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노즐 및 이를 가지는 기판 처리 장치

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218915e1-274b-5842-9728-103748cfb661
출원번호
1020060004432
출원연도
2006
IPC
H01L 21/304
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 2] 제 1항에 있어서,상기 내부관과 상기 외부관은 상기 내부관으로부터 유출된 유체가 상기 외부관의 일단과 충돌한 후 상기 내부관 내부에서 흐름 방향과 반대방향으로 상기 내부관과 상기 외부관 사이의 공간을 흐르면서 상기 분사공들을 통해 분사되도록 형상지어진 것특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 3] 제 2항에 있어서,상기 외부관의 양단 영역에 형성된 분사공들의 개공밀도는 중앙 영역에 형성된 분사공들의 개공밀도에 비해 낮은 것특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 4] 제 2항에 있어서,상기 분사공들은 영역에 따라 상이한개공밀도제공되는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 5] 제 2항에 있어서,상기 외부관의 양단 영역에 형성된 분사공들의 크기는 중앙 영역에 형성된 분사공들의 크기보다 작은 것특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 6] 제 1항에 있어서,상기 유체는 기판을 세정하는세정액인것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 7] 제 1항에 있어서,상기 지지부재에는 상기 기판들이 일렬로 배열되도록 위치되고,상기 노즐은 그 길이방향이 상기 기판들의 배열방향과 평행하게배치되는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 8] 제 7항에 있어서,상기 노즐nan은상기지지부재의아래위치되는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 9] 제 2항에 있어서,상기 내부관 및 상기 외부관은 로드 형상으로 제공되고,상기 내부관의 개방된 일단은 상기 외부관의 막힌 일단과 인접하게위치되는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 11] 제 10항에 있어서,상기 외부관의 양단 영역에 형성된 분사공들의 개공밀도는 중앙 영역에 형성된 분사공들의 개공밀도보다 낮은 것특징으로 하는노즐. [청구항 12] 제 10항에 있어서,상기 외부관의 양단 영역에 형성된 분사공들의 크기는 중앙 영역에 형성된 분사공들의 크기보다 작은 것특징으로 하는노즐. [청구항 13] 제 12항에 있어서,상기 내부관 및 상기 외부관은 로드 형상으로 제공되고,상기 내부관의 개방된 일단은 상기 외부관의 막힌 일단과 인접하게위치되는것을특징으로 하는노즐. [청구항 15] 제 14항에 있어서,상기 노즐은,유체가 유입되며, 끝단이 개방된 내부관과;상기 내부관을 감싸도록 배치되는 몸체 및 상기 내부관의 끝단과 대향되는 상기 몸체의 일단을 차단하는 측벽을 가지며, 상기 분사공들이 형성된외부관포함하는것을특징으로 하는노즐. [청구항 16] 제 15항에 있어서,상기 외부관은 상기 내부관이 삽입되는 홀이 형성된 측벽양단 영역에 형성된, 그리고 상기 몸체의 타단을 차단하는 측벽을 더 포함하며,상기 외부관의 양단 영역에 형성된 상기 분사공들의 개공밀도는 중앙 영역에 형성된 분사공들의 개공밀도보다 낮은 것특징으로 하는노즐. [청구항 17] 제 14항에 있어서,상기 노즐은,유체가 유입되는 내부관과;상기 내부관을 감싸도록 배치되며, 길이방향을 따라 분사공들이 형성된 외부관과; 상기 내부관과 상기 외부관 사이에 제공된 적어도 하나의 중간관을 포함하되,상기 내부관, 상기 중간관, 그리고 상기 외부관은,상기 내부관으로부터 유출되는 유체가 상기 중간관의 측벽과 충돌한 후 상기 내부관과 상기 중간관 사이에 제공된 공간을 따라 흐르고, 이후에 상기 외부관의 측벽과 충돌한 후 상기 외부관과 상기 중간관 사이에 제공된 공간을 따라 흐르도록 형상지어진 것특징으로 하는노즐.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판 처리 장치에서 내부관으로부터 유출된 유체가 분사공을 통해 분사되기까지의 흐름 경로와 그 과정에서 발생하는 유체의 흐름 방향 변화는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    내부관에서 유출된 유체가 분사공을 통해 분사되기까지의 경로와 흐름 방향의 변화를 설명해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    유체가 내부관에서 유출되어 외부관의 일단과 충돌하고, 내부관 내부의 흐름 방향과 반대 방향으로 내부관과 외부관 사이 공간을 흐른다는 정보를 추출한다.

    • 상기 내부관으로부터 유출된 유체가 상기 외부관의 일단과 충돌한 후 상기 내부관 내부에서 흐름 방향과 반대방향으로 상기 내부관과 상기 외부관 사이의 공간을 흐르면서 상기 분사공들을 통해 분사되도록
  3. 3근거 선택evidence_selection

    유체의 이동 경로(내부관 유출 -> 외부관 일단 충돌 -> 내부관과 외부관 사이 공간 흐름)와 방향 변화(내부관 흐름과 반대 방향)를 나타내는 구절을 선택한다.

    • 상기 내부관으로부터 유출된 유체가 상기 외부관의 일단과 충돌한 후 상기 내부관 내부에서 흐름 방향과 반대방향으로 상기 내부관과 상기 외부관 사이의 공간을 흐르면서 상기 분사공들을 통해 분사되도록
  4. 4논리 통합logical_integration

    유체는 내부관에서 나와 외부관의 막힌 끝단(일단)에 부딪힌 뒤, 다시 내부관 쪽으로 되돌아오는(반대 방향) 흐름을 형성하며 관 사이의 공간을 통해 분사공으로 이동한다.

    • 상기 내부관으로부터 유출된 유체가 상기 외부관의 일단과 충돌한 후 상기 내부관 내부에서 흐름 방향과 반대방향으로 상기 내부관과 상기 외부관 사이의 공간을 흐르면서 상기 분사공들을 통해 분사되도록
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    유체의 흐름 경로는 내부관 유출 -> 외부관 일단 충돌 -> 내부관과 외부관 사이 공간 이동 -> 분사공 분사 순이며, 방향은 내부관 흐름의 반대 방향으로 변화한다.

    • 상기 내부관으로부터 유출된 유체가 상기 외부관의 일단과 충돌한 후 상기 내부관 내부에서 흐름 방향과 반대방향으로 상기 내부관과 상기 외부관 사이의 공간을 흐르면서 상기 분사공들을 통해 분사되도록
  6. 6답변 생성answer_generation

    추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 절차적 답변을 작성한다.

    • 상기 내부관으로부터 유출된 유체가 상기 외부관의 일단과 충돌한 후 상기 내부관 내부에서 흐름 방향과 반대방향으로 상기 내부관과 상기 외부관 사이의 공간을 흐르면서 상기 분사공들을 통해 분사되도록
근거 (evidence)
  • 상기 내부관으로부터 유출된 유체가 상기 외부관의 일단과 충돌한 후 상기 내부관 내부에서 흐름 방향과 반대방향으로 상기 내부관과 상기 외부관 사이의 공간을 흐르면서 상기 분사공들을 통해 분사되도록
최종 답변 (final_answer)
유체는 내부관으로부터 유출되어 외부관의 일단과 충돌한 후, 내부관 내부에서 흐르는 방향과 반대 방향으로 내부관과 외부관 사이의 공간을 따라 흐르게 되며, 최종적으로 분사공들을 통해 분사된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
내부관과 외부관 사이의 공간을 활용하여 유체가 외부관 끝단에 충돌한 후 내부관 흐름의 역방향으로 흐르도록 유도함으로써, 분사공을 통해 유체가 분사되는 구조를 특징으로 한다.