증착 장치

[청구항2] 제 1 항에 있어서,셉터는상기 기판 아래에 배치되는 하부 서셉터;상기 기판을 사이에 두고, 상기 하부 서셉터와 마주보는 상부 서셉터; 및상기 하부 서셉터로부터 상기 상부 서셉터로 연장되는 측벽 서셉터를 포함하고,상기 소스 기체 가이드부는 상기 하부 서셉터 및 상기 상부 서셉터 사이 및 상기 측벽 서셉터 내배치되는증착 장치. [청구항3] 제 1 항에 있어서,상기 소스 기체 가이드부는상기 소스 기체가 이동되는 유로; 및상기 유로와 연결되고, 상기 기판을 향하는 분사구포함하는증착장치. [청구항4] 제 3 항에 있어서,상기 분사구의 내부의 너비는 상기 기판더 커지는증착장치. [청구항5] 제 3 항에 있어서,상기 유로는서로 대향하는 바닥면 및 천정면;상기 바닥면으로부터 상기 천정면으로 연장되는 제 1 측면; 및상기 제 1 측면에 대향하고, 상기 바닥면으로부터 상기 천정면으로 연장되는 제 2 측면포함하는증착장치. [청구항6] 제 5 항에 있어서,상기 분사구는상기 바닥면으로부터 연장되는 제 1 경사면; 및상기 천정면으로부터 연장되는 제 2 경사면을 포함하고,상기 제 1 경사면 및 상기 제 2 경사면 사이의 거리는 상기 기판더 커지는증착장치. [청구항7] 제 5 항에 있어서,상기 분사구는상기 제 1 측면으로부터 연장되는 제 3 경사면; 및상기 제 2 측면으로부터 연장되는 제 4 경사면을 포함하고,상기 제 3 경사면 및 상기 제 4 경사면 사이의 거리는 상기 기판더 커지는증착장치. [청구항8] 제 1 항에 있어서,상기 기판및 상기 서셉터 사이에 개재되는 홀더포함하는증착장치. [청구항9] 제 1 항에 있어서,셉터는 실리콘 카바이드 및 흑연을 포함하고,상기 소스 기체 가이드부는 실리콘 카바이드 및 흑연포함하는증착장치. [청구항10] 제 1 항에 있어서,상기 소스 기체 가이드부에 상기 소스 기체를 공급하는 소스 기체 공급부를 포함하고,상기 소스 기체 공급부는 실리콘 및 탄소의 화합물을 포함하는 액체수용하는증착장치.