플라즈마 화학기상증착 장비

[청구항1] 밀폐된 반응영역을 정의하며 반구 형태로 상측을 감싸는 상부 돔을 포함하는 챔버와 상기 챔버의 일 측에 대응된 진공 포트 및 슬롯 밸브와 상기 반응영역으로 반응 가스를 공급하는 가스 주입구와 상기 상부 돔과 대향하는 서셉터와 상기 챔버의 일 측 하부에 위치하는 배기부와 상기 챔버의 내부에 위치하고, 상기 상부 돔의 하부면에 대응하여 서로 이격 구성된 다수의 돔 지지대 를 포함하는 플라즈마 화학기상증착 장비 [청구항2] 제 1 항에 있어서,상기 챔버의 내부는 10e-9 torr로유지되는것을특징으로 하는플라즈마 화학기상증착 장비. [청구항3] 제 1 항에 있어서,상기 상부 돔의 대향 면에는 하부 돔이 구성되며, 상기 상부 돔과 하부 돔은석영제작된것을특징으로 하는플라즈마 화학기상증착 장비. [청구항4] 제 1 항에 있어서,상기 다수의 돔 지지대는 상기 상부 돔과 동일 물질로 제작되며,상기상부및하부돔과일체형또는분리형제작된것을특징으로 하는플라즈마 화학기상증착 장비. [청구항5] 제 1 항에 있어서,상기 다수의 돔 지지대는 상기 가스 주입구를 통해 주입되는 반응 가스의 진행 방향과 평행한 방향설계한 것을특징으로 플라즈마 화학기상증착 장비. [청구항6] 제 1 항에 있어서,상기 다수의 돔 지지대는 제 1 방향으로 아래로 볼록한 형태의 만곡부를 이루는 제 1 돔 지지대와, 제 2 방향으로 위로 볼록한 형태의 만곡부를 이루는 제 2 돔 지지대를 포함하며, 상기 제 1 돔 지지대와 제 2 돔 지지대가서로대칭이루는것을특징으로 하는플라즈마 화학기상증착 장비. [청구항7] 제 1 항에 있어서,상기 다수의 돔 지지대는 상기 챔버의 외부에 위치하고, 다수의 돔 지지대는 제 1 방향으로 서로 평행하게 이격 구성된 다수의 제 1 돔 지지대와, 상기 다수의 제 1 돔 지지대와 교차하는 제 2 방향으로 서로 평행하게 이격 구성된다수의제2돔지지대포함하는것을특징으로 하는플라즈마 화학기상증착 장비. [청구항8] 제 7 항에 있어서,상기 다수의 돔 지지대는 제 1 방향으로 아래로 볼록한 형태의 만곡부를 이루는 다수의 제 1 돔 지지대와, 제 2 방향으로 위로 볼록한 형태의 만곡부를 이루는 다수의 제 2 돔 지지대와, 제 3 방향으로 우로 볼록한 형태의 만곡부를 이루는 다수의 제 3 돔 지지대와, 제 4 방향으로 좌로 볼록한 형태의 만곡부를 이루는 다수의 제 4 돔 지지대를 포함하며, 상기 제 1 돔 지지대와 제 2 돔 지지대가 서로 대칭을 이루고, 상기 제 3 돔 지지대와 제 4 돔 지지대가 서로 대칭을 이루며, 상기 제 1, 제 2 돔 지지대와 제 3,제4돔지지대서로교차하는것을특징으로 하는플라즈마 화학기상증착장비. [청구항9] 제 1 항에 있어서,상기 챔버의 내부에 위치하고, 상기 하부 돔의 상부면에 대응하여 서로 이격 구성된다수의하부돔지지대포함하는것을특징으로 하는플라즈마 화학기상증착 장비.