반도체 ＳＴＩ 공정용 고선택비 ＣＭＰ 슬러리 조성물

[청구항2] 제 1항에 있어서,상기 금속산화물은 발연법 또는 졸-겔(sol-gel)법으로 제조된 실리카(sio2), 알루미나(al2o3), 세리아(ceo2), 지르코니아(zro2), 및 티타니아(tio2)로 구성된군선택되는것을특징으로 하는cmp 슬러리 조성물. 제 1항에 있어서,상기 금속산화물은 발연법 또는 졸-겔(sol-gel)법으로 제조된 실리카(sio2), 알루미나(al2o3), 세리아(ceo2), 지르코니아(zro2), 및 티타니아(tio2)로 구성된군선택되는것을특징으로 하는cmp 슬러리 조성물. [청구항3] 제 1항에 있어서,상기 계면활성제는 카르복실산(carboxylic acid)과 그의 염, 설퍼릭 에스터(sulfuric ester)와 그의 염, 설포닉산(sulfonic acid)과 그의 염, 및 포스포릭 에스터(phosphoric ester)와 그의 염으로 이루어진 군에서 선택된 음이온성 계면활성제; 제 1급 아민(primary amine)과 그의 염, 제 2급 아민(secondary amine) 과 그의 염, 제 3급 아민(tertiary amine)과 그의 염 및 제 4급 아민(quarternary amine)과 그의 염으로 이루어진 군에서 선택된 양이온성 계면활성제; 또는 폴리에틸렌글리콜(polyethyleneglycol)형 계면활성제 및 폴리히드록시 알콜(polyhydroxy alcohol)형 계면활성제로 이루어진 군에서 선택된비이온성계면활성제인것을특징으로 하는cmp 슬러리 조성물. 제 1항에 있어서,상기 계면활성제는 카르복실산(carboxylic acid)과 그의 염, 설퍼릭 에스터(sulfuric ester)와 그의 염, 설포닉산(sulfonic acid)과 그의 염, 및 포스포릭 에스터(phosphoric ester)와 그의 염으로 이루어진 군에서 선택된 음이온성 계면활성제; 제 1급 아민(primary amine)과 그의 염, 제 2급 아민(secondary amine) 과 그의 염, 제 3급 아민(tertiary amine)과 그의 염 및 제 4급 아민(quarternary amine)과 그의 염으로 이루어진 군에서 선택된 양이온성 계면활성제; 또는 폴리에틸렌글리콜(polyethyleneglycol)형 계면활성제 및 폴리히드록시 알콜(polyhydroxy alcohol)형 계면활성제로 이루어진 군에서 선택된비이온성계면활성제인것을특징으로 하는cmp 슬러리 조성물. [청구항4] 제 1항에 있어서,상기 당류는 갈락토즈(galactose), 아라비노즈(arabinose), 리보오즈(ribose), 자이로오즈(xylose), 말티톨(maltitol), 락토즈(lactose), 말토즈(maltose), 풀루란(pullulan)으로 이루어진 군중에서 선택된 1종 이상인 것이고; 상기 ph 조절제는 황산, 염산, 질산, 아세트산, 수산화 나트륨, 수산화 칼륨, 수산화 암모늄 및 염기성 아민으로 구성된 군으로부터 선택된 1종 이상인 것이며; 상기 방부제는 트리스(히드록시메틸)니트로메탄 (tris(hydroxymethyl)nitromethane), 헥사하이드로-1,3,5-트리스(히드록시에틸)-s-트리아진(hexahydro-1,3,5-tris(hydroxyethyl)-s-triazine), 헥사하이드로-1,3,5-트리에틸-s-트리아진(hexahydro-1,3,5-triethyl-s-triazine), 1-(3-클로로알릴)-3,4,7-트리아자-1-아조니아아다만탄클로라이드(1-(3-chloroallyl)-3,4,7-triaza-1-azoniaadamantane chloride), 4-(2-니트로부틸)-몰폴린(4-(2-nitrobutyl)-morpholine), 4,4-(2-에틸-2-니트로트리메틸렌)-디몰폴린(4,4-(2-ethyl-2-nitrotrimethylene) -dimorpholine), 소디움-2-피리딘티올-1-옥사이드(sodium-2-pyridinethiol-1-oxide), 1,2-벤즈이소티아졸린-3-온(1,2-benzisothiazolin-3-one), 5-클로로-2-메틸-이소티아졸린-3-온(5-chloro-2-methyl-4-isothiazolin-3-one), 2-메틸-4-이소티아졸린-3-온(2-methyl-4-isothiazolin-3-one), 5-클로로-2-페테틸-3-이소티아졸린(5-chloro-2-penetyl-3-isothiazolin), 4-브로모- 2-n-도데실-3-이소티아졸린(4-bromo-2-n-dodecyl-3-isothiazolin), 4,5-디클로로-2-n-옥틸-3-이소티아졸린(4,5-dichloro-2-n-octyl-3-isothiazolin), 4-메틸-5-클로로-2-(4'-클로로벤질)-3-이소티아졸린(4-methyl-5-chloro-2-(4'-chlorobenzil)-3-isothiazolin), 4,5-디클로로-2-(4'-클로로벤질)-3-이소티아졸린(4,5-dichloro -2-(4'-chlorophenyl) -3-isothiazolin), 4,5-디클로로-2-(4'-클로로페닐)-3-이소티아졸린(4,5-dichloro-2-(4'-chlorophenyl) -3-isothiazolin), 4,5-디클로로-2-(2'-메톡시-3'-클로로페닐)-3-이소티아졸린(4,5-dichloro-2- (2'-methoxy-3'-chlorophenyl)-3-isothiazolin), 4,5-디브로모-2-(4'-클로로벤질)-3-이소티아졸린 (4,5-dibromo-2- (4'-chlorobenzil) -3- isothiazolin), 4-메틸-5-클로로-2-(4'-히드록시페닐)-3-이소티아졸린(4-methyl-5-chloro-2-(4'-hydroxyphenyl)-3- isothiazolin), 5-디클로로-2-n-헥실-3-이소티아졸린(4,5-dichloro-2-n-hexyl- 3-isothiazolin), 5-클로로-2-(3',4'-디클로로페닐)-3-이소티아졸린(5-chloro-2- (3',4'-dichlorophenyl) -3-isothiazolin), 6-아세톡시-2,4-디메틸-디옥산(6-acetoxy-2,4-dimethyl-dioxane), 2,2-디브로모-3-니트릴로프로피온(2,2-dibromo-3-nitrilopropion) 및 요오드(i2)로 구성된 군으로부터 선택된 1종 이상인 것이고; 상기 안정제는 소디움 브로메이트(sodium bromate, nabro3), 마그네슘 클로라이드(magnesium chloride), 마그네슘 나이트레이트(magnesium nitrate) 및 코퍼 나이트레이트 트리하이드레이트(copper nitrate trihydrate), 프로필렌 글리콜(propylene glycol)로 이루어지는 군으로부터 선택된1종이상인것을특징으로 하는cmp 슬러리 조성물. 제 1항에 있어서,상기ph 조절제는 황산, 염산, 질산, 아세트산, 수산화 나트륨, 수산화 칼륨, 수산화 암모늄 및 염기성 아민으로 구성된 군으로부터 선택된 1종 이상인 것이며; 상기 방부제는 트리스(히드록시메틸)니트로메탄 (tris(hydroxymethyl)nitromethane), 헥사하이드로-1,3,5-트리스(히드록시에틸)-s-트리아진(hexahydro-1,3,5-tris(hydroxyethyl)-s-triazine), 헥사하이드로-1,3,5-트리에틸-s-트리아진(hexahydro-1,3,5-triethyl-s-triazine), 1-(3-클로로알릴)-3,4,7-트리아자-1-아조니아아다만탄클로라이드(1-(3-chloroallyl)-3,4,7-triaza-1-azoniaadamantane chloride), 4-(2-니트로부틸)-몰폴린(4-(2-nitrobutyl)-morpholine), 4,4-(2-에틸-2-니트로트리메틸렌)-디몰폴린(4,4-(2-ethyl-2-nitrotrimethylene) -dimorpholine), 소디움-2-피리딘티올-1-옥사이드(sodium-2-pyridinethiol-1-oxide), 1,2-벤즈이소티아졸린-3-온(1,2-benzisothiazolin-3-one), 5-클로로-2-메틸-이소티아졸린-3-온(5-chloro-2-methyl-4-isothiazolin-3-one), 2-메틸-4-이소티아졸린-3-온(2-methyl-4-isothiazolin-3-one), 5-클로로-2-페테틸-3-이소티아졸린(5-chloro-2-penetyl-3-isothiazolin), 4-브로모- 2-n-도데실-3-이소티아졸린(4-bromo-2-n-dodecyl-3-isothiazolin), 4,5-디클로로-2-n-옥틸-3-이소티아졸린(4,5-dichloro-2-n-octyl-3-isothiazolin), 4-메틸-5-클로로-2-(4'-클로로벤질)-3-이소티아졸린(4-methyl-5-chloro-2-(4'-chlorobenzil)-3-isothiazolin), 4,5-디클로로-2-(4'-클로로벤질)-3-이소티아졸린(4,5-dichloro -2-(4'-chlorophenyl) -3-isothiazolin), 4,5-디클로로-2-(4'-클로로페닐)-3-이소티아졸린(4,5-dichloro-2-(4'-chlorophenyl) -3-isothiazolin), 4,5-디클로로-2-(2'-메톡시-3'-클로로페닐)-3-이소티아졸린(4,5-dichloro-2- (2'-methoxy-3'-chlorophenyl)-3-isothiazolin), 4,5-디브로모-2-(4'-클로로벤질)-3-이소티아졸린 (4,5-dibromo-2- (4'-chlorobenzil) -3- isothiazolin), 4-메틸-5-클로로-2-(4'-히드록시페닐)-3-이소티아졸린(4-methyl-5-chloro-2-(4'-hydroxyphenyl)-3- isothiazolin), 5-디클로로-2-n-헥실-3-이소티아졸린(4,5-dichloro-2-n-hexyl- 3-isothiazolin), 5-클로로-2-(3',4'-디클로로페닐)-3-이소티아졸린(5-chloro-2- (3',4'-dichlorophenyl) -3-isothiazolin), 6-아세톡시-2,4-디메틸-디옥산(6-acetoxy-2,4-dimethyl-dioxane), 2,2-디브로모-3-니트릴로프로피온(2,2-dibromo-3-nitrilopropion) 및 요오드(i2)로 구성된 군으로부터 선택된 1종 이상인 것이고; 상기 안정제는 소디움 브로메이트(sodium bromate, nabro3), 마그네슘 클로라이드(magnesium chloride), 마그네슘 나이트레이트(magnesium nitrate) 및 코퍼 나이트레이트 트리하이드레이트(copper nitrate trihydrate), 프로필렌 글리콜(propylene glycol)로 이루어지는 군으로부터 선택된1종이상인것을특징으로 하는cmp 슬러리 조성물.