화학기상 증착장치

[청구항2] 제 1항에 있어서,상기 샤워헤드는 상기 제 1가스챔버에 연통되어 상기 제 1가스를 상기 제 1가스챔버로 공급하는 제 1공급관과,상기 제 2가스챔버에 연통되어 상기 제 2가스를 상기 제 2가스챔버로 공급하는제2공급관더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. 제 1항에 있어서,상기 샤워헤드는 상기 제 1가스챔버에 연통되어 상기 제 1가스를 상기 제 1가스챔버로 공급하는 제 1공급관과,상기 제 2가스챔버에 연통되어 상기 제 2가스를 상기 제 2가스챔버로 공급하는제2공급관더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. [청구항3] 제 1항에 있어서,상기 제 1공급관 및 상기 제 2공급관은 각각 선단부가 확관되며,상기 제 1공급관의 선단부는 상기 제 1가스챔버 내부에 위치하고, 상기 제 2공급관의 선단부는상기제2가스챔버내부위치하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. 제 1항에 있어서,상기 제 1공급관 및 상기 제 2공급관은 각각 선단부가 확관되며,상기 제 1공급관의 선단부는 상기 제 1가스챔버 내부에 위치하고, 상기 제 2공급관의 선단부는상기제2가스챔버내부위치하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. [청구항4] 제 1항에 있어서,상기 본체는제 1판과,상기 제 1판의 테두리에 결합되는 외벽과,상기 제 1판으로부터 이격되어 상기 외벽에 결합되는 제 2판과,상기 제 1가스챔버와 상기 제 2가스챔버의 사이에 배치되는 격벽을 포함하며, 상기 제 1가스챔버 및 상기 제 2가스챔버는 상기 제 1판에 의해개폐되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. 제 1항에 있어서,상기 본체는제 1판과,상기 제 1판의 테두리에 결합되는 외벽과,상기 제 1판으로부터 이격되어 상기 외벽에 결합되는 제 2판과,상기 제 1가스챔버와 상기 제 2가스챔버의 사이에 배치되는 격벽을 포함하며, 상기 제 1가스챔버 및 상기 제 2가스챔버는 상기 제 1판에 의해개폐되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. [청구항5] 제 4항에 있어서,상기 제 2판과 상기 외벽과 상기 격벽은 일체이며, 상기 샤워헤드는 상기 제 1가스챔버와 상기 제 1판의 사이 및 상기 제 2가스챔버와 상기 제 1판의 사이에 각각 설치되는기밀부재더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. 제 4항에 있어서,상기 제 2판과 상기 외벽과 상기 격벽은 일체이며, 상기 샤워헤드는 상기 제 1가스챔버와 상기 제 1판의 사이 및 상기 제 2가스챔버와 상기 제 1판의 사이에 각각 설치되는기밀부재더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. [청구항6] 제 4항에 있어서,상기 샤워헤드는 상기 제 2판으로부터 이격되고 테두리가 상기 외벽에 결합되어 냉각챔버를 형성하는 제 3판을 더 포함하며, 상기 제 3판에는 상기 복수의 제 1토출구 또는 상기 복수의 제 2토출구와 동축을 이루는제3토출구형성되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. 제 4항에 있어서,상기 샤워헤드는 상기 제 2판으로부터 이격되고 테두리가 상기 외벽에 결합되어 냉각챔버를 형성하는 제 3판을 더 포함하며, 상기 제 3판에는 상기 복수의 제 1토출구 또는 상기 복수의 제 2토출구와 동축을 이루는제3토출구형성되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. [청구항7] 제 6항에 있어서,상기 샤워헤드는 일단부가 상기 제 1가스챔버 또는 상기 제 2가스챔버에 개방되며, 타단부가 상기 본체의 외부로 개방되는 복수의 토출관을 더 포함하며,상기 복수의 토출관 중 일부는 상기 제 1토출구와 상기 제 3토출구에 삽입되고, 나머지는상기제2토출구와상기제3토출구삽입되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. 제 6항에 있어서,상기 샤워헤드는 일단부가 상기 제 1가스챔버 또는 상기 제 2가스챔버에 개방되며, 타단부가 상기 본체의 외부로 개방되는 복수의 토출관을 더 포함하며,상기 복수의 토출관 중 일부는 상기 제 1토출구와 상기 제 3토출구에 삽입되고, 나머지는상기제2토출구와상기제3토출구삽입되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. [청구항8] 제 1항에 있어서,상기 제 1가스챔버 또는 상기 제 2가스챔버 중어느 하나는상기본체의중심부배치되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.