문맥 (context)
[청구항2]
제 1 항에 있어서,셉터 지지부재는 상기 서셉터와 상기 샤워헤드 사이의 동일한 간격유지를 위한완충부재들갖는것을특징으로 하는기판용 플라즈마 처리 장치.
제 1 항에 있어서,셉터 지지부재는상기 서셉터 저면을 지지하는 지지바; 및상기 지지바의 양단에 연결되고 상기 승강 샤프트에 고정되는 고정단포함하는기판용 플라즈마 처리 장치.
[청구항3]
제 2 항에 있어서,셉터 지지부재는상기 고정단에 설치되고, 상기 지지바를 탄력적으로 지지하는 완충부재더 포함하는기판용 플라즈마 처리 장치.
[청구항4]
제 1 항에 있어서,셉터 지지부재는 상기 서셉터와 상기 샤워헤드 사이의 동일한 간격유지를 위한 완충부재들포함하는기판용 플라즈마 처리 장치.
[청구항6]
제 1 항에 있어서,상기 간격유지부재는상기 서셉터가 상승 이동되었을 때 상기 샤워헤드의 상면과 접하게 되는 스톱퍼포함하는기판용 플라즈마 처리 장치.
[청구항7]
제 1 항에 있어서,상기 간격유지부재는사각틀 형상으로 이루어지며, 상기 서셉터가 다운 위치되었을 때 상기 샤워헤드의 저면 가장자리로부터 내측으로 돌출된 받침턱에 얹혀지는 제1받침부; 및상기 서셉터가 업 위치되었을 때 상기 서셉터의 가장자리에 얹혀지는 제2받침부포함하는기판용 플라즈마 처리 장치.
[청구항8]
제 7 항에 있어서,상기 간격유지부재는상기 제2받침부 상에 설치되는 스톱퍼더 포함하는기판용 플라즈마 처리 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
간격유지부재가 사각틀 형상일 때, 서셉터의 위치(업/다운)에 따라 제1받침부와 제2받침부가 각각 어떻게 작용하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation간격유지부재의 사각틀 형상에 따른 서셉터 위치별 받침부의 역할을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 7에서 간격유지부재의 형상과 제1받침부, 제2받침부의 구성을 추출한다.
- 상기 간격유지부재는사각틀 형상으로 이루어지며
- 제1받침부
- 제2받침부
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3근거 선택
evidence_selection서셉터의 다운 위치와 업 위치에 대응하는 각 받침부의 동작 조건을 선택한다.
- 상기 서셉터가 다운 위치되었을 때 상기 샤워헤드의 저면 가장자리로부터 내측으로 돌출된 받침턱에 얹혀지는 제1받침부
- 상기 서셉터가 업 위치되었을 때 상기 서셉터의 가장자리에 얹혀지는 제2받침부
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4논리 통합
logical_integration서셉터가 다운 위치일 때는 제1받침부가 샤워헤드의 돌출된 받침턱에 얹혀지고, 업 위치일 때는 제2받침부가 서셉터의 가장자리에 얹혀지는 관계를 통합한다.
- 상기 서셉터가 다운 위치되었을 때 상기 샤워헤드의 저면 가장자리로부터 내측으로 돌출된 받침턱에 얹혀지는 제1받침부
- 상기 서셉터가 업 위치되었을 때 상기 서셉터의 가장자리에 얹혀지는 제2받침부
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5결론 도출
conclusion_formulation서셉터의 위치에 따라 제1받침부와 제2받침부가 각각 샤워헤드의 받침턱과 서셉터의 가장자리에 얹혀지며 지지 구조를 형성함을 결론짓는다.
- 상기 서셉터가 다운 위치되었을 때 상기 샤워헤드의 저면 가장자리로부터 내측으로 돌출된 받침턱에 얹혀지는 제1받침부
- 상기 서셉터가 업 위치되었을 때 상기 서셉터의 가장자리에 얹혀지는 제2받침부
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6답변 생성
answer_generation질문에 적합하도록 서셉터의 위치별 동작을 명확히 기술한다.
- 상기 서셉터가 다운 위치되었을 때 상기 샤워헤드의 저면 가장자리로부터 내측으로 돌출된 받침턱에 얹혀지는 제1받침부
- 상기 서셉터가 업 위치되었을 때 상기 서셉터의 가장자리에 얹혀지는 제2받침부
근거 (evidence)
- 상기 간격유지부재는사각틀 형상으로 이루어지며
- 제1받침부
- 제2받침부
- 상기 서셉터가 다운 위치되었을 때 상기 샤워헤드의 저면 가장자리로부터 내측으로 돌출된 받침턱에 얹혀지는 제1받침부
- 상기 서셉터가 업 위치되었을 때 상기 서셉터의 가장자리에 얹혀지는 제2받침부
최종 답변 (final_answer)
간격유지부재가 사각틀 형상일 경우, 서셉터가 다운 위치에 있을 때는 제1받침부가 샤워헤드의 저면 가장자리로부터 내측으로 돌출된 받침턱에 얹혀지며, 서셉터가 업 위치에 있을 때는 제2받침부가 서셉터의 가장자리에 얹혀진다.
핵심 해석 (core_interpretation)
간격유지부재는 서셉터의 상하 이동(업/다운) 위치에 따라 샤워헤드의 받침턱 또는 서셉터의 가장자리에 각각 제1받침부와 제2받침부를 통해 지지되는 구조를 가진다.