4족 금속­함유 필름을 증착시키기 위한 전구체

[청구항13] 제 12항에 있어서,하나 이상의 용매가 1 내지 6개의 산소원자를 지닌 글라임 용매로 이루어진 군으로부터 선택된 에테르; c2-c12 알칸올을 포함하는 알코올, c1-c6 알킬 부분을 포함하는 디알킬 에테르, c4-c8 시클릭 에테르; c12-c60 크라운 o4-o20 에테르로서, 앞에 있는 ci 범위는 에테르 화합물중의 탄소원자의 수 i이고, 뒤에 있는 oi 범위는 에테르 화합물중의 산소원자의 수 i인 c12-c60 크라운 o4-o20 에테르로 이루어진 군으로부터 선택된 에테르; c6-c12 지방족 탄화수소를 포함하는 탄화수소; c6-c18 방향족 탄화수소를 포함하는 탄화수소; 화학식 rconr''r"의 유기 아미드로서, r과 r"가 1 내지 10개의 탄소원자를 포함하는 알킬기이고 연결되어 시클릭기 (ch2)n(여기서, n은 4 내지 6이다)를 형성할 수 있으며, r"는 1 내지 4개의 탄소원자를 포함하는 알킬기 또는 시클로알킬기로부터 선택되는 유기 아미드로 이루어진 군선택되는조성물. 제 12항에 있어서,하나 이상의 용매가 1 내지 6개의 산소원자를 지닌 글라임 용매로 이루어진 군으로부터 선택된 에테르; c2-c12 알칸올을 포함하는 알코올, c1-c6 알킬 부분을 포함하는 디알킬 에테르, c4-c8 시클릭 에테르; c12-c60 크라운 o4-o20 에테르로서, 앞에 있는 ci 범위는 에테르 화합물중의 탄소원자의 수 i이고, 뒤에 있는 oi 범위는 에테르 화합물중의 산소원자의 수 i인 c12-c60 크라운 o4-o20 에테르로 이루어진 군으로부터 선택된 에테르; c6-c12 지방족 탄화수소를 포함하는 탄화수소; c6-c18 방향족 탄화수소를 포함하는 탄화수소; 화학식 rconr''r"의 유기 아미드로서, r과 r"가 1 내지 10개의 탄소원자를 포함하는 알킬기이고 연결되어 시클릭기 (ch2)n(여기서, n은 4 내지 6이다)를 형성할 수 있으며, r"는 1 내지 4개의 탄소원자를 포함하는 알킬기 또는 시클로알킬기로부터 선택되는 유기 아미드로 이루어진 군선택되는조성물. [청구항14] 제 13항에 있어서,하나 이상의 유기 용매가 옥탄, 도데칸, 톨루엔 및 메시틸렌으로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 유기 용매포함하는조성물. 제 13항에 있어서,하나 이상의 유기 용매가 옥탄, 도데칸, 톨루엔 및 메시틸렌으로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 유기 용매포함하는조성물. [청구항15] 제 12항에 있어서,점도가 25℃에서 25cp 또는 그미만인조성물. 제 12항에 있어서,점도가 25℃에서 25cp 또는 그미만인조성물. [청구항16] 제 15항에 있어서,점도가 25℃에서 10cp 또는 그미만인조성물. 제 15항에 있어서,점도가 25℃에서 10cp 또는 그미만인조성물. [청구항18] 제 17항에 있어서,조성물이 비스(이소-프로폭시)비스(2,2-디메틸-3,5-헥산디오네이토)티타늄, (이소-프록시)(n-부톡시)비스(2,2-디메틸-3,5-헥산디오네이토)티타늄, 및 비스(n-부톡시)비스(2,2-디메틸-3,5-헥산디오네이토)티타늄포함하는조성물. 제 17항에 있어서,조성물이 비스(이소-프로폭시)비스(2,2-디메틸-3,5-헥산디오네이토)티타늄, (이소-프로폭시)(n-부톡시)비스(2,2-디메틸-3,5-헥산디오네이토)티타늄, 및 비스(n-부톡시)비스(2,2-디메틸-3,5-헥산디오네이토)티타늄포함하는조성물. [청구항19] 제 17항에 있어서,조성물이 비스(에톡시)비스(2,2,6,6-테트라메틸-3,5-헵탄디오네이토)티타늄, (에톡시)(이소프로폭시)비스(2,2,6,6-테트라메틸-3,5-헵탄디오네이토)티타늄, 및 비스(이소-프로폭시)비스(2,2,6,6-테트라메틸-3,5-헵탄디오네이토)티타늄포함하는조성물. 제 17항에 있어서,조성물이 비스(에톡시)비스(2,2,6,6-테트라메틸-3,5-헵탄디오네이토)티타늄, (에톡시)(이소프로폭시)비스(2,2,6,6-테트라메틸-3,5-헵탄디오네이토)티타늄, 및 비스(이소-프로폭시)비스(2,2,6,6-테트라메틸-3,5-헵탄디오네이토)티타늄포함하는조성물. [청구항24] 제 20항에 있어서,형성 단계가 증착 챔버내로 하기 구조식(a)와 구조식(b)로 이루어진 군으로부터 선택되는 폴리덴테이트 β-케토이미네이트를 도입함을 추가로 포함하는 방법.구조식(a)(상기 식에서, m은 마그네슘, 칼슘, 스트론튬 및 바륨으로 이루어진 군으로부터 선택된 2족 금속이고; r1은 c1 내지 c10 알킬, c1 내지 c10 알콕시알킬, c1 내지 c10 알콕시, c1 내지 c10 플루오로알킬, c3 내지 c10 시클로지방족, 및 c6 내지 c10 아릴로 이루어진 군으로부터 선택되고; r2는 수소, c1 내지 c10 알킬, c1 내지 c10 알콕시알킬, c1 내지 c10 알콕시, c3 내지 c10 시클로지방족, 및 c6 내지 c10 아릴로 이루어진 군으로부터 선택되고; r3은 c1 내지 c10 알킬, c1 내지 c10 알콕시알킬, c1 내지 c10 알콕시, c3 내지 c10 시클로지방족, 및 c6 내지 c10 아릴로 이루어진 군으로부터 선택되고; r4는 c1 내지 c6의 선형 또는 분지형 알킬 브릿지이고; r5는 c1 내지 c10 알킬, c1 내지 c10 플루오로알킬, c3 내지 c10 시클로지방족, 및 c6 내지 c10 아릴로 이루어진 군으로부터 선택된다),구조식(b)(상기 식에서, m은 2 내지 5가의 금속 그룹이고; r1은 1 내지 10개의 탄소원자를 지닌 알킬, 플루오로알킬, 시클로지방족, 및 아릴로 이루어진 군으로부터 선택되고; r2는 수소, 알킬, 알콕시, 시클로지방족 및 아릴로 이루어진 군으로부터 선택되고; r3은 알킬, 플루오로알킬, 시클로지방족, 및 아릴로 이루어진 군으로부터 선택되고; r4는 선형 또는 분지형 알킬 브릿지이고; r5 및 r6은 독립적으로 알킬, 플루오로알킬, 시클로지방족, 아릴 및 산소 또는 질소 원자를 함유하는 헤테로시클릭으로 이루어진 군으로부터 선택되고, n은 금속 m의 원자가동일한정수이다). 제 20항에 있어서,형성 단계가 증착 챔버내로 하기 구조식(a)와 구조식(b)로 이루어진 군으로부터 선택되는 폴리덴테이트 β-케토이미네이트를 도입함을 추가로 포함하는 방법.구조식(a)(상기 식에서, m은 마그네슘, 칼슘, 스트론튬 및 바륨으로 이루어진 군으로부터 선택된 2족 금속이고; r1은 c1 내지 c10 알킬, c1 내지 c10 알콕시알킬, c1 내지 c10 알콕시, c1 내지 c10 플루오로알킬, c3 내지 c10 시클로지방족, 및 c6 내지 c10 아릴로 이루어진 군으로부터 선택되고; r2는 수소, c1 내지 c10 알킬, c1 내지 c10 알콕시알킬, c1 내지 c10 알콕시, c3 내지 c10 시클로지방족, 및 c6 내지 c10 아릴로 이루어진 군으로부터 선택되고; r3은 c1 내지 c10 알킬, c1 내지 c10 알콕시알킬, c1 내지 c10 알콕시, c3 내지 c10 시클로지방족, 및 c6 내지 c10 아릴로 이루어진 군으로부터 선택되고; r4는 c1 내지 c6의 선형 또는 분지형 알킬 브릿지이고; r5는 c1 내지 c10 알킬, c1 내지 c10 플루오로알킬, c3 내지 c10 시클로지방족, 및 c6 내지 c10 아릴로 이루어진 군으로부터 선택된다),구조식(b)(상기 식에서, m은 2 내지 5가의 금속 그룹이고; r1은 1 내지 10개의 탄소원자를 지닌 알킬, 플루오로알킬, 시클로지방족, 및 아릴로 이루어진 군으로부터 선택되고; r2는 수소, 알킬, 알콕시, 시클로지방족 및 아릴로 이루어진 군으로부터 선택되고; r3은 알킬, 플루오로알킬, 시클로지방족, 및 아릴로 이루어진 군으로부터 선택되고; r4는 선형 또는 분지형 알킬 브릿지이고; r5 및 r6은 독립적으로 알킬, 플루오로알킬, 시클로지방족, 아릴 및 산소 또는 질소 원자를 함유하는 헤테로시클릭으로 이루어진 군으로부터 선택되고, n은 금속 m의 원자가동일한정수이다).