문맥 (context)
[청구항1]
다수의 기판에 대한 증착 공정이 수행되는 유기금속 화학기상증착장치의 반응 가스 분사를 위한 가스분사유닛에 있어서,
다수의 기판 상부에 구비되는 하우징
상기 하우징의 중앙 부분에 구비되어 상기 하부면에서 하부 방향으로 연장 형성된 연장부
상기 연장부에 구비되어 외측 방향으로 반응 가스를 분사하는 노즐부; 및
상기 연장부에서 외측으로 연장 구비되되 상기 노즐부의 토출구 상부에 구비되며, 상기 노즐부에서 분사되는 반응 가스를 상기 기판에 대해 하향 경사지게 안내하는 가이드
를 포함하는 유기금속 화학기상증착장치용 가스분사유닛
[청구항2]
제1항에 있어서,상기 노즐부는,전구체 가스를 기판에 평행하게 분사하도록 토출구가 형성된 제1 노즐; 및상기 제1 노즐의 토출구 하부에 형성되어 캐리어 가스를 분사하는 제2 노즐포함하는유기금속 화학기상증착장치용 가스분사유닛.
[청구항3]
제2항에 있어서,상기 노즐부는 상기 연장부의 측면 둘레를 따라 다수의 토출구형성된유기금속 화학기상증착장치용 가스분사유닛.
[청구항4]
제2항에 있어서,상기 가이드는 상기 반응 가스가 하향 경사지게 유동하도록 하향형성된유기금속 화학기상증착장치용 가스분사유닛.
[청구항5]
제2항에 있어서,상기 가이드는 상기 제1 노즐 상부에 구비되며 상기 연장부의 둘레를 따르는 연속된 플랜지 형태갖는유기금속 화학기상증착장치용 가스분사유닛.
[청구항6]
프로세스 챔버;
상기 프로세스 챔버 내부에 구비되며 다수의 기판이 안착되는 서셉터; 및
상기 서셉터 상부에 구비되어 반응 가스를 기판에 분사하는 가스분사유닛
을 포함하고,
상기 가스분사유닛은,
상기 기판 및 상기 서셉터와 평행한 하부면을 갖는 하우징
상기 하부면의 중앙 부분에서 하부로 연장되어 형성된 연장부
상기 연장부에 구비되어 상기 반응 가스를 외측 방향으로 분사하는 노즐부; 및
상기 연장부에서 상기 노즐부 상부에 구비되어 상기 노즐부에서 분사되는 반응 가스를 상기 기판에 대해 하향 경사지게 안내하는 가이드
를 포함하는 유기금속 화학기상증착장치
[청구항7]
제6항에 있어서,상기 노즐부는,상기 기판과 평행하게 전구체 가스를 분사하는 제1 노즐 및 상기 제1 노즐 하부에 구비되어 캐리어 가스를 분사하는 제2 노즐포함하는유기금속 화학기상증착장치.
[청구항8]
제7항에 있어서,상기 연장부는 상기 제1 노즐의 토출구가 형성된 부분과 상기 제2 노즐의 토출구가 형성된부분서로단형성된유기금속 화학기상증착장치.
[청구항9]
제7항에 있어서,상기 노즐부는 상기 연장부의 둘레를 따라 다수의 토출구형성된유기금속 화학기상증착장치.
[청구항10]
제9항에 있어서,상기 가이드는 상기 제1 노즐 상부에 구비되며, 상기 반응 가스가 하향 경사지게 유동하도록 하향 경사지게 형성되되 상기 연장부의 둘레를 따르는 연속된 플랜지 형태갖는유기금속 화학기상증착장치.
[청구항11]
제6항에 있어서,상기 하우징은 상기 서셉터에 대응되는 크기를 갖고 상기 서셉터에 대해 평행한 하부면갖는유기금속 화학기상증착장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
가스분사유닛의 노즐부는 어떠한 노즐들로 구성되며, 각 노즐은 어떤 가스를 어떤 방식으로 분사하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation노즐부의 구성 요소와 각 구성 요소의 가스 종류 및 분사 방식을 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 2를 통해 노즐부의 구성과 가스 종류, 분사 방식을 추출한다.
- 상기 노즐부는,전구체 가스를 기판에 평행하게 분사하도록 토출구가 형성된 제1 노즐; 및상기 제1 노즐의 토출구 하부에 형성되어 캐리어 가스를 분사하는 제2 노즐포함하는
-
3근거 선택
evidence_selection제1 노즐의 기능(전구체 가스, 기판 평행 분사)과 제2 노즐의 기능(캐리어 가스, 제1 노즐 하부 위치)에 관한 문구를 선택한다.
- 전구체 가스를 기판에 평행하게 분사하도록 토출구가 형성된 제1 노즐
- 상기 제1 노즐의 토출구 하부에 형성되어 캐리어 가스를 분사하는 제2 노즐
-
4논리 통합
logical_integration노즐부는 제1 노즐과 제2 노즐로 구성되며, 제1 노즐은 전구체 가스를 기판에 평행하게 분사하고, 제2 노즐은 제1 노즐 하부에서 캐리어 가스를 분사함을 결합한다.
- 상기 노즐부는,전구체 가스를 기판에 평행하게 분사하도록 토출구가 형성된 제1 노즐; 및상기 제1 노즐의 토출구 하부에 형성되어 캐리어 가스를 분사하는 제2 노즐포함하는
-
5결론 도출
conclusion_formulation노즐부는 제1 노즐과 제2 노즐로 구성되며, 제1 노즐은 전구체 가스를 기판에 평행하게 분사하고 제2 노즐은 캐리어 가스를 분사한다.
- 전구체 가스를 기판에 평행하게 분사하도록 토출구가 형성된 제1 노즐
- 상기 제1 노즐의 토출구 하부에 형성되어 캐리어 가스를 분사하는 제2 노즐
-
6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 형태로 최종 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 상기 노즐부는,전구체 가스를 기판에 평행하게 분사하도록 토출구가 형성된 제1 노즐; 및상기 제1 노즐의 토출구 하부에 형성되어 캐리어 가스를 분사하는 제2 노즐포함하는
- 전구체 가스를 기판에 평행하게 분사하도록 토출구가 형성된 제1 노즐
- 상기 제1 노즐의 토출구 하부에 형성되어 캐리어 가스를 분사하는 제2 노즐
최종 답변 (final_answer)
노즐부는 제1 노즐과 제2 노즐로 구성된다. 제1 노즐은 전구체 가스를 기판에 평행하게 분사하며, 제2 노즐은 제1 노즐의 토출구 하부에 형성되어 캐리어 가스를 분사한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
가스분사유닛의 노즐부는 전구체 가스를 분사하는 제1 노즐과 캐리어 가스를 분사하는 제2 노즐로 이중 구조를 이룬다.