유동경로형성유닛의 구성 부재와 배치 특징을 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 3과 4에서 유동경로형성유닛과 관련된 정보를 추출한다.
- 유동경로형성유닛
- 한 쌍의 제1유동경로형성부재
- 제2유동경로형성부재
-
3근거 선택
evidence_selection제1유동경로형성부재의 배치 조건과 제2유동경로형성부재의 위치 조건을 선택한다.
- 각각의 일단부는 상기 본체부의 내측벽에 접촉되는 한 쌍의 제1유동경로형성부재
- 상기 한 쌍의 유입공을 연결한 직선과 상기 한 쌍의 제1유동경로형성부재를 연결한 직선 사이에 배치되는제2유동경로형성부재
-
4논리 통합
logical_integration추출된 부재들을 유동경로형성유닛의 구성 요소로 묶고, 각 부재의 특징을 연결한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation유동경로형성유닛은 제1유동경로형성부재와 제2유동경로형성부재로 구성되며, 각각의 접촉 및 배치 위치를 정리한다.
-
6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 리스트 형식으로 최종 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 유동경로형성유닛
- 한 쌍의 제1유동경로형성부재
- 제2유동경로형성부재
- 각각의 일단부는 상기 본체부의 내측벽에 접촉되는 한 쌍의 제1유동경로형성부재
- 상기 한 쌍의 유입공을 연결한 직선과 상기 한 쌍의 제1유동경로형성부재를 연결한 직선 사이에 배치되는제2유동경로형성부재
최종 답변 (final_answer)
유동경로형성유닛은 다음과 같은 부재들로 구성된다.
1. 제1유동경로형성부재: 한 쌍으로 구성되며, 각각의 일단부가 본체부의 내측벽에 접촉되도록 배치된다.
2. 제2유동경로형성부재: 한 쌍의 유입공을 연결한 직선과 한 쌍의 제1유동경로형성부재를 연결한 직선 사이에 배치된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
유동경로형성유닛은 본체부 내측벽에 접촉하는 제1유동경로형성부재와, 유입공 연결선과 제1유동경로형성부재 연결선 사이에 위치하는 제2유동경로형성부재로 이루어져 가스를 가이드한다.