방전 펌프 엑시머레이저장치

[청구항2] 제 1항에 있어서,상기 자기베어링 및 모터는 상기 레이저용기의 양측에 연달아 접속된하우징내수납되어있는것을특징으로 하는방전여기 엑시머레이저장치. [청구항3] 제 2항에 있어서,상기 레이저가스유로는 상기 하우징의 전체 길이에 걸쳐 연장되고, 이 하우징의 끝면에서상기레이저가스도입연통하고있는것을특징으로 하는방전여기 엑시머레이저장치. [청구항4] 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 자기베어링과 상기 모터의 상기 레이저가스유로에 면하는 부분은 레이저가스에 대한 내식성이 우수한 재료로 구성하거나 또는 레이저가스에 대한 내식성이 우수한재료제의캔있는것을특징으로 하는방전여기 엑시머레이저장치. 제 1항에 있어서,상기 레이저 가스 유로와 만나는 상기 자기 베어링과 상기 모터의 부분들은 상기 레이저 가스에 내식성을 가지는 재료로 만들어지거나 상기 레이저 가스에 내식성을 가지는 재료로 만들어진캔있는것을특징으로 하는방전 펌프 엑시머레이저장치. [청구항5] 제 4항에 있어서,상기 레이저가스에 대한 내식성이 우수한 재료는 퍼멀로이, 오스테나이트계스테인레스강, 니켈 - 구리합금, 니켈 - 크롬합금 또는 니켈 - 크롬 -몰리브덴합금인것을특징으로 하는방전여기 엑시머레이저장치. 제 4항에 있어서,상기 레이저가스에 대한 내식성을 가지는 재료는 퍼멀로이, 오스테나이트계스테인레스강, 니켈 - 구리합금, 니켈 - 크롬합금 또는 니켈 - 크롬 -몰리브덴합금인것을특징으로 하는방전 펌프 엑시머레이저장치. [청구항6] 제 1항 내지 제 5항중 어느 한 항에 있어서,상기 레이저가스도입로내에차압발생기구설치되어있는것을특징으로 하는방전여기 엑시머레이저장치. 제 1항에 있어서,상기 레이저 가스 도입nan로에차압발생기구배치되는것을특징으로 하는방전 펌프 엑시머레이저장치. [청구항7] 제 1항에 있어서,상기 레이저 가스 유로에차압발생기구배치되는것을특징으로 하는방전 펌프 엑시머레이저장치. 제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 레이저가스유로내에차압발생기구설치되어있는것을특징으로 하는방전여기 엑시머레이저장치. [청구항8] 제 7항에 있어서,상기 차압 발생 기구가나사홈래버린스포함하는것을특징으로 하는방전 펌프 엑시머레이저장치. [청구항9] 제 8항에 있어서,상기 나사홈 래버린스는상기자기베어링과상기레이저용기의내부사이에있는것을특징으로 하는방전 펌프 엑시머 레이저 장치.