증착 챔버, 이를 포함하는 증착 시스템 및 유기 발광 표시장치 제조방법

[청구항1] 내부에 공간을 구비하는 챔버 본체 상기 챔버 본체의 내부 공간에 제1 방향을 따라 배열되며, 복수의 기판 각각을 고정하는 복수개의 기판 고정부 상기 기판에 대향 배치되어 상기 기판에 증착 물질을 분사하는 증착원; 및 상기 증착원을 지지하며, 상기 증착원을 상기 기판 중 어느 하나에 대향하도록 이동시키는 증착원 이송부 를 포함하는 증착 챔버 [청구항2] 제1항에 있어서,상기 기판과 상기 증착원 사이에서, 복수개의 증착용 마스크가 상기 기판 각각과 대응하는 위치에 배치되도록 상기 증착용 마스크를 이송하는 마스크 이송부더 포함하는증착 챔버. [청구항3] 제1항에 있어서,상기 챔버 본체 일측에 배치되며, 상기 증착용 마스크를 보관하는 마스크 보관 챔버를 더 포함하고,상기 마스크 보관 챔버는 상기 마스크 이송부연결되는증착 챔버. [청구항4] 제3항에 있어서,상기 마스크 보관 챔버는 상기 챔버 본체의 상기 제1 방향에 따른 일측 단부설치되는증착 챔버. [청구항5] 제3항에 있어서,상기 마스크 보관 챔버 및 상기 챔버 본체와 연결되며, 상기 증착용 마스크를 세정하는 마스크 세정 챔버더 포함하는증착 챔버. [청구항6] 제5항에 있어서,상기 마스크 세정 챔버는 상기 챔버 본체의 상기 제1 방향에 따른 일측 단부에 설치되고, 상기 마스크 세정 챔버는상기챔버본체및상기마스크보관챔버각각연통하도록연결되는증착 챔버. [청구항7] 제1항에 있어서,상기 각각의 기판과 상기 증착용 마스크를 기 설정된 위치에 정렬하는 정렬부더 포함하는증착 챔버. [청구항8] 제7항에 있어서,이송부는 상기 제1 방향으로 연장된 한 쌍의 레일을 포함하고,상기 증착용 마스크는 차폐부와 개구부가 형성된 마스크 본체와, 상기 마스크 본체를 고정하면서 상기 레일에 지지되는 프레임을 포함하며,상기 증착용 마스크의 프레임은 상기 마스크 이송부의 레일을 감싸는 방착판더 포함하는증착 챔버. [청구항9] 증착 공정을 수행하는 복수개의 증착 챔버; 및 서로 이웃한 상기 증착 챔버의 사이에 배치되어 상기 각 증착 챔버를 연결하는 이송 챔버 를 포함하고, 상기 증착 챔버는, 내부에 공간을 구비하는 챔버 본체, 상기 챔버 본체의 내부 공간에 제1 방향을 따라 배열되며 복수의 기판 각각을 고정하는 복수개의 기판 고정부, 상기 기판에 대향 배치되어 상기 기판에 증착 물질을 분사하는 증착원, 및 상기 증착원을 지지하면 상기 증착원을 상기 기판 중 어느 하나에 대향하도록 이동시키는 증착원 이송부를 포함하는 증착 시스템 [청구항10] 제9항에 있어서,상기 기판과 상기 증착원 사이에서, 복수개의 증착용 마스크가 상기 기판 각각과 대응하는 위치에 배치되도록 상기 증착용 마스크를 이송하는 마스크 이송부포함하는증착 시스템. [청구항11] 제10항에 있어서,상기 이송 챔버에서 상기 증착 챔버로 상기 기판이 제공될 때, 상기 기판은 상기 증착 챔버 및 상기 이송 챔버가 연결된 제2 방향을 따라 이송되어 제공되며, 상기 증착용 마스크는 상기 제2 방향과 교차하는상기제1방향이송되어제공되는증착 시스템. [청구항12] 제9항에 있어서,상기 이송 챔버는상기 인접한 증착 챔버에서 상기 기판을 반출하여 인접한 상기 다른 증착 챔버로 반입하는 기판 이송부포함하는증착 시스템. [청구항13] 제12항에 있어서,상기 이송 챔버의 일측에 연결되는 버퍼 챔버더 포함하는증착 시스템. [청구항14] 제13항에 있어서,상기 기판 이송부는 로봇 암 형태의 구조포함하는증착 시스템.