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화학기상증착장치 및 이를 위한 샤워헤드

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출원번호
1020090134358
출원연도
2009
IPC
C23C
분류
화학(C섹션)
문맥 (context)
[청구항2] 제 1항에 있어서,상기 방열판은 석영재질로 형성되어 상기 샤워헤드에 접하도록상기샤워헤드결합되는것을특징으로 하는화학기상증착장치. [청구항3] 제 2항에 있어서,상기 샤워헤드에는 공정가스가 분출되는 다수개의 가스 공급관이 구비되고, 상기 방열판에는 상기 가스 공급관의 출구와 연통되는다수개의연통홀형성되는것을특징으로 하는화학기상증착장치. 제 2항에 있어서,상기 샤워헤드에는 공정가스가 분출되는 다수개의 가스 공급관이 구비되고, 상기 방열판에는 상기 가스 공급관의 출구와 연통되는다수개의연통홀형성되는것을특징으로 하는화학기상증착장치. [청구항4] 제 3항에 있어서,상기 연통홀은 상기 가스 공급관의 출부보다 직경이 큰 것특징으로 하는화학기상증착장치. 제 3항에 있어서,상기 연통홀은 상기 가스 공급관의 출구보다 직경이 큰 것특징으로 하는화학기상증착장치. [청구항5] 제 3항에 있어서,상기 방열판의 상기 서셉터와 마주하는 표면에는 미세한요철면형성된것을특징으로 하는화학기상증착장치. 제 3항에 있어서,상기 방열판의 상기 서셉터와 마주하는 표면에는 미세한요철면형성된것을특징으로 하는화학기상증착장치. [청구항7] 제 6항에 있어서,상기 방열판은 석영재질로 형성되어상기본체결합되는것을특징으로 하는화학기상증착장치의 샤워헤드. [청구항8] 제 6항에 있어서,상기 방열판에는 상기 제 1가스 공급관과과 상기 제 2가스 공급관의 출구와 연통되는다수개의연통홀형성되는것을특징으로 하는화학기상증착장치의 샤워헤드. [청구항9] 제 8항에 있어서,상기 연통홀은 상기 제 1가스 공급관과 상기 제 2가스 공급관의 출구보다 직경이 큰 것특징으로 하는화학기상증착장치의 샤워헤드. 제 8항에 있어서,상기 연통홀은 상기 제 1가스 공급관과 상기 제 2가스 공급관의 출구보다 직경이 큰 것특징으로 하는화학기상증착장치의 샤워헤드. [청구항10] 제 6항에 있어서,상기 방열판의 하부면에는 미세한요철면형성된것을특징으로 하는화학기상증착장치의 샤워헤드. 제 8항에 있어서,상기 방열판의 하부면에는 미세한요철면형성된것을특징으로 하는화학기상증착장치의 샤워헤드.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
화학기상증착장치에서 방열판에 형성된 연통홀은 가스 공급관의 출구와 어떠한 관계를 가지며, 그 크기적 특징은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    방열판의 연통홀과 가스 공급관 출구 사이의 연결 관계 및 직경 크기 비교를 파악해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 3항과 4항에서 연통홀의 연결 대상과 직경에 관한 정보를 추출한다.

    • 상기 방열판에는 상기 가스 공급관의 출구와 연통되는다수개의연통홀형성
    • 상기 연통홀은 상기 가스 공급관의 출구보다 직경이 큰 것
  3. 3근거 선택evidence_selection

    연통홀이 가스 공급관 출구와 연통된다는 점과 직경이 더 크다는 핵심 근거를 선택한다.

    • 상기 방열판에는 상기 가스 공급관의 출구와 연통되는다수개의연통홀형성되는것을특징으로 하는화학기상증착장치
    • 상기 연통홀은 상기 가스 공급관의 출구보다 직경이 큰 것
  4. 4논리 통합logical_integration

    연통홀은 가스 공급관의 출구와 물리적으로 연결(연통)되어 있으며, 크기 면에서는 출구보다 직경이 더 크게 설계되어 있음을 통합한다.

    • 상기 방열판에는 상기 가스 공급관의 출구와 연통되는다수개의연통홀형성
    • 상기 연통홀은 상기 가스 공급관의 출구보다 직경이 큰 것
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    방열판의 연통홀은 가스 공급관의 출구와 연통되는 구조이며, 연통홀의 직경이 가스 공급관 출구의 직경보다 크다는 결론을 도출한다.

    • 상기 방열판에는 상기 가스 공급관의 출구와 연통되는다수개의연통홀형성
    • 상기 연통홀은 상기 가스 공급관의 출구보다 직경이 큰 것
  6. 6답변 생성answer_generation

    추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 최종 답변을 작성한다.

    • 상기 방열판에는 상기 가스 공급관의 출구와 연통되는다수개의연통홀형성되는것을특징으로 하는화학기상증착장치
    • 상기 연통홀은 상기 가스 공급관의 출구보다 직경이 큰 것
근거 (evidence)
  • 상기 방열판에는 상기 가스 공급관의 출구와 연통되는다수개의연통홀형성
  • 상기 연통홀은 상기 가스 공급관의 출구보다 직경이 큰 것
  • 상기 방열판에는 상기 가스 공급관의 출구와 연통되는다수개의연통홀형성되는것을특징으로 하는화학기상증착장치
최종 답변 (final_answer)
방열판에 형성된 연통홀은 가스 공급관의 출구와 연통되는 구조를 가지며, 연통홀의 직경은 가스 공급관의 출구보다 더 크다.
핵심 해석 (core_interpretation)
방열판의 연통홀은 가스 공급관 출구와 연결되어 있으며, 가스 흐름을 고려하여 출구보다 큰 직경을 갖는다.