문맥 (context)
[청구항1]
박막증착장치의 반응기 내부에 설치되며, 기판이 안착되는 서셉터 에 있어서,
상기 기판의 가장자리부가 접촉되는 지지면과, 상기 지지면에 대하여 하방향으로 오목하도록 형성되며 상기 기판에 대하여 하방으로 이격되게 배치되는 홈부가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 서셉터
[청구항2]
제1항에 있어서,상기 홈부는 가장자리에서 중앙부쪽으로 갈수록 상기 지지면과의 수직 방향으로의 간격이 증가하도록형성되는것을특징으로 하는서셉터.
[청구항3]
제2항에 있어서,상기 지지면과 상기 홈부의 중앙부 사이의 수직방향으로의 간격은 0.05mm이상이하인것을특징으로 하는서셉터.
[청구항4]
반응기와, 상기 반응기의 내부에 설치되며 기판이 안착되는 서셉터와, 상기 기판을 향하여 공정가스를 분사하는 가스공급기를 포함하는 박막증착장치에 있어서,
상기 서셉터는 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 기재된 서셉터인 것을 특징으로 하는 박막증착장치
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
서셉터의 홈부는 지지면과 비교하여 위치 및 간격 측면에서 어떠한 구조적 특징을 갖는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation서셉터 내 홈부의 구조적 특징(위치, 형태, 간격 변화)을 파악하는 과업을 수행한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 1항과 2항에서 홈부의 위치, 형태, 간격 변화에 관한 정보를 추출한다.
- 지지면에 대하여 하방향으로 오목하도록 형성되며
- 상기 기판에 대하여 하방으로 이격되게 배치되는 홈부
- 가장자리에서 중앙부쪽으로 갈수록 상기 지지면과의 수직 방향으로의 간격이 증가하도록형성
-
3근거 선택
evidence_selection홈부의 오목한 형태, 하방 이격 배치, 그리고 중앙부로 갈수록 간격이 넓어지는 특성을 핵심 근거로 선택한다.
- 지지면에 대하여 하방향으로 오목하도록 형성되며
- 기판에 대하여 하방으로 이격되게 배치
- 가장자리에서 중앙부쪽으로 갈수록 상기 지지면과의 수직 방향으로의 간격이 증가
-
4논리 통합
logical_integration홈부는 지지면보다 아래쪽에 오목하게 위치하며, 기판과도 떨어져 있고, 중앙으로 갈수록 지지면과의 수직 간격이 넓어지는 구조임을 통합한다.
- 지지면에 대하여 하방향으로 오목하도록 형성되며
- 가장자리에서 중앙부쪽으로 갈수록 상기 지지면과의 수직 방향으로의 간격이 증가
-
5결론 도출
conclusion_formulation홈부는 지지면에 대해 하방으로 오목하게 형성되어 기판과 이격되며, 가장자리에서 중앙부로 갈수록 지지면과의 수직 간격이 증가하는 구조를 가진다.
-
6답변 생성
answer_generation추론된 결론을 바탕으로 질문에 대한 최종 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 지지면에 대하여 하방향으로 오목하도록 형성되며
- 상기 기판에 대하여 하방으로 이격되게 배치되는 홈부
- 가장자리에서 중앙부쪽으로 갈수록 상기 지지면과의 수직 방향으로의 간격이 증가하도록형성
- 기판에 대하여 하방으로 이격되게 배치
- 가장자리에서 중앙부쪽으로 갈수록 상기 지지면과의 수직 방향으로의 간격이 증가
최종 답변 (final_answer)
서셉터의 홈부는 지지면에 대하여 하방 방향으로 오목하게 형성되어 기판으로부터 하방으로 이격되어 배치된다. 또한, 홈부는 가장자리에서 중앙부 쪽으로 이동할수록 지지면과의 수직 방향 간격이 증가하는 구조적 특징을 갖는다.
핵심 해석 (core_interpretation)
서셉터의 홈부는 지지면 대비 하방 오목 구조이며, 기판과 이격되어 있고, 중앙부로 갈수록 지지면과의 수직 간격이 넓어지는 형태이다.