문맥 (context)
[청구항1]
상하면과 측면에 의한 내부 반응영역이 정의되고, 내측면을 따라 지지단이 구비된 챔버와
상기 챔버 내에서 상기 기판을 지지한 채 상하로 승강되는 서셉터와
상기 서셉터의 하강 시 상기 지지단에 외측 가장자리가 지지되고, 상기 서셉터의 상승 시 상기 기판 외곽을 따라 내측 가장자리가 밀착 지지되며, 상기 서셉터의 상승에 의해 상기 내 외측 가장자리 중간지점이 상기 서셉터에 선 접촉된 후 상기 내측 가장자리가 상기 기판 외곽에 후 접촉되는 쉐도우프레임
을 포함하는 플라즈마 박막증착장치
[청구항2]
제 1항에 있어서,상기 기판이 안착되는 상기 서셉터 상면은 상기 기판보다 큰 사이즈갖는플라즈마 화학기상증착장치.
[청구항3]
제 2항에 있어서,상기 쉐도우프레임은 네 개의 변을 갖는 사각프레임 형상이고, 상기 각 변은 내측 가장자리가 상하로 젖힘 가능하게 축으로 조인트연결된플라즈마 박막증착장치.
[청구항4]
제 3항에 있어서,셉터의 상승시 상기 쉐도우프레임은 수평을 이루고, 상기 서셉터의 하강 시 상기 쉐도우프레임은 내측 가장자리가 상기 외측 가장자리보다 높게 들어올려진 상태유지하는플라즈마 화학기상증착장치.
[청구항5]
제 4항에 있어서,상기 쉐도우프레임이 지지되는 지지단 상면과, 상기 지지단에 지지되는 상기 쉐도우프레임의 외측 가장자리 배면은 각각, 상기 기판으로부터 멀어질수록 비스듬히 상승되는 경사면이루는플라즈마 화학기상증착장치.
[청구항6]
제 5항에 있어서,상기 쉐도우프레임이지지되는 지지단 상면의 상승각은, 상기 쉐도우프레임의 상면 및 상기 외측 가장자리 배면 사이의 각도보다 작은 플라즈마 화학기상증착장치.
[청구항7]
제 4항에 있어서,상기 축을 제외한 상기 쉐도우프레임의 각 변 무게중심은 상기 서셉터내측에 있는플라즈마 화학기상증착장치.
[청구항8]
제 1항에 있어서,상기 기판 상부에 대면되고 rf 전압이 인가되며, 외부 반응가스를 상기 기판으로 공급하는 공급포트가 구비된 리드프레임과;상기 리드프레임과 상기 기판 사이에 구비되며, 상기 반응가스를 상기 기판으로 확산 분사하는 다수의 분사홀이 투공된 디퓨져플레이트와;상기 리드프레임 외곽을 따라 마련되어 상기 반응영역 내부를 배기하는 배기플레넘을 포함하는 평판표시장치의 제조위한플라즈마 화학기상증착장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
서셉터가 하강할 때와 상승할 때, 쉐도우프레임의 가장자리가 기판 및 서셉터와 어떻게 접촉하며 변화하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation서셉터의 승강 동작에 따른 쉐도우프레임의 접촉 메커니즘을 분석해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction서셉터 하강 시의 동작과 상승 시의 동작, 그리고 상승 중의 중간 단계를 추출한다.
- 상기 서셉터의 하강 시 상기 지지단에 외측 가장자리가 지지되고
- 상기 서셉터의 상승 시 상기 기판 외곽을 따라 내측 가장자리가 밀착 지지되며
- 상기 서셉터의 상승에 의해 상기 내 외측 가장자리 중간지점이 상기 서셉터에 선 접촉된 후 상기 내측 가장자리가 상기 기판 외곽에 후 접촉되는
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3근거 선택
evidence_selection하강 시의 외측 가장자리 지지, 상승 시의 내측 가장자리 밀착 지지, 그리고 선 접촉 후 후 접촉되는 순차적 과정을 핵심 근거로 선택한다.
- 서셉터의 하강 시 상기 지지단에 외측 가장자리가 지지
- 서셉터의 상승 시 상기 기판 외곽을 따라 내측 가장자리가 밀착 지지
- 내 외측 가장자리 중간지점이 상기 서셉터에 선 접촉된 후 상기 내측 가장자리가 상기 기판 외곽에 후 접촉
-
4논리 통합
logical_integration하강 시에는 외측 가장자리가 지지되고, 상승 시에는 내측 가장자리가 밀착되는 구조적 변화를 시간 순서대로 통합한다.
- 서셉터의 하강 시 상기 지지단에 외측 가장자리가 지지되고
- 상기 서셉터의 상승에 의해 상기 내 외측 가장자리 중간지점이 상기 서셉터에 선 접촉된 후 상기 내측 가장자리가 상기 기판 외곽에 후 접촉
-
5결론 도출
conclusion_formulation서셉터 하강 시 외측 가장자리 지지 -> 상승 중 중간지점 선 접촉 -> 상승 완료 시 내측 가장자리 후 접촉 및 밀착 지지의 흐름으로 결론을 도출한다.
- 서셉터의 하강 시 상기 지지단에 외측 가장자리가 지지되고
- 상기 서셉터의 상승 시 상기 기판 외곽을 따라 내측 가장자리가 밀착 지지되며
- 내 외측 가장자리 중간지점이 상기 서셉터에 선 접촉된 후 상기 내측 가장자리가 상기 기판 외곽에 후 접촉
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6답변 생성
answer_generation질문에 적합하도록 서셉터의 움직임에 따른 쉐도우프레임의 접촉 변화를 정리하여 답변을 생성한다.
- 서셉터의 하강 시 상기 지지단에 외측 가장자리가 지지되고
- 상기 서셉터의 상승 시 상기 기판 외곽을 따라 내측 가장자리가 밀착 지지되며
- 내 외측 가장자리 중간지점이 상기 서셉터에 선 접촉된 후 상기 내측 가장자리가 상기 기판 외곽에 후 접촉
근거 (evidence)
- 상기 서셉터의 하강 시 상기 지지단에 외측 가장자리가 지지되고
- 상기 서셉터의 상승 시 상기 기판 외곽을 따라 내측 가장자리가 밀착 지지되며
- 상기 서셉터의 상승에 의해 상기 내 외측 가장자리 중간지점이 상기 서셉터에 선 접촉된 후 상기 내측 가장자리가 상기 기판 외곽에 후 접촉되는
- 서셉터의 하강 시 상기 지지단에 외측 가장자리가 지지
- 서셉터의 상승 시 상기 기판 외곽을 따라 내측 가장자리가 밀착 지지
- 내 외측 가장자리 중간지점이 상기 서셉터에 선 접촉된 후 상기 내측 가장자리가 상기 기판 외곽에 후 접촉
- 서셉터의 하강 시 상기 지지단에 외측 가장자리가 지지되고
- 상기 서셉터의 상승에 의해 상기 내 외측 가장자리 중간지점이 상기 서셉터에 선 접촉된 후 상기 내측 가장자리가 상기 기판 외곽에 후 접촉
최종 답변 (final_answer)
서셉터가 하강할 때는 쉐도우프레임의 외측 가장자리가 지지단에 지지된다. 이후 서셉터가 상승하면, 쉐도우프레임의 내외측 가장자리 중간지점이 서셉터에 먼저 선 접촉(先 接觸)된 후, 최종적으로 쉐도우프레임의 내측 가장자리가 기판 외곽을 따라 밀착 지지(後 接觸)되는 과정을 거친다.
핵심 해석 (core_interpretation)
서셉터의 상하 운동에 따라 쉐도우프레임의 접촉 부위가 외측 가장자리에서 내측 가장자리로 순차적으로 변화하며 기판 외곽을 밀착 지지하는 메커니즘을 가진다.