문맥 (context)
[청구항2]
제1항에 있어서,셉터 아래에 구비되어 상기 웨이퍼에 열을 제공하는가열수단더포함하는것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치.
제1항에 있어서,셉터 아래에 구비되어 상기 웨이퍼에 열을 제공하는가열수단더포함하는것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치.
[청구항3]
제1항에 있어서,상기 반응 챔버는, 상기 서셉터를 수용하고 상기 반응유로부를 형성하는 챔버 본체와,상기 챔버 본체를 밀봉하여 기밀을 유지하도록 하는챔버덮개포함하는것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치.
[청구항4]
제3항에 있어서,상기 챔버 덮개는 상기 챔버 본체에 대해 개폐 가능하도록구비되는것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치.
제1항에 있어서,상기 챔버 덮개는 상기 챔버 본체에 대해 개폐 가능하도록구비되는것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치.
[청구항5]
제3항 또는 제4항에 있어서,상기 커버부재가 상기 챔버 덮개와 분리되어 상기 반응유로부 위에 구비되도록 지지하며, 상기 반응 챔버를 개방시 상기 커버부재가 상기 챔버 본체로부터 분리되도록 하는분리수단더포함하는것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치.
제1항 또는 제4항에 있어서,상기 커버부재가 상기 챔버 덮개와 분리되어 상기 반응유로부 위에 구비되도록 지지하며, 상기 반응 챔버를 개방시 상기 커버부재가 상기 챔버 본체로부터 분리되도록 하는분리수단더포함하는것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치.
[청구항6]
제5항에 있어서,상기 커버부재와 상기 챔버 덮개는 소정 거리만큼 이격되어 상기 커버부재의 상부면과 상기 챔버 덮개의 하부면 사이에에어절연층형성하는것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치.
제5항에 있어서,상기 커버부재와 상기 챔버 덮개는 서로 이격되어 상기 커버부재의 상부면과 상기 챔버 덮개의 하부면 사이에에어절연층형성하는것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치.
[청구항7]
제5항에 있어서,상기 분리수단은 상기 챔버 본체의 내부에 구비되며, 상기 커버부재의 일측면과 결합되는실린더부재인것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치.
제5항에 있어서,상기 분리수단은 상기 챔버 본체의 내부에 구비되며, 상기 커버부재의 일측면과 결합되는실린더부재인것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치.
[청구항8]
제5항에 있어서,상기 분리수단은 상기 챔버 덮개에 구비되며, 상기 커버부재가 관통결합하여고정되는것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치.
제5항에 있어서,상기 분리수단은 상기 챔버 덮개에 구비되며, 상기 커버부재가 관통결합하여고정되는것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치.
[청구항9]
제8항에 있어서,상기 분리수단에 관통결합된 커버부재가 서셉터와 일정한 간격을 유지하도록 지지하는지지부재더포함하는것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치.
제8항에 있어서,상기 분리수단에 관통결합된 커버부재가 서셉터와 일정한 간격을 유지하도록 지지하는지지부재더포함하는것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치.
[청구항10]
제1항에 있어서,상기 가스 도입부는,상기 반응 챔버의 측단부 둘레에 구비되어 외부로부터 도입되는 반응가스를 저장하는 적어도 하나의 리저버와, 상기 리저버와 상기 반응유로부를 연통하며, 상기 리저버에 저장된 반응가스를 상기 반응유로부로 분사되도록 하는분사노즐포함하는것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치.
제1항에 있어서,상기 가스 도입부는,상기 반응 챔버의 측단부 둘레에 구비되어 외부로부터 도입되는 반응가스를 저장하는 적어도 하나의 리저버와, 상기 리저버와 상기 반응유로부를 연통하며, 상기 리저버에 저장된 반응가스를 상기 반응유로부로 분사되도록 하는분사노즐포함하는것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
화학 기상 증착 장치의 반응 챔버는 어떠한 구성 요소로 이루어져 있으며, 챔버 덮개와 커버부재 사이에는 어떠한 구조가 형성되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation반응 챔버의 구성 요소와 커버부재-챔버 덮개 간의 구조적 특징을 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 3에서 반응 챔버의 구성 요소를, 청구항 6에서 커버부재와 챔버 덮개 사이의 구조를 추출한다.
- 상기 반응 챔버는, 상기 서셉터를 수용하고 상기 반응유로부를 형성하는 챔버 본체와,상기 챔버 본체를 밀봉하여 기밀을 유지하도록 하는챔버덮개포함하는것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치.
- 상기 커버부재와 상기 챔버 덮개는 소정 거리만큼 이격되어 상기 커버부재의 상부면과 상기 챔버 덮개의 하부면 사이에에어절연층형성하는것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치.
-
3근거 선택
evidence_selection반응 챔버 구성에 관한 문구와 에어절연층 형성에 관한 문구를 선택한다.
- 상기 반응 챔버는, 상기 서셉터를 수용하고 상기 반응유로부를 형성하는 챔버 본체와,상기 챔버 본체를 밀봉하여 기밀을 유지하도록 하는챔버덮개포함
- 상기 커버부재와 상기 챔버 덮개는 소정 거리만큼 이격되어 상기 커버부재의 상부면과 상기 챔버 덮개의 하부면 사이에에어절연층형성
-
4논리 통합
logical_integration반응 챔버는 챔버 본체와 챔버 덮개로 구성되며, 커버부재와 덮개 사이에는 이격된 공간을 통해 에어절연층이 형성됨을 결합한다.
- 상기 반응 챔버는, 상기 서셉터를 수용하고 상기 반응유로부를 형성하는 챔버 본체와,상기 챔버 본체를 밀봉하여 기밀을 유지하도록 하는챔버덮개포함
- 상기 커버부재와 상기 챔버 덮개는 소정 거리만큼 이격되어 상기 커버부재의 상부면과 상기 챔버 덮개의 하부면 사이에에어절연층형성
-
5결론 도출
conclusion_formulation반응 챔버는 챔버 본체와 챔버 덮개로 구성되며, 커버부재의 상부면과 챔버 덮개의 하부면 사이에는 에어절연층이 형성된다.
- 상기 반응 챔버는, 상기 서셉터를 수용하고 상기 반응유로부를 형성하는 챔버 본체와,상기 챔버 본체를 밀봉하여 기밀을 유지하도록 하는챔버덮개포함
- 상기 커버부재와 상기 챔버 덮개는 소정 거리만큼 이격되어 상기 커버부재의 상부면과 상기 챔버 덮개의 하부면 사이에에어절연층형성
-
6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 최종 답변을 작성한다.
- 상기 반응 챔버는, 상기 서셉터를 수용하고 상기 반응유로부를 형성하는 챔버 본체와,상기 챔버 본체를 밀봉하여 기밀을 유지하도록 하는챔버덮개포함
- 상기 커버부재와 상기 챔버 덮개는 소정 거리만큼 이격되어 상기 커버부재의 상부면과 상기 챔버 덮개의 하부면 사이에에어절연층형성
근거 (evidence)
- 상기 반응 챔버는, 상기 서셉터를 수용하고 상기 반응유로부를 형성하는 챔버 본체와,상기 챔버 본체를 밀봉하여 기밀을 유지하도록 하는챔버덮개포함하는것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치.
- 상기 커버부재와 상기 챔버 덮개는 소정 거리만큼 이격되어 상기 커버부재의 상부면과 상기 챔버 덮개의 하부면 사이에에어절연층형성하는것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치.
- 상기 반응 챔버는, 상기 서셉터를 수용하고 상기 반응유로부를 형성하는 챔버 본체와,상기 챔버 본체를 밀봉하여 기밀을 유지하도록 하는챔버덮개포함
- 상기 커버부재와 상기 챔버 덮개는 소정 거리만큼 이격되어 상기 커버부재의 상부면과 상기 챔버 덮개의 하부면 사이에에어절연층형성
최종 답변 (final_answer)
반응 챔버는 서셉터를 수용하고 반응유로부를 형성하는 챔버 본체와, 챔버 본체를 밀봉하여 기밀을 유지하는 챔버 덮개로 구성된다. 또한, 커버부재와 챔버 덮개는 소정 거리만큼 이격되어 있으며, 커버부재의 상부면과 챔버 덮개의 하부면 사이에는 에어절연층이 형성된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
반응 챔버의 물리적 구성(본체, 덮개)과 커버부재-덮개 간의 공간적 구조(에어절연층)를 정의함.