문맥 (context)
[청구항2]
제 1 항에 있어서,상기n 개의 분할부 중 서로 결합되는 제 i, j 분할부는 각각 제 i 인젝터 및 디퓨저 커버와, 제 j 인젝터 및 디퓨저 커버를 갖고, 상기 제 i 인젝터와 제 j 인젝터의 접촉면은 서로 대응되는 하나 이상의 단차갖는화학기상 증착장비용 샤워 헤드.
[청구항3]
제 2 항에 있어서,젝터의 접촉면은 내부로 요입된 요입홈을 갖고, 상기 요입홈에 삽입되는 밀폐수단더욱 포함하는화학기상 증착장비용 샤워 헤드.
제 1 항에 있어서,젝터의 접촉면은 내부로 요입된 요입홈을 갖고, 상기 요입홈에 삽입되는 밀폐수단더욱 포함하는화학기상 증착장비용 샤워 헤드.
[청구항4]
제 3 항에 있어서,상기 밀폐수단은 비철금속, 고무를 포함하는 실링물질로 이루어지는화학기상 증착장비용 샤워 헤드.
제 3 항에 있어서,상기 밀폐수단은 비철금속, 고무를 포함하는 실링물질로 이루어지는화학기상 증착장비용 샤워 헤드.
[청구항5]
제 2 항에 있어서,상기 제 1 디퓨저 커버와 상기 제 2 디퓨저 커버의 접촉면은각각 평면인화학기상 증착장비용 샤워 헤드.
제 1 항에 있어서,디퓨저 커버와 상기제 j 디퓨저 커버의 접촉면각각 평면인화학기상 증착장비용 샤워 헤드.
[청구항7]
제 6 항에 있어서,상기 샤워 헤드의 n 개의 분할부 중 서로 결합되는 제 i, j 분할부는 각각 제 i 인젝터 및 디퓨저 커버와, 제 j 인젝터 및 디퓨저 커버를 갖고, 상기 제 i 인젝터와 제 j 인젝터의 접촉면은 서로 대응되는 하나 이상의 단차갖는화학기상 증착장비.
[청구항8]
제 7 항에 있어서,젝터의 접촉면은 내부로 요입된 요입홈을 갖고, 상기 요입홈에 삽입되는 밀폐수단더욱 포함하는화학기상 증착장비.
제 6 항에 있어서,젝터의 접촉면은 내부로 요입된 요입홈을 갖고, 상기 요입홈에 삽입되는 밀폐수단더욱 포함하는화학기상 증착장비.
[청구항9]
제 8 항에 있어서,상기 밀폐수단은 비철금속, 고무를 포함하는 실링물질로 이루어지는화학기상 증착장비.
제 8 항에 있어서,상기 밀폐수단은 비철금속, 고무를 포함하는 실링물질로 이루어지는화학기상 증착장비.
[청구항10]
제 7 항에 있어서,상기 제 1 디퓨저 커버와 상기 제 2 디퓨저 커버의 접촉면은각각 평면인화학기상 증착장비.
제 6 항에 있어서,디퓨저 커버와 상기제 j 디퓨저 커버의 접촉면각각 평면인화학기상 증착장비.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
화학기상 증착장비용 샤워 헤드의 인젝터 접촉면은 어떠한 구조를 가지며, 해당 접촉면의 요입홈에 삽입되는 밀폐수단은 무엇으로 이루어져 있는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation인젝터 접촉면의 구조적 특징과 밀폐수단의 재질 구성을 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction인젝터 접촉면의 단차 구조, 요입홈 존재 여부, 밀폐수단의 재질 정보를 추출한다.
- 제 i 인젝터와 제 j 인젝터의 접촉면은 서로 대응되는 하나 이상의 단차
- 젝터의 접촉면은 내부로 요입된 요입홈을 갖고
- 상기 밀폐수단은 비철금속, 고무를 포함하는 실링물질로 이루어지는
-
3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 접촉면 구조와 밀폐수단 재질에 관한 핵심 문구를 선택한다.
- 제 i 인젝터와 제 j 인젝터의 접촉면은 서로 대응되는 하나 이상의 단차
- 젝터의 접촉면은 내부로 요입된 요입홈을 갖고
- 상기 밀폐수단은 비철금속, 고무를 포함하는 실링물질로 이루어지는
-
4논리 통합
logical_integration인젝터 접촉면은 단차를 가지며 요입홈이 있고, 그 홈에 들어가는 밀폐수단은 비철금속이나 고무 실링물질로 구성됨을 연결한다.
- 제 i 인젝터와 제 j 인젝터의 접촉면은 서로 대응되는 하나 이상의 단차
- 젝터의 접촉면은 내부로 요입된 요입홈을 갖고
- 상기 밀폐수단은 비철금속, 고무를 포함하는 실링물질로 이루어지는
-
5결론 도출
conclusion_formulation인젝터 접촉면은 단차와 요입홈을 포함하며, 밀폐수단은 비철금속 또는 고무 실링물질로 구성된다는 결론을 도출한다.
- 제 i 인젝터와 제 j 인젝터의 접촉면은 서로 대응되는 하나 이상의 단차
- 젝터의 접촉면은 내부로 요입된 요입홈을 갖고
- 상기 밀폐수단은 비철금속, 고무를 포함하는 실링물질로 이루어지는
-
6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 적합한 답변을 작성한다.
- 제 i 인젝터와 제 j 인젝터의 접촉면은 서로 대응되는 하나 이상의 단차
- 젝터의 접촉면은 내부로 요입된 요입홈을 갖고
- 상기 밀폐수단은 비철금속, 고무를 포함하는 실링물질로 이루어지는
근거 (evidence)
- 제 i 인젝터와 제 j 인젝터의 접촉면은 서로 대응되는 하나 이상의 단차
- 젝터의 접촉면은 내부로 요입된 요입홈을 갖고
- 상기 밀폐수단은 비철금속, 고무를 포함하는 실링물질로 이루어지는
최종 답변 (final_answer)
인젝터의 접촉면은 서로 대응되는 하나 이상의 단차를 가지며, 내부로 요입된 요입홈을 포함한다. 이 요입홈에 삽입되는 밀폐수단은 비철금속 또는 고무를 포함하는 실링물질로 이루어진다.
핵심 해석 (core_interpretation)
인젝터 접촉면의 기하학적 구조(단차 및 요입홈)와 밀폐수단의 재질 구성(비철금속 및 고무 실링물질)을 정의함.