박막 증착 장치 및 이를 이용한 박막 증착 방법

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,셉터는 승강 장치에 의해 승강되는 베이스 부재, 상기 베이스 부재에 내장된 히터, 및 상기 베이스 부재를 관통하도록 형성된 복수의 관통 홀을 포함하여 구성되며,상기 복수의 관통 홀 각각은,상기 베이스 부재의 상면으로부터 상기 제 1 높이를 가지도록 오목하게 형성된 헤드 삽입 홈; 및상기 헤드 삽입 홈에 연통되도록 상기 베이스 부재를 관통하여 형성된 삽입 홀을 포함하여구성되는것을특징으로 하는박막 증착 장치. [청구항 3] 제 2 항에 있어서,상기 복수의 기판 지지 부재 각각은,상기 삽입 홀에 관통하도록 삽입된 지지대; 및상기 제 1 높이보다 낮은 제 2 높이를 가지도록 형성되어 상기 지지대의 상면에 결합된 헤드부를 포함하여구성되는것을특징으로 하는박막 증착 장치. [청구항 4] 제 3 항에 있어서,상기 지지대와 상기 헤드부 각각은 100w/mk 이상의 열전도율을 가지는 재질 또는 상기 서셉터와 동일한 재질로 이루어져하나의몸체형성된것을특징으로 하는박막 증착 장치. [청구항 5] 제 3 항에 있어서,상기 복수의 기판 지지 부재 각각은 상기 지지대와 상기 헤드부에 코팅된 은(ag), 구리(cu), 또는 금(au)재질의코팅층더포함하여이루어지는것을특징으로 하는박막 증착 장치. [청구항 6] 제 3 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 지지대를 가열하여 상기 헤드부를 가열하는 가열 수단을 더 포함하여구성되는것을특징으로 하는박막 증착 장치. [청구항 7] 제 3 항에 있어서,상기 헤드부는 100w/mk 이상의 열전도율을 가지는 재질 또는 상기 서셉터와 동일한 재질로 이루어지고,상기지지대세라믹 재질로이루어지는것을특징으로 하는박막 증착 장치. [청구항 8] 제 2 항에 있어서,상기 복수의 기판 지지 부재 각각은,상기 삽입 홀에 관통하도록 삽입되되 상기 기판의 출입시 상기 서셉터의 상부에 위치하고 상기 증착 공정시 상기 삽입 홀 내부에 위치하는 제 1 지지대;상기 제 1 높이보다 낮은 제 2 높이를 가지도록 형성되어 상기 제 1 지지대의 상면에 결합된 헤드부; 및상기 제 1 지지대의 하부에 결합되어 상기 삽입 홀에 삽입되되 상기 기판의 출입시 상기 삽입 홀 내부에 위치하고 상기 증착 공정시 상기 서셉터의 하부에 위치하는 제 2 지지대를 포함하여구성되는것을특징으로 하는박막 증착 장치. [청구항 9] 제 8 항에 있어서,상기 제 1 지지대와 상기 헤드부 각각은 100w/mk 이상의 열전도율을 가지는 재질 또는 상기 서셉터와 동일한 재질로 이루어져 하나의 몸체로 형성되고,상기제2지지대세라믹 재질로이루어지는것을특징으로 하는박막 증착 장치. [청구항 10] 제 1 항에 있어서,셉터의 승강에 따라 승강되도록 상기 공정 챔버의 내부에 배치되어 상기 서셉터의 가장자리 부분에 대응되는 복수의 기판 각각의 일측 가장자리 부분을 지지하는 기판 지지 프레임; 및상기 공정 챔버의 내측벽에 설치되어 상기 서셉터의 하강시 상기 기판 지지 프레임을 지지하는 복수의 프레임 지지 부재를 더 포함하여 구성되며,상기 복수의 기판 지지 부재 각각은상기복수의기판각각의나머지가장자리부분지지하는것을특징으로 하는박막 증착 장치. [청구항 11] 제 10 항에 있어서,상기 기판 지지 프레임은,상기 서셉터의 가장자리 부분에 중첩되도록 형성되어 상기 서셉터의 승강시 상기 서셉터의 가장자리 부분에 안착되는 플레이트;상기 플레이트에 형성되어 상기 서셉터의 하강시 상기 복수의 프레임 지지 부재가 삽입되는 복수의 지지 홀; 및상기 플레이트의 내측벽에 분리 가능하게 설치되어 상기 복수의 기판 각각의 일측 가장자리 부분을 지지하는 복수의 기판 지지 핀을 포함하여구성되는것을특징으로 하는박막 증착 장치. [청구항 12] 제 1 항에 있어서,셉터가 통과하여 승강되도록 상기 공정 챔버의 내부에 배치되어 상기 기판의 로딩 또는 언로딩시에만 복수의 기판 각각의 일측 가장자리 부분을 지지하는 기판 지지 프레임; 및상기 공정 챔버의 내측벽에 설치되어 상기 기판 지지 프레임을 지지하는 복수의 프레임 지지 부재를 더 포함하여 구성되며,상기 복수의 기판 지지 부재 각각은상기복수의기판각각의나머지가장자리부분지지하는것을특징으로 하는박막 증착 장치. [청구항 13] 제 12 항에 있어서,상기 기판 지지 프레임은,상기 서셉터에 중첩되지 않도록 형성되어 상기 프레임 지지 부재에 지지된 플레이트;상기 플레이트에 형성되어 상기 서셉터의 하강시 상기 복수의 프레임 지지 부재가 삽입되는 복수의 지지 홀; 및상기 플레이트의 내측벽에 분리 가능하게 설치되어 상기 복수의 기판 각각의 일측 가장자리 부분을 지지하는 복수의 기판 지지 핀을 포함하여구성되는것을특징으로 하는박막 증착 장치. [청구항 14] 제 11 항 또는 제 13 항에 있어서,상기 복수의 기판 지지 부재 각각은 상기 서셉터의 승강에 따라승강되는것을특징으로 하는박막 증착 장치. [청구항 15] 제 11 항 또는 제 13 항에 있어서,상기 복수의 기판 지지핀 각각은엔지니어링플라스틱재질로이루어지는것을특징으로 하는박막 증착 장치.