문맥 (context)
[청구항1]
기판이 안착된 서셉터와,
상기 기판과 대면되는 타겟과,
상기 기판 상에 박막 증착시 상기 기판을 상기 서셉터 상에 고정시키도록 상기 기판을 가압하는 클램프링과,
상기 클램프링을 지지하는 가동 핀과,
상기 가동 핀과 상기 클램프링의 하부를 연결하며 상기 가동 핀 및 상기 클램프링과 면접촉하는 판스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 스퍼터링장치
[청구항2]
제 1항에 있어서,스프링nan은2개의판교차되어있는것을특징으로 하는스퍼터링 장치.
[청구항3]
제 1항에 있어서,상기 박막증착시 상기 판스프링을 수축시키는리프트구동부를추가구비하는것을특징으로 하는스퍼터링 장치.
[청구항4]
제 1항에 있어서,상기 판스프링은 여러장이루어지는것을특징으로 하는스퍼터링 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
스퍼터링 장치에서 기판을 가압하여 고정하는 과정에 관여하는 구성요소들은 무엇이며, 이들의 물리적 연결 구조는 어떻게 구성되어 있는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation기판 고정 관련 구성요소와 그들의 연결 구조를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction기판을 가압하는 클램프링, 이를 지지하는 가동 핀, 그리고 이들을 연결하는 판스프링의 존재를 확인한다.
- 상기 기판을 상기 서셉터 상에 고정시키도록 상기 기판을 가압하는 클램프링
- 상기 클램프링을 지지하는 가동 핀
- 상기 가동 핀과 상기 클램프링의 하부를 연결하며 상기 가동 핀 및 상기 클램프링과 면접촉하는 판스프링
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3근거 선택
evidence_selection연결 관계를 설명하는 핵심 문구들을 선택한다.
- 클램프링을 지지하는 가동 핀
- 가동 핀과 상기 클램프링의 하부를 연결하며 상기 가동 핀 및 상기 클램프링과 면접촉하는 판스프링
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4논리 통합
logical_integration클램프링이 기판을 가압하고, 가동 핀이 클램프링을 지지하며, 판스프링이 가동 핀과 클램프링 하부를 연결 및 면접촉하는 구조임을 통합한다.
- 상기 기판을 상기 서셉터 상에 고정시키도록 상기 기판을 가압하는 클램프링
- 상기 클램프링을 지지하는 가동 핀
- 상기 가동 핀과 상기 클램프링의 하부를 연결하며 상기 가동 핀 및 상기 클램프링과 면접촉하는 판스프링
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5결론 도출
conclusion_formulation기판 고정 구성요소는 클램프링, 가동 핀, 판스프링이며, 판스프링이 가동 핀과 클램프링 하부를 연결하고 면접촉하는 구조로 결론짓는다.
- 상기 클램프링을 지지하는 가동 핀
- 상기 가동 핀과 상기 클램프링의 하부를 연결하며 상기 가동 핀 및 상기 클램프링과 면접촉하는 판스프링
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6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 형태로 최종 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 상기 기판을 상기 서셉터 상에 고정시키도록 상기 기판을 가압하는 클램프링
- 상기 클램프링을 지지하는 가동 핀
- 상기 가동 핀과 상기 클램프링의 하부를 연결하며 상기 가동 핀 및 상기 클램프링과 면접촉하는 판스프링
- 클램프링을 지지하는 가동 핀
- 가동 핀과 상기 클램프링의 하부를 연결하며 상기 가동 핀 및 상기 클램프링과 면접촉하는 판스프링
최종 답변 (final_answer)
기판을 가압하여 고정하는 구성요소는 클램프링, 가동 핀, 판스프링이다. 가동 핀은 클램프링을 지지하며, 판스프링은 가동 핀과 클램프링의 하부를 연결함과 동시에 가동 핀 및 클램프링과 면접촉하는 구조를 가진다.
핵심 해석 (core_interpretation)
클램프링이 기판을 가압하고, 가동 핀이 이를 지지하며, 판스프링이 가동 핀과 클램프링 하부를 연결 및 면접촉하여 기판 고정 메커니즘을 형성한다.