캔틸레버(Cantilever) 확산관 장치 및 방법

[청구항 15] 제14항에 있어서,상기 제1관이 실린더형의 연신된 관으로서, 상기 제2단에 인접하여 대체로 장방형인 창개구부를 갖고 있어 상기 웨이퍼가 장입된보트를상기제1관내장입시키는것을특징으로 하는장치. [청구항 16] 제15항에 있어서,상기 제1관위에 위치시키는 제거가능한 카버를 포합하여 상기 장입과정이 끝난후에창개구부덮는것을특징으로 하는장치. [청구항 17] 제14항에 있어서,상기 제1관이 상기 제1관의 상기 제1단이 부착된 비교적 두꺼운 환형플랜지를 갖고 있어 상기 제1관을 캔틸레버 형태로 지지하고, 상기 플랜지가내부면및외부면갖는것을특징으로 하는장치. [청구항 18] 제14항에 있어서,상기 캔틸레버 고정장치가 상기 제1관을 상기 제2관내로 삽입 및 발출할 동안에 상기 제1관 및 그 내부에 있는웨이퍼의전체중량지지하는것을특징으로 하는장치. [청구항 19] 제15항에 있어서,상기 제1내부관의 그 제1단에 인접한 부분의 벽 두께가 상기 제1관의 그 제2단에 인접한 부분의 벽두께보다 두꺼운 것특징으로 하는장치. [청구항 20] 제14항에 있어서,상기 제1관의 상기 제2단이부분적개방된것을특징으로 하는장치. [청구항 21] 제18항에 있어서,상기 창 개구부가 상기 제1관의 측면에 있고 약 150°의 각으로 대하고 있어 상기 창개구부를 통해 웨이퍼 장입보트를 장입 및 발출할 수 있는 적절한 큰 창개구부를 마련하고, 상기 제1관의 종축을 지나는 수직면의 양면에 구조적인 강도를 제공하여 매우 높은 온도에서 상기 제1관의 제2단이 측면으로 휘어지는 것을방지하는것을특징으로 하는장치. [청구항 22] 제17항에 있어서,상기 캔틸레버 고정장치가 상기 플랜지의 내부면을 연결시키는 고정장치와, 상기 제1관의 상기 제1단에서 개구부를 덮어 상기 개구부를 밀봉하는 카버판을 포합하고 상기 고정장치가 상기 카버판을 상기 환형플랜지의 외부면에 대해당기는것을특징으로 하는장치. [청구항 23] 제22항에 있어서 상기 가스유동장치가 상기 카버판을 통과하는 가스흐름 구멍과 가요성 가스유동관을 상기 가스흐름구멍에 결함시키는장치포합하는것을특징으로 하는장치. [청구항 24] 제22항에 있어서,상기 고정장치가 금속고정링을 포합하고, 상기 카버판이 금속으로 되어 있고, 상기 반송장치가 지지판 및 신속분리장치를 포함하여 상기 카버판을 강하게 연결 및 지지하고, 여기에서 상기 장치가 그 위에서 상기 반송장치가 활주하여 상기 제1관을 상기 제2관 내부로 전후이동시키게 하는트랙포함하는것을특징으로 하는장치. [청구항 25] 제24항에 있어서 상기 신속분리장치가 상기 지지판에 잇는 대체로 수직인 슬로트와 확대헤드를 갖고 있고 상기 카버판에 부착되어 외측으로 이동되는 연결장치를 포함하고, 상기 수직슬로트가 상기 연결장치를 수용하여 상기 연결장치를 상기 수직슬로트에 정렬시켜 상기 카버판 및 제1관을 상기 지지판에 신속분리토록 부착하고, 상기 두부가 상기 카버판을 상기 지지판에 대해고정하는것을특징으로 하는장치. [청구항 26] 제24항에 있어서,3지검 조정자재한 지지장치를 포함하여 상기 제1관의 방향을 상기 반송장치에 대해 정확하게조정조준하는것을특징으로 하는장치. [청구항 27] 제26항에 있어서,상기 반송장치가 대체로 수평인 플래트폼을 포함하고, 상기 트랙이 그 내부에 선형 안내면을 갖고 있고, 상기 반송장치가 안내표면 연결장치를 포함하여 상기 반송장치의 상기 트랙을 따른 이동을 정확하게 안내하고, 상기 반송장치가 수직조정장치를 포함하여 상기 지지판의 부분을 수직으로 정확하게조정하는것을특징으로 하는장치. [청구항 28] 제27항에 있어서,상기 반송장치가 조정가능한 상기 3지점 지지장치를 지지하는 선형 베어링과, 조정가능한 상기 3지점 지지장치를 상기 카버판 방향으로 압압하여 상기 제1관의 상기 제1단을 상기 제2관의 상기 제1단에 대해 밀봉시키는장치포함하는것을특징으로 하는장치. [청구항 29] 제28항에 있어서,상기 제1관의 상기 플랜지와 상기 제2관의 플랜지 사이에 위치하는밀봉장치포함하는것을특징으로 하는장치. [청구항 30] 제14항에 있어서,상기 제1관의 바닥부분과 상기 제2관 사이에 위치하여 상기 제2관의 바닥 내부표면에 연결되어 상기 웨이퍼들이 상기 고온지역에 있을때 상기 제1관을 지지하고 매우 높은 온도에 노출되어 연신됨으로써 처지는 현상을 방지하는지지장치포함하는것을특징으로 하는장치. [청구항 31] 제30항에 있어서,상기 제1관을 상기 제2관내로 삽입 및 발출하는 동안에 상기 지지장치를 상기 제2관의 바닥 내부표면으로부터 분리시키는장치포함하는것을특징으로 하는장치. [청구항 32] 제31항에 있어서,상기 지지장치가 바퀴를 포함하고 상기 분리장치가 상기 바퀴가 상기 삽입과정이 거의 끝날때까지 그 위를 지나가지 못하도록 위치한 상기 제2관의 바닥 내부표면에 있는계단포함하는것을특징으로 하는장치. [청구항 33] 제14항에 있어서,상기 웨이퍼 운반장치가 다수의 격설된 웨이퍼를 지지하는 수정보트와, 상기 수정보트에 연결되어 상기 수정보트로 견인하여 그 안에 내장되어 있는 웨이퍼들과 함께 상기 제1관내로 장입 및 발출시키는 연신된부재포함하는것을특징으로 하는장치. [청구항 34] 제33항에 있어서,상기 제1관내의 내부에 거치된 상기 수정보트의 저부면이상기제1관의내부바닥의곡율동일한것을특징으로 하는장치. [청구항 35] 제14항에 있어서,상기 제1관이 수정, 탄화규소, 다결정규소로 구성되는 그룹에서 하나의 재료를 선택하여구성하는것을특징으로 하는장치. [청구항 36] 제22항에 있어서,상기 카버판과 상기 환형 플랜지의 상기 외측면 사이에 위치한 가스켓 장치를 포합하여 상기 카버판을 상기 외부면에 대해 밀봉시키고, 다음에 상기 환형플랜지의 상기 내부면 사이에 위치한 가스켓 장치로 상기 환형플랜지의 상기 내부면을 상기 제2관에 대해밀봉시키는것을특징으로 하는장치. [청구항 38] 제27항에 있어서,상기 안내표면 연결장치가 상기 반송장치가 상기 트랙에 고착되는 것을 방지하는회전연결장치포함하는것을특징으로 하는장치. [청구항 40] 제39항에 있어서,상기 관위에 위치하여 상기 관이 상기 노내에 위치할때 상기 창개구부를 덮는 착탈자재한카버포함하는것을특징으로 하는장치.