문맥 (context)
[청구항2]
제1항에 있어서,상기 라이너는 단면이 j 모양인 환형의 튜브형상으로 내주벽과 외주벽의 높이가 서로 다른 것특징으로 하는화학기상증착장치.
제1항에 있어서,상기 라이너는 단면이 j 모양인 환형의 튜브형상으로 상기 내주벽과 상기 외주벽의 높이가 서로 다른 것특징으로 하는화학기상증착장치.
[청구항3]
제2항에 있어서,상기 내주벽은 상기 서셉터의 외측에 밀착되고, 상기 외주벽은 상기 챔버의 내측면밀착되는것을특징으로 하는화학기상증착장치.
제1항에 있어서,셉터의 하부에는 상기 서셉터를 유도 가열하는 유도가열기구비되는것을특징으로 하는화학기상증착장치.
[청구항4]
제1항에 있어서,상기 유도가열기는 유도코일을 구비하며, 상기 유도코일은 내부에 냉각유체가 흐르는냉각유로구비한것을특징으로 하는화학기상증착장치.
제3항에 있어서,상기 유도가열기는 유도코일을 구비하며, 상기 유도코일은 내부에 냉각유체가 흐르는냉각유로구비하는것을특징으로 하는화학기상증착장치.
[청구항5]
제1항에 있어서,셉터와 상기 유도코일 사이에 설치되어 상기 서셉터 및 상기 라이너를 지지하는지지플레이트더구비하는것을특징으로 하는화학기상증착장치.
제3항에 있어서,셉터와 상기 유도가열기 사이에 설치되어 상기 서셉터 및 상기 라이너를 지지하는지지플레이트더구비하는것을특징으로 하는화학기상증착장치.
[청구항6]
제1항에 있어서,상기 챔버의 하부에는 상기 공정공간 외부로 공급되어 상기 공정가스가 상기 공정공간 외부로 누출되는 것을 방지하는 퍼지가스가 유입되는퍼지가스유입구형성된것을특징으로 하는화학기상증착장치.
제1항에 있어서,상기 챔버의 하부에는 상기 공정공간 외부로 공급되어 상기 공정가스가 상기 공정공간 외부로 누출되는 것을 방지하는 퍼지가스가 유입되는퍼지가스유입구형성된것을특징으로 하는화학기상증착장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
라이너의 단면 형상은 무엇이며, 라이너의 내주벽과 외주벽은 각각 무엇에 밀착되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation라이너의 단면 형상과 내주벽 및 외주벽의 밀착 대상을 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 2항과 3항에서 라이너의 형상과 벽면의 밀착 관계를 추출한다.
- 단면이 j 모양인 환형의 튜브형상
- 상기 내주벽은 상기 서셉터의 외측에 밀착되고
- 상기 외주벽은 상기 챔버의 내측면밀착되는것
-
3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 형상 정보와 밀착 대상 정보를 선별한다.
- 단면이 j 모양인 환형의 튜브형상
- 내주벽은 상기 서셉터의 외측에 밀착
- 외주벽은 상기 챔버의 내측면밀착
-
4논리 통합
logical_integration라이너의 형상은 j 모양이며, 내주벽은 서셉터 외측에, 외주벽은 챔버 내측면에 각각 밀착됨을 연결한다.
- 단면이 j 모양인 환형의 튜브형상
- 내주벽은 상기 서셉터의 외측에 밀착
- 외주벽은 상기 챔버의 내측면밀착
-
5결론 도출
conclusion_formulation라이너는 j 모양의 환형 튜브이며, 내주벽은 서셉터 외측에, 외주벽은 챔버 내측면에 밀착된다는 결론을 도출한다.
- 단면이 j 모양인 환형의 튜브형상
- 내주벽은 상기 서셉터의 외측에 밀착
- 외주벽은 상기 챔버의 내측면밀착
-
6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 단면이 j 모양인 환형의 튜브형상
- 상기 내주벽은 상기 서셉터의 외측에 밀착되고
- 상기 외주벽은 상기 챔버의 내측면밀착되는것
- 내주벽은 상기 서셉터의 외측에 밀착
- 외주벽은 상기 챔버의 내측면밀착
최종 답변 (final_answer)
라이너의 단면은 j 모양인 환형의 튜브 형상이며, 라이너의 내주벽은 서셉터의 외측에 밀착되고 외주벽은 챔버의 내측면에 밀착된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
라이너는 j자형 단면을 가진 환형 구조로, 서셉터와 챔버 사이에 위치하여 각각의 벽면이 서셉터 외측과 챔버 내측에 밀착되는 구조를 가진다.