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디지털 엑스레이 디텍터 및 그 제조방법

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1625c6d5-33b1-5036-9c67-d2f6b5314960
출원번호
1020070122311
출원연도
2007
IPC
H01L 31/115
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 9] 기판 위에 형성된 게이트전극과 게이트라인 상기 기판 위에 형성된 제 1 절연막 상기 게이트전극 상부에 형성된 액티브패턴 상기 기판의 화소영역에 형성된 스토리지전극 상기 액티브패턴 상부에 형성된 소오스전극과 드레인전극 및 상기 게이트라인과 교차하여 상기 화소영역을 정의하는 데이터라인 상기 스토리지전극 상부의 화소부에 일 방향으로 배열되어 인접 화소와 공통으로 접지되는 한편 상기 스토리지전극과 접속하는 접지라인 상기 기판 위에 유기절연막으로 이루어지되, 상기 스토리지전극 상부에는 그 두께 일부가 제거되어 제 2 절연막패턴을 형성하는 한편 상기 드레인전극의 일부를 노출시키는 제 1 콘택홀을 포함하는 제 2 절연막 상기 제 1 콘택홀을 통해 상기 드레인전극과 전기적으로 접속하며, 그 일부는 상기 스토리지전극과 중첩하여 스토리지 커패시터를 구성하는 전하수집전극 상기 기판 위에 형성된 광도전막; 및 상기 광도전막 위에 형성된 도전 전극을 포함하는 디지털 엑스레이 디텍터 [청구항 10] 제 9 항에 있어서,상기 제 2 절연막은 포토 아크릴, 폴리이미드 및 벤조사이클로부텐과 같은 낮은 유전상수를 가진유기절연막으로이루어진것을특징으로 하는디지털 엑스레이 디텍터. [청구항 11] 제 9 항에 있어서,상기 전하수집전극nan은상기데이터라인과게이트라인의일부중첩되는것을특징으로 하는디지털 엑스레이 디텍터.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
디지털 엑스레이 디텍터에서 전하수집전극이 스토리지 커패시터를 구성하기 위해 스토리지전극과 맺고 있는 구조적 관계와, 제 1 콘택홀을 통한 전기적 접속 관계는 어떠한가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    전하수집전극이 스토리지전극과 맺는 구조적 관계(중첩 여부)와 제 1 콘택홀을 통한 전기적 접속 관계를 파악해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 9에서 전하수집전극의 구조적 특징과 제 1 콘택홀을 통한 접속 정보를 추출한다.

    • 상기 제 1 콘택홀을 통해 상기 드레인전극과 전기적으로 접속하며, 그 일부는 상기 스토리지전극과 중첩하여 스토리지 커패시터를 구성하는 전하수집전극
  3. 3근거 선택evidence_selection

    전하수집전극이 스토리지전극과 중첩하여 커패시터를 구성한다는 점과 제 1 콘택홀을 통해 드레인전극과 접속한다는 핵심 구절을 선택한다.

    • 상기 제 1 콘택홀을 통해 상기 드레인전극과 전기적으로 접속하며, 그 일부는 상기 스토리지전극과 중첩하여 스토리지 커패시터를 구성하는 전하수집전극
  4. 4논리 통합logical_integration

    전하수집전극의 일부가 스토리지전극과 중첩됨으로써 스토리지 커패시터가 형성되며, 제 1 콘택홀은 드레인전극과 전하수집전극 사이의 전기적 연결 통로 역할을 한다.

  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    전하수집전극은 스토리지전극과 일부가 중첩되어 스토리지 커패시터를 구성하는 구조적 관계를 가지며, 제 1 콘택홀을 통해 드레인전극과 전기적으로 접속된다.

  6. 6답변 생성answer_generation

    질문에 대해 구조적 관계와 전기적 접속 관계를 명확히 기술하여 답변을 생성한다.

근거 (evidence)
  • 상기 제 1 콘택홀을 통해 상기 드레인전극과 전기적으로 접속하며, 그 일부는 상기 스토리지전극과 중첩하여 스토리지 커패시터를 구성하는 전하수집전극
최종 답변 (final_answer)
전하수집전극은 그 일부가 스토리지전극과 중첩되어 스토리지 커패시터를 구성하는 구조적 관계를 가지며, 제 1 콘택홀을 통해 드레인전극과 전기적으로 접속된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
전하수집전극이 스토리지전극과 중첩되는 구조를 통해 스토리지 커패시터를 형성하고, 제 1 콘택홀을 이용하여 드레인전극과 전기적으로 연결되는 구성을 나타낸다.