문맥 (context)
[청구항 1]
플라즈마 처리장치내에서 전극주위를 플라즈마로부터 보호하는 플라즈마 차폐구조에 있어서,
상기 전극의 수평면 가장자리에 형성된 수평 자폐부재
상기 전극의 수직면에 복수개의 조각으로 형성하되, 상기 조각들의 경계면은 수직 또는 수평 방향을 기준으로 경사진 수직 차폐부재 및,
상기 수직 차폐부재의 하단부와 연결되어 상기 수직 차폐부재의 상단 수평 축을 중심으로 회전 가능하도록 회전 구동수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 차폐장치
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 수직 차폐부재는 제1 차폐부재 및 제2 차폐부재를 포함하는이중구조형성된것을특징으로 하는플라즈마 차폐장치.
[청구항 3]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 회전 구동수단은 상기 수직 차폐부재의 상단부는 수평축으로 고정되고, 상기 수직 차폐부재의 하단부는 수평 이동바와 연결되어 상기 수평 이동바의 구동으로 상기 수직 차폐부재가 상기 수평축을 중심으로 회전 가능하도록구성된것을특징으로 하는플라즈마 차폐장치.
[청구항 4]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 전극과 상기 수직 차폐부재 사이에절연부재적층된것을특징으로 하는플라즈마 차폐장치.
[청구항 5]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 복수개의 조각들 중 적어도 하나는 유전율이 다른 것특징으로 하는플라즈마 차폐장치.
[청구항 6]
제4항에 있어서,상기 경계면 중적어도 어느하나의경사각달리하는것을특징으로 하는플라즈마 차폐장치.
[청구항 7]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 차폐부재의 재질이세라믹인것을특징으로 하는플라즈마 차폐장치.
[청구항 8]
제3항에 있어서,상기 절연부재는강화테프론또는합성수지제작되는것을특징으로 하는플라즈마 차폐장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
플라즈마 차폐장치에서 수직 차폐부재가 상단 수평 축을 중심으로 회전하기 위해 하단부와 연결되어 작동하는 구성 요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation플라즈마 차폐장치에서 수직 차폐부재의 하단부와 연결되어 상단 수평 축 중심의 회전을 가능하게 하는 구성 요소를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 수직 차폐부재의 하단부와 연결되어 회전을 가능하게 하는 구성으로 '회전 구동수단'이 언급되어 있다.
- 상기 수직 차폐부재의 하단부와 연결되어 상기 수직 차폐부재의 상단 수평 축을 중심으로 회전 가능하도록 회전 구동수단을 포함하는
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3근거 선택
evidence_selection청구항 3에서 회전 구동수단의 구체적인 작동 방식과 연결 구성이 설명되어 있다.
- 상기 회전 구동수단은 상기 수직 차폐부재의 상단부는 수평축으로 고정되고, 상기 수직 차폐부재의 하단부는 수평 이동바와 연결되어 상기 수평 이동바의 구동으로 상기 수직 차폐부재가 상기 수평축을 중심으로 회전 가능하도록구성된
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4논리 통합
logical_integration회전 구동수단은 수직 차폐부재의 하단부를 '수평 이동바'와 연결하여 회전을 유도한다.
- 상기 수직 차폐부재의 하단부는 수평 이동바와 연결되어 상기 수평 이동바의 구동으로 상기 수직 차폐부재가 상기 수평축을 중심으로 회전 가능하도록구성된
-
5결론 도출
conclusion_formulation질문에서 요구하는 '하단부와 연결되어 작동하는 구성 요소'는 수평 이동바이다.
- 상기 수직 차폐부재의 하단부는 수평 이동바와 연결되어
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6답변 생성
answer_generation추출된 핵심 구성 요소인 '수평 이동바'를 최종 답변으로 생성한다.
- 수평 이동바
근거 (evidence)
- 상기 수직 차폐부재의 하단부와 연결되어 상기 수직 차폐부재의 상단 수평 축을 중심으로 회전 가능하도록 회전 구동수단을 포함하는
- 상기 회전 구동수단은 상기 수직 차폐부재의 상단부는 수평축으로 고정되고, 상기 수직 차폐부재의 하단부는 수평 이동바와 연결되어 상기 수평 이동바의 구동으로 상기 수직 차폐부재가 상기 수평축을 중심으로 회전 가능하도록구성된
- 상기 수직 차폐부재의 하단부는 수평 이동바와 연결되어 상기 수평 이동바의 구동으로 상기 수직 차폐부재가 상기 수평축을 중심으로 회전 가능하도록구성된
- 상기 수직 차폐부재의 하단부는 수평 이동바와 연결되어
- 수평 이동바
최종 답변 (final_answer)
수평 이동바
핵심 해석 (core_interpretation)
수직 차폐부재의 상단은 수평축에 고정하고 하단은 수평 이동바와 연결함으로써, 이동바의 구동을 통해 차폐부재를 회전시킬 수 있는 구조를 제공한다.