문맥 (context)
[청구항23]
제 22 항에 있어서,상기 충전 전극에 전기적으로 커플링된 스위치로서, 상기 직류 전력 공급기는 상기 스위치를 통해 상기 충전 전극에 전기적으로 커플링되는, 상기 스위치를 더 포함하고,상기 스위치는,상기 충전 전극과 전기적 접지; 및상기 직류 전력 공급기와 상기 충전 전극 간의 전기적 커플링을 교대로 인에이블및디스블하도록구성되는,시스템.
제 22 항에 있어서,상기 충전 전극에 전기적으로 커플링된 스위치로서, 상기 직류 전력 공급기는 상기 스위치를 통해 상기 충전 전극에 전기적으로 커플링되는, 상기 스위치를 더 포함하고,상기 스위치는,상기 충전 전극과 전기적 접지; 및상기 직류 전력 공급기와 상기 충전 전극 간의 전기적 커플링을 교대로 인에이블및디스블하도록구성되는,시스템.
[청구항24]
제 22 항에 있어서,미리결정된 기간은 약 1 마이크로초와 10 초사이인,시스템.
제 22 항에 있어서,미리결정된 기간은 1 마이크로초와 10 초사이인,시스템.
[청구항25]
제 22 항에 있어서,상기 직류 전압 펄스는 약 10 볼트와 약 5,000 볼트 사이의 전압갖는,시스템.
제 22 항에 있어서,상기 직류 전압 펄스는 10 볼트와 5,000 볼트 사이의 전압갖는,시스템.
[청구항26]
제 22 항에 있어서,상기 직류 전압 펄스는 양극으로 바이어싱되는,시스템.
제 22 항에 있어서,상기 직류 전압 펄스는 양극으로 바이어싱되는,시스템.
[청구항27]
제 22 항에 있어서,상기 직류 전압 펄스는 음극으로 바이어싱되는,시스템.
제 22 항에 있어서,상기 직류 전압 펄스는 음극으로 바이어싱되는,시스템.
[청구항28]
제 22 항에 있어서,상기 가스는 불활성 가스포함하는,시스템.
[청구항29]
제 22 항에 있어서,상기 불활성 가스는 아르곤, 질소, 및 헬륨 중 하나 이상포함하는,시스템.
제 22 항에 있어서,상기 불활성 가스는 아르곤, 질소, 및 헬륨 중 하나 이상포함하는,시스템.
[청구항30]
제 22 항에 있어서,상기 가스 유입구는 실란 (sih4) 및 암모이나 (nh3) 를 상기 챔버 안으로 주입하도록 구성되고,상기 무선 주파수 전력 공급기는 또한, 상기 플라즈마 생성 전극에 교류를 인가하여 상기 sih4 및 nh3 를 사용하여 다른플라즈마생성하도록구성되는,시스템.
제 22 항에 있어서,상기 가스 유입구는 실란 (sih4) 및 암모이나 (nh3) 를 상기 챔버 안으로 주입하도록 구성되고,상기 무선 주파수 전력 공급기는 또한, 상기 플라즈마 생성 전극에 교류를 인가하여 상기 sih4 및 nh3 를 사용하여 다른플라즈마생성하도록구성되는,시스템.
[청구항31]
제 22 항에 있어서,상기 충전 전극에 대한 상기 직류 전압 펄스의 인가는 상기 충전 전극과 상기 플라즈마 생성 전극 사이에 전계생성하는,시스템.
[청구항55]
제 54 항에 있어서,상기 충전 전극에 전기적으로 커플링된 스위치를 더 포함하고, 상기 직류 전력 공급기는 상기 스위치를 통해 상기 충전 전극에 전기적으로 커플링되고;상기 스위치는,상기 충전 전극과 전기적 접지; 및상기 직류 전력 공급기와 상기 충전 전극 간의 전기적 커플링을 교대로 인에이블및디스블하도록구성되는,시스템.
[청구항56]
제 54 항에 있어서,미리결정된 기간은 약 1 마이크로초와 10 초사이인,시스템.
[청구항57]
제 54 항에 있어서,상기 직류 전압 펄스는 약 10 볼트와 약 5,000 볼트 사이의 전압갖는,시스템.
[청구항58]
제 54 항에 있어서,상기 직류 전압 펄스는 양극으로 바이어싱되는,시스템.
[청구항59]
제 54 항에 있어서,상기 직류 전압 펄스는 음극으로 바이어싱되는,시스템.
[청구항60]
제 54 항에 있어서,상기 가스는 불활성 가스포함하는,시스템.
[청구항61]
제 60 항에 있어서,상기 불활성 가스는 아르곤, 질소, 및 헬륨 중 하나 이상포함하는,시스템.
[청구항62]
제 54 항에 있어서,상기 가스 유입구는 상기 챔버 안으로 실란 (sih4) 및 암모이나 (nh3) 를 주입하도록 구성되고,상기 무선 주파수 전력 공급기는 또한, 상기 플라즈마 생성 전극에 교류를 인가하여 상기 sih4 및 nh3 를 사용하여 다른플라즈마생성하도록구성되는,시스템.
[청구항63]
제 54 항에 있어서,상기 충전 전극에 대한 상기 직류 전압 펄스의 인가는 상기 충전 전극과 상기 플라즈마 생성 전극 사이에 전계생성하는,시스템.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
시스템 내의 스위치는 어떤 구성요소와 연결되며, 어떠한 방식으로 동작하도록 구성되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation스위치의 연결 대상과 동작 방식에 대한 정보를 추출해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 23에서 스위치의 연결 관계와 동작 구성을 확인한다.
- 상기 충전 전극에 전기적으로 커플링된 스위치
- 상기 직류 전력 공급기는 상기 스위치를 통해 상기 충전 전극에 전기적으로 커플링되는
- 상기 스위치는,상기 충전 전극과 전기적 접지; 및상기 직류 전력 공급기와 상기 충전 전극 간의 전기적 커플링을 교대로 인에이블및디스블하도록구성되는
-
3근거 선택
evidence_selection스위치의 연결 대상(충전 전극, 전기적 접지, 직류 전력 공급기)과 동작 방식(교대 인에이블/디스블)에 관한 문구를 선택한다.
- 상기 충전 전극에 전기적으로 커플링된 스위치
- 상기 충전 전극과 전기적 접지
- 상기 직류 전력 공급기와 상기 충전 전극 간의 전기적 커플링을 교대로 인에이블및디스블하도록구성되는
-
4논리 통합
logical_integration스위치는 충전 전극에 커플링되어 있으며, 충전 전극을 접지와 연결하거나 직류 전력 공급기와의 커플링을 교대로 제어한다.
- 상기 충전 전극에 전기적으로 커플링된 스위치
- 상기 충전 전극과 전기적 접지
- 상기 직류 전력 공급기와 상기 충전 전극 간의 전기적 커플링을 교대로 인에이블및디스블하도록구성되는
-
5결론 도출
conclusion_formulation스위치는 충전 전극에 전기적으로 커플링되어 있으며, 충전 전극과 전기적 접지를 연결하거나 직류 전력 공급기와 충전 전극 사이의 커플링을 교대로 인에이블 및 디스블하는 기능을 수행한다.
- 상기 충전 전극에 전기적으로 커플링된 스위치
- 상기 충전 전극과 전기적 접지
- 상기 직류 전력 공급기와 상기 충전 전극 간의 전기적 커플링을 교대로 인에이블및디스블하도록구성되는
-
6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 답변을 작성한다.
- 상기 충전 전극에 전기적으로 커플링된 스위치
- 상기 충전 전극과 전기적 접지
- 상기 직류 전력 공급기와 상기 충전 전극 간의 전기적 커플링을 교대로 인에이블및디스블하도록구성되는
근거 (evidence)
- 상기 충전 전극에 전기적으로 커플링된 스위치
- 상기 직류 전력 공급기는 상기 스위치를 통해 상기 충전 전극에 전기적으로 커플링되는
- 상기 스위치는,상기 충전 전극과 전기적 접지; 및상기 직류 전력 공급기와 상기 충전 전극 간의 전기적 커플링을 교대로 인에이블및디스블하도록구성되는
- 상기 충전 전극과 전기적 접지
- 상기 직류 전력 공급기와 상기 충전 전극 간의 전기적 커플링을 교대로 인에이블및디스블하도록구성되는
최종 답변 (final_answer)
스위치는 충전 전극에 전기적으로 커플링되어 있다. 해당 스위치는 충전 전극과 전기적 접지를 연결하거나, 직류 전력 공급기와 충전 전극 간의 전기적 커플링을 교대로 인에이블(enable) 및 디스블(disable)하도록 구성된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
스위치는 충전 전극에 연결되어 접지 상태와 직류 전력 공급기와의 커플링 상태를 교대로 전환하는 역할을 한다.