문맥 (context)
[청구항2]
제 1항에 있어서,상기 모재는 플라스틱, pcb, 종이, 고무 중에서 선택되며, 모재수납판은 진공챔버 양측벽에 설치된 가이드레일을 따라 슬라이딩하면서착탈가능한것을특징으로 하는패럴린 코팅 전처리용 플라즈마 발생장치.
[청구항3]
제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 진공챔버에 구비되며 진공펌프와 연통되는 배출관은 진공챔버의 일측벽 중앙부와 이 중앙부에 대칭되도록 주변부에 여러개형성되는것을특징으로 하는패럴린 코팅 전처리용 플라즈마 발생장치.
[청구항4]
도어가 구비된 진공챔버 내에 간격을 두고 상하 교대로 설치되며 고주파가 인가되는 음전극 및 양전극과
제 3항에 있어서,상기 진공챔버에 구비된 가스분사구는 음전극과 양전극의 사이로 길게 연장되어 분사노즐이진공챔버의중앙위치하는것을특징으로 하는패럴린 코팅 전처리용 플라즈마 발생장치.
상기 음전극 및 양전극의 사이에 설치되고 플라스틱, pcb, 종이, 고무 중에서 선택된 모재를 수납할 수 있도록 다수의 슬릿이 형성되는 모재수납판과
상기 진공챔버 내로 연장된 가스분사구를 통해 반응가스를 공급하는 가스탱크; 및
상기 진공챔버의 일측벽에 구비된 배출관을 통해 진공챔버 내의 압력을 조절하는 진공펌프
로 구성되는 패럴린 코팅 전처리용 플라즈마 발생장치에 있어서,
상기 진공챔버에 구비되면서 진공펌프와 연통되는 배출관은 진공챔버의 일측벽 중앙부와 이 중앙부에 대칭되도록 주변부에 여러 개로 형성되고
상기 진공챔버에 구비된 가스분사구는 음전극과 양전극의 사이로 길게 연장되어 분사노즐이 진공챔버의 중앙에 위치하는 것을 특징으로 하는 패럴린 코팅 전처리용 플라즈마 발생장치
[청구항5]
제 4항에 있어서,상기 진공챔버 내의 압력을 조절하는 진공펌프에는 사용되는 오일을 필터링하는오일클리너구비되는것을특징으로 하는패럴린 코팅 전처리용 플라즈마 발생장치.
제 4항에 있어서,상기 진공챔버 내의 압력을 조절하는 진공펌프에는 사용되는 오일을 필터링하는오일클리너구비되는것을특징으로 하는패럴린 코팅 전처리용 플라즈마 발생장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
패럴린 코팅 전처리용 플라즈마 발생장치에서 가스분사구는 어디에 설치되며, 분사노즐의 위치는 어디인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation가스분사구의 설치 위치와 분사노즐의 위치를 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항에서 가스분사구 및 분사노즐과 관련된 문구를 추출한다.
- 가스분사구는 음전극과 양전극의 사이로 길게 연장되어
- 분사노즐이진공챔버의중앙위치하는것을특징으로 하는
- 상기 진공챔버에 구비된 가스분사구는 음전극과 양전극의 사이로 길게 연장되어 분사노즐이 진공챔버의 중앙에 위치하는 것
-
3근거 선택
evidence_selection가스분사구의 위치와 노즐의 위치를 명시한 핵심 구절을 선택한다.
- 가스분사구는 음전극과 양전극의 사이로 길게 연장되어
- 분사노즐이 진공챔버의 중앙에 위치하는 것
-
4논리 통합
logical_integration가스분사구는 음전극과 양전극 사이에 위치하며, 이로 인해 노즐은 챔버 중앙에 놓이게 됨을 연결한다.
- 가스분사구는 음전극과 양전극의 사이로 길게 연장되어
- 분사노즐이 진공챔버의 중앙에 위치하는 것
-
5결론 도출
conclusion_formulation가스분사구는 음전극과 양전극 사이에 길게 연장되어 설치되며, 분사노즐은 진공챔버의 중앙에 위치한다.
- 가스분사구는 음전극과 양전극의 사이로 길게 연장되어
- 분사노즐이 진공챔버의 중앙에 위치하는 것
-
6답변 생성
answer_generation질문에 대한 최종 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 가스분사구는 음전극과 양전극의 사이로 길게 연장되어
- 분사노즐이진공챔버의중앙위치하는것을특징으로 하는
- 상기 진공챔버에 구비된 가스분사구는 음전극과 양전극의 사이로 길게 연장되어 분사노즐이 진공챔버의 중앙에 위치하는 것
- 분사노즐이 진공챔버의 중앙에 위치하는 것
최종 답변 (final_answer)
가스분사구는 음전극과 양전극의 사이로 길게 연장되어 설치되며, 분사노즐은 진공챔버의 중앙에 위치한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
가스분사구의 물리적 배치(음/양전극 사이)와 그에 따른 분사노즐의 위치(진공챔버 중앙)를 정의함.