기질상에물질을침착시키기위한장치

[청구항2] 제1항에 있어서,비임의 횡방향으로 실질적인 간섭광 비임에 대해 기질의 운동을 얻는 수단포함하는장치. [청구항3] 제1항에 있어서,비임에 실질적으로 수직인 방향으로 실질적인 간섭광 비임에 대하여 기질의 이동을 제공하는 가동 수단 및 기질상에 물질의 실질적으로 균일한 침착을 용이하게 하기 위해서 실질적인 간섭광 비임에 대해서 기질을 회전시키는 수단포함하는장치. [청구항5] 제4항에 있어서,번째 방향이 첫 번째 방향과 반대인 기질을 통과하는 광비임의 운동후 기질에 실질적으로 인접하고 평행한 두 번째 방향으로 광비임을 다시 배향하는 수단포함하는장치. [청구항6] 제4항에 있어서,광비임을 기질에 실질적으로 평행한 방향에서는 비교적 넓게, 기질에 실질적으로 수직인 방향에서는 비교적 얇게 조형하는 수단포함하는장치. [청구항8] 제7항에 있어서,도입 수단이 기질들에 실질적으로 인접하고 평행한 방향으로 기질들 사이의 간격에 기체를 도입하기 위한 기절들이 첫 번째 끝에 기질들 사이에 배치된 첫 번째 수단을 포함하고 또 기질들로부터 기체를 다소모하기 위한 첫 번째 끝의 반대편 기질들의 두 번째 끝에서 기질들 사이에 배치된 두번째 수단포함하는장치. [청구항9] 제7항에 있어서,비임-통과 수단이 기질에 실질적으로 인접하고 평행한 방향으로 기질들 사이로 실절적인 간섭광 비임이 운동하는 동안 실질적인 간섭광 비임내의 에너지 손실을 보정하기 위해구성성되는것을포함하는장치. [청구항10] 제9항에 있어서,비임-통과 수단이 기질을 따라 비임이 통과하는 동안 기질에 비교적 작은 각으로 비임을 점진적으로 기질배향하는장치. [청구항11] 제9항에 있어서,비임-통과 수단이 두 번째 방향이 첫 번째 방향과 반대인 기질에 실질적으로 인접하고 평행한 두 번째 방향으로 실질적인 간섭광 비임을 기질들 사이에 다시 배향하는 반사 수단포함하는장치. [청구항13] 제12항에 있어서,기체-도입 수단이 기질에 실질적으로 인접하고 평행하게, 기질을 따라 기체를 배향하기 위한, 기질의 첫 번째 끝에서 기질에 인접한 관계로 배치된 첫 번째 수단 및 기질의 두 번째 끝이 기질의 첫 번째 끝의 반대편인 기질로부터 기체를 다소모하기 위한 기질의 두 번째 끝에서 기질에 인접한 관계로 배치된 두 번째 수단포함하는장치. [청구항15] 제14항에 있어서,기질에 물질을 침착시킴에 있어서, 기질에 실질적으로 인접하고 평행한 방향으로 광통과와 함께 실질적인 간섭광 비임내의 에너지 변화를 보정하는 수단포함하는장치. [청구항16] 제15항에 있어서,기질을 따라 실질적인 간섭과 비임의 통과와 함께 실질적인 간섭광내 에너지 손실을 보정하기 위해서, 비교적 작은 각으로 기질을 향해 연장하는 방향으로 실질적인 간섭광 비임을 배향하는 수단을 갖는 보정수단포함하는장치. [청구항17] 제15항에 있어서,기질에 실질적으로 인접하고 평행한 역방향으로 실질적인 간섭과 비임의 통과를 제공하기 위해서 실질적인 간섭광 비임이 기질을 통과한 후, 실질적인 간섭광 비임을 반사하는 수단을 갖는 보정 수단포함하는장치. [청구항18] 제15항에 있어서,비임-배향 수단이 실질적인 간섭광을 제공하는 수단, 기질에 실질적으로 평행한 수평방향으로 실질적인 간섭광을 넓게하고, 넓혀진 실질적인 간섭강을 비임으로 전환시키는 첫 번째 렌즈 수단, 넓혀진 실질적인 간섭광 비임을 수평적으로는 실질적으로 일정하고 비교적 큰 비임으로 전환시키는 두 번째 수단, 수평에 대해 실질적으로 수직인 방향으로 넓혀진 실질적인 간섭광 비임을 집중시키는 세 번째 렌즈 수단, 및 실질적인 간섭광의 집중 비임을 수평에 대해 실질적으로 수직인 방향의 실질적으로 일정하고 비교적 작은 비임으로 전환시키는 네 번째 렌즈 수단포함하는장치. [청구항19] 제18항에 있어서,실질적인 간섭광 비임에 대해 기질을 옮기는 수단포함하는장치. [청구항20] 제15항에 있어서,기질을 위한 폐쇄용기, 실질적인 간섭광 비임을 폐쇄용 기안 및 기질을 따라 통과시키기 위한 폐쇄용기내에 배치된 창, 및 창에 어떤 물질의 침착을 방해하는 수단포함하는장치. [청구항21] 제19항에 있어서,이동 수단이 비임 방향에 실질적으로 수직인 방향으로 비임에 대해 기질하는장치. [청구항22] 제19항에 있어서,이동 수단이 비임에 대한 기질의 회전 운동제공하는장치. [청구항24] 제23항에 있어서,중성 기체의 배향 수단이 창을 통과하여 페쇄용기내에 중성 기체의 순환생성하는장치. [청구항25] 제23항에 있어서,배향 수단이 창의 한쪽 끝으로부터 창을 통하여 중성 기체를 배향하고, 중성 기체가창을 통과 한 후 창의 다른쪽 끝으로부터 중성 기체다 소모하는장치. [청구항26] 제23항에 있어서,기질상의 물질의 침착율을 조절하기 위해, 페쇄용 기내오 조절된 중성 기체들어가는장치. [청구항27] 제4항에 있어서,실질적인 간섭광 비임에 대하여 기질을 운동하게 하기 위한 수단포함하는장치. [청구항28] 제27항에 있어서,비임-운동 수단이 광비임을 받아들이고 그러한 비임을 반사하기 위해 배치된 첫 번째 기울, 및 기질을 따라 점진적인 위치로 광비임을 배향하기 위해 기질 및 첫 번째 거울에 대해 움직일 수 있고 첫 번째 거울로부터 반사된 광을 받아들이게 첫 번째 거울에 대해 배치된 두 번째 수단포함하는장치. [청구항30] 제29항에 있어서,다수의 기질들을 페쇄용기를 통하여 비임이 통과하는 방향으로 폐쇄용 기내에 정열되게 배치하고 폐쇄용기 각각에 인접한 기체상에 조작되는 광 비임의 강도가 실질적으로 동일하도록 보장하기 위한 수단들제공되는장치. [청구항31] 제29항에 있어서,비임이 기질에 실질적으로 수직인 방향에서 비교적조형되는장치. [청구항32] 제29항에 있어서,번째 기질이 첫 번째 기질에 실질적으로 인접하고 평행하게 배치되고 광 비임이 기질들에 실질적으로 인접하고 평행하게 기질들 사이배향되는장치.