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증착 장치

uuid
18ec9c16-41a7-57c2-8468-a4a4fcb5aa69
출원번호
1020110136876
출원연도
2011
IPC
C23C
분류
화학(C섹션)
문맥 (context)
[청구항2] 제 1항에 있어서,상기 홀더부는 상기 서셉터가 연장하는 방향에 대해 수직배치되는증착 장치. [청구항3] 제 1항에 있어서,회전 구동부는상기 홀더부에 연결되는 샤프트; 및상기 샤프트로부터 상기 샤프트의 회전축에 대하여 교차하는 방향으로 연장되는 다수 개의 핀들을 포함하고,상기 샤프트는 상기 핀들을 통하여 유입되는압축기체에의해서회전하는증착 장치. [청구항4] 제 3항에 있어서,상기 회전 구동부는,상기 샤프트 및 상기 핀들을 수용하는 하우징을 포함하고,상기 하우징은 상기 서셉터고정되는증착 장치. [청구항5] 제 4항에 있어서,상기 하우징에 연결되고, 상기 핀들에 상기 압축 기체를 공급하는 압축 기체 공급 라인포함하는증착 장치. [청구항6] 제 4 항에 있어서,상기 하우징에 연결되고, 상기 압축 기체를 배출시키는 압축 기체 배출 라인포함하는증착 장치. [청구항7] 제 5항 또는 제 6항에 있어서,상기 압축 기체는 불활성 기체포함하는증착 장치. [청구항8] 제 1항에 있어서,상기 홀더부는 5rpm 내지 100rpm의 속도회전하는증착 장치. [청구항9] 제 1항에 있어서,반응 기체는 탄소 및 규소포함하는증착 장치. [청구항10] 제 1항에 있어서,상기 웨이퍼는 탄화규소 웨이퍼를 포함하고,상기 웨이퍼에는 탄화규소 에피층증착되는증착 장치. [청구항11] 제 1항에 있어서,상기 홀더부를 고정하는 고정 부재를 더 포함하고,상기 고정 부재는 상기 서셉터결합되는증착 장치. [청구항12] 제 1항에 있어서,상기 소스 기체 분사부는 노즐을 포함하고,상기 노즐은 상기 반응 가스를 분사하는 복수 개의 분사 구멍포함하는증착 장치. [청구항13] 제 12항에 있어서,상기 노즐은 상기 서셉터가 연장하는 방향에 대해 수직 방향으로 연장하고,상기 노즐의 길이는웨이퍼의반지름길와동일하거나또는 더 큰 증착 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
증착 장치의 회전 구동부는 어떠한 구성 요소들로 이루어져 있으며, 압축 기체는 어떠한 과정을 통해 회전 구동부를 회전시키는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    회전 구동부의 구성 요소와 압축 기체에 의한 회전 작동 원리를 파악해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 3항과 4항에서 회전 구동부의 구성과 작동 방식을 추출한다.

    • 회전 구동부는상기 홀더부에 연결되는 샤프트; 및상기 샤프트로부터 상기 샤프트의 회전축에 대하여 교차하는 방향으로 연장되는 다수 개의 핀들을 포함하고
    • 상기 샤프트는 상기 핀들을 통하여 유입되는압축기체에의해서회전하는
    • 상기 회전 구동부는,상기 샤프트 및 상기 핀들을 수용하는 하우징을 포함하고
  3. 3근거 선택evidence_selection

    구성 요소(샤프트, 핀, 하우징)와 작동 기전(핀을 통한 기체 유입 및 샤프트 회전)에 관한 문구를 선택한다.

    • 샤프트; 및상기 샤프트로부터 상기 샤프트의 회전축에 대하여 교차하는 방향으로 연장되는 다수 개의 핀들을 포함
    • 상기 샤프트는 상기 핀들을 통하여 유입되는압축기체에의해서회전
    • 상기 샤프트 및 상기 핀들을 수용하는 하우징을 포함
  4. 4논리 통합logical_integration

    회전 구동부는 샤프트, 핀, 하우징으로 구성되며, 압축 기체가 핀으로 유입되어 샤프트를 회전시키는 구조임을 연결한다.

    • 회전 구동부는상기 홀더부에 연결되는 샤프트; 및상기 샤프트로부터 상기 샤프트의 회전축에 대하여 교차하는 방향으로 연장되는 다수 개의 핀들을 포함
    • 상기 샤프트는 상기 핀들을 통하여 유입되는압축기체에의해서회전
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    회전 구동부의 구성과 압축 기체의 작동 메커니즘을 종합하여 결론을 도출한다.

    • 회전 구동부는,상기 샤프트 및 상기 핀들을 수용하는 하우징을 포함
    • 상기 샤프트는 상기 핀들을 통하여 유입되는압축기체에의해서회전
  6. 6답변 생성answer_generation

    질문에 적합한 형태로 최종 답변을 작성한다.

근거 (evidence)
  • 회전 구동부는상기 홀더부에 연결되는 샤프트; 및상기 샤프트로부터 상기 샤프트의 회전축에 대하여 교차하는 방향으로 연장되는 다수 개의 핀들을 포함하고
  • 상기 샤프트는 상기 핀들을 통하여 유입되는압축기체에의해서회전하는
  • 상기 회전 구동부는,상기 샤프트 및 상기 핀들을 수용하는 하우징을 포함하고
  • 샤프트; 및상기 샤프트로부터 상기 샤프트의 회전축에 대하여 교차하는 방향으로 연장되는 다수 개의 핀들을 포함
  • 상기 샤프트는 상기 핀들을 통하여 유입되는압축기체에의해서회전
  • 상기 샤프트 및 상기 핀들을 수용하는 하우징을 포함
  • 회전 구동부는상기 홀더부에 연결되는 샤프트; 및상기 샤프트로부터 상기 샤프트의 회전축에 대하여 교차하는 방향으로 연장되는 다수 개의 핀들을 포함
  • 회전 구동부는,상기 샤프트 및 상기 핀들을 수용하는 하우징을 포함
최종 답변 (final_answer)
회전 구동부는 홀더부에 연결되는 샤프트, 샤프트의 회전축에 대해 교차 방향으로 연장되는 다수 개의 핀, 그리고 이들(샤프트 및 핀)을 수용하는 하우징으로 구성된다. 압축 기체가 다수 개의 핀을 통하여 유입됨으로써 샤프트가 회전하게 되는 방식으로 작동한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
회전 구동부의 물리적 구성(샤프트, 핀, 하우징)과 압축 기체의 유입을 통한 샤프트의 회전 메커니즘을 설명함.