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화학기상 증착장치

uuid
20bb8c12-9441-5293-a662-dbb4f102ff39
출원번호
1020100128439
출원연도
2010
IPC
C23C
분류
화학(C섹션)
문맥 (context)
[청구항2] 제 1항에 있어서,상기 복수의 전원블록에는 상기 냉매순환로에 연통되어 상기 냉매의 배출경로를 형성하는냉매배출로더형성되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. 제 1항에 있어서,상기 복수의 전원블록에는 상기 냉매순환로에 연통되어 상기 냉매의 배출경로를 형성하는냉매배출로더형성되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. [청구항3] 제 2항에 있어서,상기 냉매순환로에 연통되어 상기 냉매를 상기 냉매순환로로 공급하는 냉매공급관과, 상기 냉매배출로에 연통되어 상기 냉매배출로를 따라 배출되는 상기 냉매를 배출시키는냉매배출관더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. 제 2항에 있어서,상기 냉매순환로에 연통되어 상기 냉매를 상기 냉매순환로로 공급하는 냉매공급관과, 상기 냉매배출로에 연통되어 상기 냉매배출로를 따라 배출되는 상기 냉매를 배출시키는냉매배출관더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. [청구항4] 제 3항에 있어서,상기 냉매공급관의 외경은 상기 냉매배출관의 내경보다 작게 형성되며, 상기 냉매공급관은상기냉매배출관의내부삽입되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. 제 3항에 있어서,상기 냉매공급관의 외경은 상기 냉매배출관의 내경보다 작게 형성되며, 상기 냉매공급관은상기냉매배출관의내부삽입되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. [청구항5] 제 4항에 있어서,상기 복수의 전원블록은 각각 상부블록과 하부블록으로 분리되며, 상기 냉매순환로는 상기 상부블록에 형성되고, 상기 냉매배출로는상기하부블록형성되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. 제 4항에 있어서,상기 복수의 전원블록은 각각 상부블록과 하부블록으로 분리되며, 상기 냉매순환로는 상기 상부블록에 형성되고, 상기 냉매배출로는상기하부블록형성되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. [청구항6] 제 5항에 있어서,상기 전원공급선은 상기 냉매배출로에 연통되는 중공이 형성되고 상기 하부블록에 연결되어상기냉매배출관사용되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. 제 5항에 있어서,상기 전원공급선은 상기 냉매배출로에 연통되는 중공이 형성되고 상기 하부블록에 연결되어상기냉매배출관사용되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. [청구항7] 제 1항에 있어서,상기 복수의 전원공급선은 양극선과 음극선을 포함하고, 상기 복수의 전원블록은 상기 양극선에 연결되는 양극블록과 상기 음극선에 연결되는 음극블록을 포함하며,상기 히팅코일에는 상기 양극블록과 상기 음극블록이 연결되어통전되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. [청구항8] 제 1항에 있어서,상기 히팅코일과 상기 복수의 전원블록의 사이에 배치되는복수의방열판더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. 제 1항에 있어서,상기 히팅코일과 상기 복수의 전원블록의 사이에 배치되는복수의방열판더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. [청구항9] 제 1항에 있어서,셉터에는 상기 챔버의 내부와 차단되는 별도의 공간이 형성되며, 상기 히팅코일과 상기 복수의 전원블록은 상기 서셉터의내부배치되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. 제 1항에 있어서,셉터에는 상기 챔버의 내부와 차단되는 별도의 공간이 형성되며, 상기 히팅코일과 상기 복수의 전원블록은 상기 서셉터의내부배치되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. [청구항10] 제 9항에 있어서,셉터를 지지하며, 상기 서셉터가 회전되도록 하는 회전축을 더 포함하며,상기 복수의 전원공급선은 상기 회전축과 상기 서셉터를 관통하여상기복수의전원블록각각연결되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. 제 9항에 있어서,셉터를 지지하며, 상기 서셉터가 회전되도록 하는 회전축을 더 포함하며,상기 복수의 전원공급선은 상기 회전축과 상기 서셉터를 관통하여상기복수의전원블록각각연결되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. [청구항11] 제 1항에 있어서,상기 복수의 전원블록은 동(銅)을 포함하는전도체재질판상으로이루어지는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. 제 1항에 있어서,상기 복수의 전원블록은 동(銅)을 포함하는전도체재질판상으로이루어지는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
냉매공급관과 냉매배출관은 서로 어떠한 구조적 관계를 가지며, 각각의 역할은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    냉매공급관과 냉매배출관의 구조적 관계와 각각의 기능을 파악해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 3항과 4항에서 각 관의 기능과 크기 관계를 추출한다.

    • 상기 냉매순환로에 연통되어 상기 냉매를 상기 냉매순환로로 공급하는 냉매공급관
    • 상기 냉매배출로에 연통되어 상기 냉매배출로를 따라 배출되는 상기 냉매를 배출시키는냉매배출관
    • 상기 냉매공급관의 외경은 상기 냉매배출관의 내경보다 작게 형성되며
    • 상기 냉매공급관은상기냉매배출관의내부삽입되는것을
  3. 3근거 선택evidence_selection

    기능에 관한 문구와 구조적 관계에 관한 문구를 선별한다.

    • 냉매를 상기 냉매순환로로 공급하는 냉매공급관
    • 냉매를 배출시키는냉매배출관
    • 냉매공급관의 외경은 상기 냉매배출관의 내경보다 작게 형성
    • 냉매공급관은상기냉매배출관의내부삽입
  4. 4논리 통합logical_integration

    냉매공급관은 공급 역할을 하며 냉매배출관 내부에 삽입되는 구조임을 결합한다.

    • 냉매공급관은상기냉매배출관의내부삽입되는것을
    • 냉매공급관의 외경은 상기 냉매배출관의 내경보다 작게 형성
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    냉매공급관은 냉매순환로로 냉매를 공급하고, 냉매배출관은 냉매배출로를 따라 냉매를 배출하며, 공급관이 배출관 내부에 삽입되는 구조임을 정리한다.

    • 냉매공급관
    • 냉매배출관
  6. 6답변 생성answer_generation

    추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.

근거 (evidence)
  • 상기 냉매순환로에 연통되어 상기 냉매를 상기 냉매순환로로 공급하는 냉매공급관
  • 상기 냉매배출로에 연통되어 상기 냉매배출로를 따라 배출되는 상기 냉매를 배출시키는냉매배출관
  • 상기 냉매공급관의 외경은 상기 냉매배출관의 내경보다 작게 형성되며
  • 상기 냉매공급관은상기냉매배출관의내부삽입되는것을
  • 냉매를 상기 냉매순환로로 공급하는 냉매공급관
  • 냉매를 배출시키는냉매배출관
  • 냉매공급관의 외경은 상기 냉매배출관의 내경보다 작게 형성
  • 냉매공급관은상기냉매배출관의내부삽입
  • 냉매공급관은상기냉매배출관의내부삽입되는것을
  • 냉매공급관
  • 냉매배출관
최종 답변 (final_answer)
냉매공급관은 냉매순환로에 연통되어 냉매를 공급하는 역할을 하며, 냉매배출관의 내경보다 작은 외경을 가져 냉매배출관의 내부에 삽입되는 구조를 가진다. 반면, 냉매배출관은 냉매배출로에 연통되어 냉매배출로를 따라 냉매를 배출시키는 역할을 수행한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
냉매공급관은 냉매순환로로 냉매를 공급하며 냉매배출관 내부에 삽입되는 구조이고, 냉매배출관은 냉매배출로를 통해 냉매를 배출하는 역할을 한다.