화학기상증착장치

[청구항2] 제1항에 있어서,상기 간격조절유닛은 상기 제1하우징과 상기 제2하우징 사이에 위치하는 지지유닛과, 상기 제2하우징과 접하도록 상기 지지유닛과 결합되며 상기 제2하우징을 기준으로 상기 제1하우징을 승강시키는 조절유닛포함하는화학기상증착장치. [청구항3] 제2항에 있어서,상기 조절유닛은 나사산이 형성된볼트포함하는것을특징으로 하는화학기상증착장치. [청구항4] 제2항에 있어서,상기 챔버의 상면이 개방되었을 때에 상기 서셉터가 상기 챔버 내부에 설치된 상태로 상기 제1하우징을 승강시킬 수 있도록 상기 조절유닛의 직상방에 장애물이 없는 것특징으로 하는화학기상증착장치. [청구항5] 제2항에 있어서,상기 조절유닛은 상기 서셉터와 상기 가스분사유닛의 평행도를 조절할 수복수개인것을특징으로 하는화학기상증착장치. [청구항6] 제2항에 있어서,상기 조절유닛은 상기 서셉터의 중심을 기준으로 등간격으로3개배치된것을특징으로 하는화학기상증착장치. [청구항7] 제2항에 있어서,상기 조절유닛은무두렌치볼트인것을특징으로 하는화학기상증착장치. [청구항8] 제2항에 있어서,상기 제1하우징이 승강하더라도 상기 제2하우징과 상기 간격조절유닛 사이로 공정가스로 출입하지 못하도록 상기 지지유닛은차단부더포함하는것을특징으로 하는화학기상증착장치. [청구항9] 제2항에 있어서,상기 지지유닛으로부터 하방으로 연장되며 상기 제2하우징의 측면부와 면접(面接)하는하방연장부포함하는것을특징으로 하는화학기상증착장치. [청구항10] 제1항에 있어서,상기 제2하우징을 기준으로 상기 제1하우징의 승강된 높이를 고정하기 위하여 상기 간격조절유닛과 상기 제2하우징 사이의 거리를 고정시키거나 상기 간격조절유닛과 상기 제1하우징 사이의 거리를 고정시키는고정유닛더포함하는것을특징으로 하는화학기상증착장치. [청구항11] 제10항에 있어서,상기 고정유닛은 머리부를 포함하는 볼트이거나, 머리부가 없는 볼트 및 상기 머리부가 없는 볼트에 결합되는너트인것을특징으로 하는화학기상증착장치.