나노분말을 함유하는 하이브리드 타겟을 이용한 연질엑스선 발생 장치

[청구항2] 제1항에 있어서,상기 엑스선 발생 장치는 상기 나노분말이 분산된 액체 용매, 가스 또는 액화 가스를 저장하고 이를 상기 시료 타겟으로 사용될 수 있도록 제공하는 저장부; 및 상기 저장부로부터 제공되는 상기 나노분말이 분산된 액체 용매, 가스 또는 액화 가스를 처리하여, 하나 이상의 나노분말을 함유하는 에어로졸(aerosol) 상태로 변환시키는 에어로졸 발생부를 더 포함하며, 상기 시료 타겟은 상기 에어로졸 발생부에 의하여 공급되는상기에어로졸인것을특징으로 하는엑스선 발생 장치. [청구항3] 제1항 또는 제2항의 어느 한 항에 있어서,상기 엑스선 발생 장치는 사용된 상기 에어로졸을 수집하여 상기 저장부로 다시 보낼 수 있는 에어로졸 수집/순환부더포함하는것을특징으로 하는엑스선 발생 장치. [청구항4] 제1항 또는 제2항의 어느 한 항에 있어서,상기 나노분말은 나노(nano) 크기의 카본 나노 튜브, 세라믹 분말 및 금속성 분말 중 적어도 한종류포함하는것특징으로 하는엑스선 발생 장치. 제3항에 있어서,상기 나노분말은,나노(nano) 크기의 카본 나노 튜브, 세라믹 분말 및 금속성 분말 중 적어도 한종류포함하는것특징으로 하는엑스선 발생 장치. [청구항5] 제1항 또는 제2항의 어느 한 항에 있어서,상기 나노분말을 분산시키기 위한 액체 용매는 알코올(alcohol), 증류수(distilled water), 우레아 용액(urea solution), 수산화암모늄(ammonium hydroxides), 플로로카본 (fluorocarbon)중적어도하나포함하는것특징으로 하는엑스선 발생 장치. 제3항에 있어서,상기 나노분말을 분산시키기 위한 액체 용매는,알코올(alcohol), 증류수(distilled water), 우레아 용액(urea solution), 수산화암모늄(ammonium hydroxides), 플로로카본 (fluorocarbon)중적어도하나포함하는것특징으로 하는엑스선 발생 장치. [청구항6] 제1항 또는 제2항의 어느 한 항에 있어서,상기 엑스선 발생 장치로부터 발생하는 상기 엑스선의 강도 및 스펙트럼은 상기 에어로졸의 크기, 상기 나노분말의 농도 및 상기 나노분말을 구성하는 물질의 성분을 조정함에 의해제어가능한것을특징으로 하는엑스선 발생 장치. 제3항에 있어서,상기 엑스선 발생부로부터 발생하는 상기 엑스선의 강도 및 스펙트럼은,상기 에어로졸의 크기, 상기 나노분말의 농도 및 상기 나노분말을 구성하는 물질의 성분을 조정함에 의해제어가능한것을특징으로 하는엑스선 발생 장치. [청구항7] 제1항 또는 제2항의 어느 한 항에 있어서,상기 에어로졸의 크기는 상기 변환부에서의 진동주파수, 유속, 상기 에어로졸이 흘러나오는 모세관의 크기 중 하나 이상을 제어함으로써제어가능한것을특징으로 하는엑스선 발생 장치. 제3항에 있어서,상기 에어로졸 발생부는, 상기 에어로졸 발생부에서의 진동주파수, 유속, 상기 에어로졸이 흘러나오는 모세관의 크기 중 하나 이상의 변수를 제어하여에어로졸의크기제어하는것을특징으로 하는엑스선 발생 장치. [청구항8] 제1항 또는 제2항의 어느 한 항에 있어서,상기 엑스선 발생 장치는 레이저 시트와 카메라 시스템을 더 포함하여, 레이저 유도 형광법에 의하여 상기 에어로졸의 크기가실시간모니터링가능한것을특징으로 하는엑스선 발생 장치. [청구항9] 제1항 또는 제2항의 어느 한 항에 있어서,상기 엑스선 발생 장치는 엑스선 검출기 및 분광기를 더 포함하여, 발생된 엑스선의 강도와 스펙트럼을 실시간으로분석가능한것을특징으로 하는엑스선 발생 장치.