문맥 (context)
[청구항1]
챔버와;
상기 챔버 내에서 기판을 지지하는 서셉터를 가지는 기판지지유닛과
상기 기판 상으로 공정가스를 공급하는 가스공급유닛과
상기 기판지지유닛을 감싸는 링 형상으로 제공되고, 상기 챔버 내에 공정가스를 외부로 배출시키는 배기유닛과
상기 서셉터의 아래에 위치되며, 상기 기판을 가열하는 히터와; 그리고
상기 히터가 제공된 영역으로 공정가스가 유입되는 것을 차단하는 차단유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치
[청구항2]
제1항에 있어서,상기 차단유닛은,상기 서셉터와 상기 히터 간에 위치되고, 원판 형상을 가지는 수평 차단판과;상기 배기유닛과 상기 히터 간에 위치되고, 링 형상을 가지는 수직 차단판을 포함하되;상기 수평 차단판의 저면 가장자리부는 상기 수평 차단판의 저면 중앙부와 단차진 형상을 가지며, 상기 수평 차단판의 저면 가장자리부는 상기 배기유닛의 상면에 놓이고,상기 수직 차단판의 상면 가장자리에는 원주방향을 따라 상부방향으로 돌출된 돌기가 형성되고, 상기 돌기는 상기 수평 차단판의 저면 가장자리부삽입되는 것을특징으로 기판처리장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판처리장치의 차단유닛은 어떠한 구성요소로 이루어져 있으며, 수평 차단판과 수직 차단판은 서로 어떻게 결합되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation차단유닛의 구성 요소와 수평/수직 차단판 간의 결합 구조를 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction차단유닛의 구성 요소인 수평 차단판과 수직 차단판, 그리고 각 부위의 형상 정보를 추출한다.
- 원판 형상을 가지는 수평 차단판
- 링 형상을 가지는 수직 차단판
- 수직 차단판의 상면 가장자리에는 원주방향을 따라 상부방향으로 돌출된 돌기가 형성
-
3근거 선택
evidence_selection결합 관계를 설명하는 핵심 문구인 수평 차단판의 저면 가장자리부와 수직 차단판의 돌기 관련 내용을 선택한다.
- 상기 수평 차단판의 저면 가장자리부는 상기 수평 차단판의 저면 중앙부와 단차진 형상을 가지며
- 상기 돌기는 상기 수평 차단판의 저면 가장자리부삽입되는 것
-
4논리 통합
logical_integration수평 차단판은 원판 형상이고 수직 차단판은 링 형상이며, 수직 차단판의 돌기에 수평 차단판의 저면 가장자리부가 삽입되는 구조임을 통합한다.
- 원판 형상을 가지는 수평 차단판
- 링 형상을 가지는 수직 차단판
- 상기 돌기는 상기 수평 차단판의 저면 가장자리부삽입되는 것
-
5결론 도출
conclusion_formulation차단유닛은 수평 차단판과 수직 차단판으로 구성되며, 수직 차단판의 돌기에 수평 차단판의 저면 가장자리부가 삽입되어 결합된다는 결론을 도출한다.
-
6답변 생성
answer_generation질문에 적합하도록 구성 요소와 결합 방식을 정리하여 최종 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 원판 형상을 가지는 수평 차단판
- 링 형상을 가지는 수직 차단판
- 수직 차단판의 상면 가장자리에는 원주방향을 따라 상부방향으로 돌출된 돌기가 형성
- 상기 수평 차단판의 저면 가장자리부는 상기 수평 차단판의 저면 중앙부와 단차진 형상을 가지며
- 상기 돌기는 상기 수평 차단판의 저면 가장자리부삽입되는 것
최종 답변 (final_answer)
차단유닛은 원판 형상의 수평 차단판과 링 형상의 수직 차단판으로 구성된다. 결합 방식은 수직 차단판의 상면 가장자리에 형성된 돌기에 수평 차단판의 저면 가장자리부가 삽입되는 구조를 가진다.
핵심 해석 (core_interpretation)
차단유닛은 수평 차단판과 수직 차단판의 조합으로 이루어지며, 수직 차단판의 돌기가 수평 차단판의 저면 가장자리부에 삽입됨으로써 결합된다.