최종산출물 210676c1-bc32-5e71-976b-4938f2b17296

uuid: 210676c1-bc32-5e71-976b-4938f2b17296
출원번호: 1020107006566
출원연도: 2008
IPC: C23C 16/455
분류: 화학(C섹션)

문맥 (context)

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 처리 공간내에 처리 가스를 도입하는 처리 가스 도입구가 상기 처리 공간 형성 부재마련되어 있는플라즈마 처리 장치. [청구항 4] 제 1 항에 있어서,상기 처리 공간 형성 부재의 상단부에 플랜지 부위가 있고, 상기 플랜지 부위는 상기 처리 공간 형성 부재의 상단부에서 상기 처리 용기의 측벽을 향해 연장되어 있고,상기 플랜지 부위에 상기 배기구마련되어 있는플라즈마 처리 장치. [청구항 5] 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 배기구가 상기 처리 공간의 외측에 마련되고, 또한 가스를 상기 기판 탑재대에 대해연직방향상방배기하도록구성되어 있는플라즈마 처리 장치. [청구항 6] 제 5 항에 있어서,상기 배기구의 아래쪽에, 상기 처리 공간 형성 부재의 중간부의 외벽과 상기 처리 용기의 내벽 사이에 배치된 공간이 있고, 이 공간이 배기 통로있는플라즈마 처리 장치. [청구항 7] 제 6 항에 있어서,상기 처리 용기의 상기 기판 탑재대의 아래쪽에 아래쪽 공간이 있고, 상기 아래쪽 공간이 배기 펌프에 접속되는 배기 공간에 연통되어 있고, 상기 배기 공간에 상기 배기 통로연통되는플라즈마 처리 장치. [청구항 8] 제 7 항에 있어서,상기 처리 공간 형성 부재의 하단부에, 내경이 상기 기판 탑재대의 외경보다도 넓은 제 1 부분과, 내경이 상기 기판 탑재대의 외경보다도 좁은 제 2 부분을 갖는 스폿페이싱 구멍형상 부위가 있고, 상기 기판 탑재대가 상기 제 1 부분수용되는플라즈마 처리 장치. [청구항 9] 제 8 항에 있어서,상기 기판 탑재대와 상기 제 1 부분의 사이에, 상기 처리 공간과 상기 배기 공간에 연통되는 단면 l자형상의 클리어런스가 있고, 상기 단면 l자형상의 클리어런스의 배기 콘덕턴스가 상기 배기구의 배기 콘덕턴스보다도 작은 플라즈마 처리 장치. [청구항 10] 제 4 항에 있어서,상기 배기구가 상기 플랜지 부위에 복수 마련되어 있고, 상기 처리 가스 도입구에 대해 상기 처리 가스를 보내는 처리 가스 도입 통로가, 상기 플랜지 부위의 상기 복수의 배기구 사이에 배치되고, 상기 처리 용기의 외부에 마련된 처리 가스 공급 기구에 접속되는 주 처리 가스 도입 통로와, 상기 처리 공간 형성 부재의 상단부내에 배치되고, 상기 주 처리 가스 도입 통로에 접속된 고리형상 처리 가스 도입 통로와, 상기 처리 공간 형성 부재의 중간부내에 배치되고, 상기 고리형상 처리 가스 도입 통로와 상기 처리 가스 도입구를 접속하는 부 처리 가스 도입 통로구비하고 있는플라즈마 처리 장치. [청구항 11] 제 10 항에 있어서,상기 처리 공간 형성 부재의 하단부에, 내경이 상기 기판 탑재대의 외경보다도 넓은 제 1 부분과, 내경이 상기 기판 탑재대의 외경보다도 좁은 제 2 부분을 갖는 스폿페이싱 구멍형상 부위가 있고, 상기 처리 가스 도입구가 상기 제 2 부분형성되어 있는플라즈마 처리 장치. [청구항 12] 제 11 항에 있어서,상기 기판 탑재대가 상기 제 1 부분에 수용되고, 상기 처리 가스가 상기 기판 탑재대의 위쪽으로부터 상기 처리 공간도입되는플라즈마 처리 장치. [청구항 14] 제 13 항에 있어서,상기 처리 용기의 상기 기판 탑재대의 아래쪽에 아래쪽 공간이 있고, 상기 아래쪽 공간에 상기 기판 탑재대를 승강시키는 탑재대 승강 기구가 마련되고, 상기 탑재대 승강 기구가 상기 기판 탑재대를, 상기 아래쪽 공간과 상기 처리 공간 형성 부재의 사이승강시키는플라즈마 처리 장치. [청구항 15] 제 14 항에 있어서,상기 처리 용기의 상기 아래쪽 공간의 측벽에 상기 피처리 기판을 상기 처리 용기내에 반입 반출하는 반입출구가 마련되고, 상기 탑재대 승강 기구가 상기 기판 탑재대를, 상기 반입출구와 상기 처리 공간 형성 부재의 하단부의 사이승강시키는플라즈마 처리 장치. [청구항 16] 제 15 항에 있어서,상기 처리 공간 형성 부재의 하단부에, 내경이 상기 기판 탑재대의 외경보다도 넓은 제 1 부분과, 내경이 상기 기판 탑재대의 외경보다도 좁은 제 2 부분을 갖는 스폿페이싱 구멍형상 부위가 있고, 상기 기판 탑재대가 상기 제 1 부분수용되는플라즈마 처리 장치. [청구항 17] 제 16 항에 있어서,상기 탑재대 승강 기구가, 상기 기판 탑재대와 상기 제 1 부분의 사이에 단면 l자형상의 클리어런스가 생기도록 상기 기판 탑재대를 상승시키고, 또한 상기 단면 l자형상의 클리어런스의 배기 콘덕턴스가 상기 배기구의 배기 콘덕턴스보다도 작아지도록, 상기 기판 탑재대를 상기 처리 공간 형성 부재근접시키는플라즈마 처리 장치. [청구항 21] 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,처리 가스가 피처리 기판의 가장자리로부터피처리 기판의중앙부분으로향해서분사되는플라즈마 처리 장치.

지시문 (instruction)

주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.

질문 (question)

플라즈마 처리 장치에서 처리 가스를 공급하기 위한 통로 구성은 주 처리 가스 도입 통로, 고리형상 처리 가스 도입 통로, 부 처리 가스 도입 통로로 구분되는데, 각 통로의 배치 위치와 연결 관계는 무엇인가?

추론 과정 (compact_reasoning)

1과제 해석task_interpretation

플라즈마 처리 장치의 세 가지 처리 가스 도입 통로(주 처리 가스 도입 통로, 고리형상 처리 가스 도입 통로, 부 처리 가스 도입 통로)의 배치 위치와 연결 관계를 파악해야 한다.
2정보 추출information_extraction

청구항 10에서 각 통로의 위치와 연결 정보를 추출한다. 주 통로는 플랜지 부위의 배기구 사이에 있고 처리 가스 공급 기구에 접속된다. 고리형상은 처리 공간 형성 부재 상단부에 있고 주 통로에 접속된다. 부 통로는 처리 공간 형성 부재 중간부에 있고 고리형상 통로와 처리 가스 도입구를 접속한다.
- 상기 플랜지 부위의 상기 복수의 배기구 사이에 배치되고, 상기 처리 용기의 외부에 마련된 처리 가스 공급 기구에 접속되는 주 처리 가스 도입 통로와, 상기 처리 공간 형성 부재의 상단부내에 배치되고, 상기 주 처리 가스 도입 통로에 접속된 고리형상 처리 가스 도입 통로와, 상기 처리 공간 형성 부재의 중간부내에 배치되고, 상기 고리형상 처리 가스 도입 통로와 상기 처리 가스 도입구를 접속하는 부 처리 가스 도입 통로
3근거 선택evidence_selection

청구항 10의 구절들을 사용하여 각 통로의 위치와 연결 관계를 명확히 정의한다.
- 상기 플랜지 부위의 상기 복수의 배기구 사이에 배치되고, 상기 처리 용기의 외부에 마련된 처리 가스 공급 기구에 접속되는 주 처리 가스 도입 통로와, 상기 처리 공간 형성 부재의 상단부내에 배치되고, 상기 주 처리 가스 도입 통로에 접속된 고리형상 처리 가스 도입 통로와, 상기 처리 공간 형성 부재의 중간부내에 배치되고, 상기 고리형상 처리 가스 도입 통로와 상기 처리 가스 도입구를 접속하는 부 처리 가스 도입 통로
4논리 통합logical_integration

주 통로 -> 고리형상 통로 -> 부 통로 -> 처리 가스 도입구 순으로 이어지는 연결 구조와 각 통로의 수직적 배치 위치(플랜지 사이, 상단부, 중간부)를 통합한다.
5결론 도출conclusion_formulation

질문에서 요구한 세 가지 통로의 배치 위치와 연결 관계를 정리하여 답변을 구성한다.
6답변 생성answer_generation

구조화된 형식으로 최종 답변을 생성한다.

근거 (evidence)

상기 플랜지 부위의 상기 복수의 배기구 사이에 배치되고, 상기 처리 용기의 외부에 마련된 처리 가스 공급 기구에 접속되는 주 처리 가스 도입 통로와, 상기 처리 공간 형성 부재의 상단부내에 배치되고, 상기 주 처리 가스 도입 통로에 접속된 고리형상 처리 가스 도입 통로와, 상기 처리 공간 형성 부재의 중간부내에 배치되고, 상기 고리형상 처리 가스 도입 통로와 상기 처리 가스 도입구를 접속하는 부 처리 가스 도입 통로

최종 답변 (final_answer)

플라즈마 처리 장치의 처리 가스 도입 통로 구성은 다음과 같다. 1. 주 처리 가스 도입 통로: 상기 플랜지 부위의 복수의 배기구 사이에 배치되며, 처리 용기 외부에 마련된 처리 가스 공급 기구에 접속된다. 2. 고리형상 처리 가스 도입 통로: 상기 처리 공간 형성 부재의 상단부에 배치되며, 주 처리 가스 도입 통로에 접속된다. 3. 부 처리 가스 도입 통로: 상기 처리 공간 형성 부재의 중간부에 배치되며, 고리형상 처리 가스 도입 통로와 처리 가스 도입구를 접속한다.

핵심 해석 (core_interpretation)

본 발명은 플라즈마 처리 장치에서 가스를 단계적으로 도입하기 위해 주 통로, 고리형상 통로, 부 통로를 수직적 위치(플랜지, 상단부, 중간부)에 따라 순차적으로 연결하는 가스 공급 구조를 제공한다.