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패터닝된 증착원 및 이를 이용한 증착방법

uuid
1d11e466-98ad-5a39-b6d8-e9aa97bcfcb8
출원번호
1020030091947
출원연도
2003
IPC
C23C
분류
화학(C섹션)
문맥 (context)
[청구항1] 소정 깊이의 장입부를 구비하는 본체; 및 상기 장입부의 개구부를 덮으며 다수의 나란한 라인 형상의 개구를 구비하는 덮개부 를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴닝된 증착원 [청구항2] 제 1 항에 있어서,상기 본체와 상기 덮개부가 동일한 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 패턴닝된증착원. [청구항3] 제 1 항에 있어서,상기 덮개부에 형성된 각 개구의 폭은 1 ㎛ ~ 500 ㎛ 범위의 값을 가지며 길이는 증착 소오스 물질의 길이와 실질적으로 동일한 것을 특징으로 하는 패터닝된증착원. [청구항4] 제 1 항에 있어서,상기 덮개부가 보조적 가열원으로서 동작하는 것을 특징으로 하는 패터닝된증착원.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
패터닝된 증착원의 주요 구성 요소는 무엇이며, 덮개부에 형성된 개구의 규격 및 기능적 특성은 어떠한가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    패터닝된 증착원의 구성 요소와 덮개부의 규격 및 기능을 파악해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 1, 3, 4에서 본체, 덮개부, 개구의 폭/길이, 보조적 가열원 기능을 추출한다.

    • 소정 깊이의 장입부를 구비하는 본체
    • 다수의 나란한 라인 형상의 개구를 구비하는 덮개부
    • 각 개구의 폭은 1 ㎛ ~ 500 ㎛ 범위의 값을 가지며 길이는 증착 소오스 물질의 길이와 실질적으로 동일
    • 덮개부가 보조적 가열원으로서 동작
  3. 3근거 선택evidence_selection

    구성 요소(본체, 덮개부), 개구 규격(폭 1~500㎛, 길이 동일), 기능(보조적 가열원)에 해당하는 문구를 선택한다.

    • 본체
    • 덮개부
    • 각 개구의 폭은 1 ㎛ ~ 500 ㎛ 범위의 값을 가지며 길이는 증착 소오스 물질의 길이와 실질적으로 동일
    • 덮개부가 보조적 가열원으로서 동작
  4. 4논리 통합logical_integration

    추출된 정보를 구성 요소, 규격, 기능의 범주로 분류하여 통합한다.

  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    패터닝된 증착원은 본체와 덮개부로 구성되며, 덮개부의 개구는 특정 폭과 길이를 갖고 보조적 가열원 역할을 한다.

    • 본체
    • 덮개부
    • 각 개구의 폭은 1 ㎛ ~ 500 ㎛ 범위의 값을 가지며 길이는 증착 소오스 물질의 길이와 실질적으로 동일
    • 덮개부가 보조적 가열원으로서 동작
  6. 6답변 생성answer_generation

    질문에 답변하기 위해 구조화된 형태로 최종 답변을 작성한다.

근거 (evidence)
  • 소정 깊이의 장입부를 구비하는 본체
  • 다수의 나란한 라인 형상의 개구를 구비하는 덮개부
  • 각 개구의 폭은 1 ㎛ ~ 500 ㎛ 범위의 값을 가지며 길이는 증착 소오스 물질의 길이와 실질적으로 동일
  • 덮개부가 보조적 가열원으로서 동작
  • 본체
  • 덮개부
최종 답변 (final_answer)
패터닝된 증착원의 구성 및 특징은 다음과 같다. 1. 구성 요소: 소정 깊이의 장입부를 구비하는 본체 및 장입부의 개구부를 덮는 덮개부로 구성된다. 2. 개구의 규격: 덮개부에 형성된 각 개구의 폭은 1 ㎛ ~ 500 ㎛ 범위이며, 길이는 증착 소오스 물질의 길이와 실질적으로 동일하다. 3. 기능적 특성: 덮개부는 보조적 가열원으로서 동작한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
패터닝된 증착원은 본체와 덮개부로 이루어지며, 덮개부의 개구는 특정 규격(폭 1~500㎛, 소오스 길이와 동일)을 가지고 보조적 가열원 역할을 수행한다.