문맥 (context)
[청구항 7]
반응 공간을 형성하는 챔버
상기 챔버의 내부에 위치하며, 기판을 안치하는 서셉터
상기 서셉터의 상부에 다수의 가스를 독립적으로 분사하는 가스분사수단
상기 챔버 벽에 형성되는 광 투과창과
상기 광 투과창과 대응되게 상기 챔버의 외부에 설치되고, 상기 기판에 광을 조사하는 광원; 및
상기 광 투과창의 내측에 개폐가 가능하여 상기 다수의 가스를 분사할 때 상기 광원을 차단할 수 있는 차단부재
를 포함하는 원자층 증착장치
[청구항 8]
제 7 항에 있어서,셉터는 다수로 구성되고, 다수의 상기 서셉터와 대응되어 상기 광 투과창 및 상기 광원이다수형성되는것을특징으로 하는원자층 증착장치.
[청구항 9]
제 7 항에 있어서,상기 광원은 자외선 또는 적외선램프인것을특징으로 하는원자층 증착장치.
[청구항 10]
제 7 항에 있어서,상기 광투과창nan은퍼지용가스공급수단포함하는것을특징으로 하는원자층 증착장치.
[청구항 11]
제 7 항에 있어서,상기 가스분사수단은, 다수의 가스통로를 가지는 회전축; 및상기 회전축에 연결되고 상기 다수의 가스통로와 연통되어 상기 다수의 가스를 분사하는 다수의 수평 인젝터;를 포함하고, 상기 광원의 출사광은 상기 다수의 수평 인젝터 사이의 공간을 통과하여상기기판조사되는것을특징으로 하는원자층 증착장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
광원을 포함하는 원자층 증착장치에서 가스분사수단이 다수의 수평 인젝터와 회전축을 포함할 경우, 광원의 출사광이 기판에 조사되는 경로는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation가스분사수단이 다수의 수평 인젝터와 회전축을 포함할 때, 광원의 출사광이 기판에 조사되는 경로를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 11에서 가스분사수단의 구성(회전축 및 다수의 수평 인젝터)과 광원의 조사 경로에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 가스분사수단은, 다수의 가스통로를 가지는 회전축; 및상기 회전축에 연결되고 상기 다수의 가스통로와 연통되어 상기 다수의 가스를 분사하는 다수의 수평 인젝터;를 포함하고, 상기 광원의 출사광은 상기 다수의 수평 인젝터 사이의 공간을 통과하여상기기판조사되는것을특징으로 하는원자층 증착장치
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3근거 선택
evidence_selection질문 조건인 '다수의 수평 인젝터와 회전축'을 포함하는 구성과 그에 따른 광원의 경로가 명시된 구절을 선택한다.
- 상기 광원의 출사광은 상기 다수의 수평 인젝터 사이의 공간을 통과하여상기기판조사되는것
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4논리 통합
logical_integration가스분사수단이 회전축과 수평 인젝터로 구성될 경우, 인젝터들 사이에 공간이 존재하며 광원은 이 공간을 통해 기판으로 전달됨을 연결한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation광원의 출사광은 다수의 수평 인젝터 사이의 공간을 통과하여 기판에 조사된다는 결론을 도출한다.
- 상기 광원의 출사광은 상기 다수의 수평 인젝터 사이의 공간을 통과하여상기기판조사되는것
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 직접적인 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 상기 가스분사수단은, 다수의 가스통로를 가지는 회전축; 및상기 회전축에 연결되고 상기 다수의 가스통로와 연통되어 상기 다수의 가스를 분사하는 다수의 수평 인젝터;를 포함하고, 상기 광원의 출사광은 상기 다수의 수평 인젝터 사이의 공간을 통과하여상기기판조사되는것을특징으로 하는원자층 증착장치
- 상기 광원의 출사광은 상기 다수의 수평 인젝터 사이의 공간을 통과하여상기기판조사되는것
최종 답변 (final_answer)
상기 광원의 출사광은 상기 다수의 수평 인젝터 사이의 공간을 통과하여 상기 기판에 조사된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
가스분사수단이 회전축과 다수의 수평 인젝터로 구성될 경우, 인젝터 사이의 공간을 활용하여 광원이 기판에 도달할 수 있도록 설계된 구조를 나타낸다.