문맥 (context)
[청구항1]
가스가 제공되고, 상기 가스를 이용하여 기판 상에 막을 형성하기 위한 챔버
상기 챔버 내부에 구비되고, 상기 기판이 놓여지는 서셉터
상기 서셉터의 하부에 구비되고, 상기 서셉터를 가열하는 히터
상기 히터를 감싸도록 설치되고, 상기 서셉터의 가장자리를 지지하는 절연링
상기 서셉터와 절연링 사이에 구비되고, 상기 서셉터와 절연링을 연결하는 다수개의 클램프
상기 서셉터와 클램프 및 절연링을 관통하고, 상기 서셉터를 상기 챔버 내부에 고정시키기 위한 다수개의 체결용 나사
상기 서셉터의 일측으로부터 상기 체결용 나사가 관통된 부위 사이를 경유하여 상기 서셉터의 중심 방향으로 연장되고, 상기 챔버 내부로 이송된 상기 기판의 가장자리를 지지하고, 상하 구동됨으로서 상기 지지된 기판을 상기 서셉터에 로딩 또는 언로딩하는 다수개의 리프트 핑거를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치 제조를 위한 증착 장치
[청구항2]
제1항에 있어서,상기 클램프는 상기 서셉터의 가장자리를 따라 적어도 3개가 구비되는 것을 특징으로 하는 반도체 장치 제조위한증착 장치.
[청구항3]
제1항에 있어서,상기 가스는 상기 챔버의 상부에 구비되는 가스 제공부를 통해 제공되는 것을 특징으로 하는 반도체 장치 제조위한증착 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
증착 장치에서 기판의 가장자리를 지지하며 상하 구동을 통해 기판을 서셉터에 로딩 또는 언로딩하는 구성요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation기판의 로딩 및 언로딩을 담당하는 구성요소와 그 동작 특성을 찾는 과업을 정의한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 기판의 가장자리를 지지하고 로딩/언로딩 기능을 가진 구성요소를 추출한다.
- 상기 챔버 내부로 이송된 상기 기판의 가장자리를 지지하고
- 상하 구동됨으로서 상기 지지된 기판을 상기 서셉터에 로딩 또는 언로딩하는 다수개의 리프트 핑거
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 '로딩/언로딩' 및 '가장자리 지지'와 직접 연결된 '리프트 핑거' 문구를 선택한다.
- 상기 지지된 기판을 상기 서셉터에 로딩 또는 언로딩하는 다수개의 리프트 핑거
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4논리 통합
logical_integration리프트 핑거가 기판의 가장자리를 지지하며, 상하 구동을 통해 로딩/언로딩을 수행한다는 인과관계를 통합한다.
- 상기 챔버 내부로 이송된 상기 기판의 가장자리를 지지하고, 상하 구동됨으로서 상기 지지된 기판을 상기 서셉터에 로딩 또는 언로딩하는 다수개의 리프트 핑거
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5결론 도출
conclusion_formulation해당 기능을 수행하는 구성요소는 '다수개의 리프트 핑거'임을 도출한다.
- 다수개의 리프트 핑거
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6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 형태로 최종 답변을 작성한다.
- 다수개의 리프트 핑거
근거 (evidence)
- 상기 챔버 내부로 이송된 상기 기판의 가장자리를 지지하고
- 상하 구동됨으로서 상기 지지된 기판을 상기 서셉터에 로딩 또는 언로딩하는 다수개의 리프트 핑거
- 상기 지지된 기판을 상기 서셉터에 로딩 또는 언로딩하는 다수개의 리프트 핑거
- 상기 챔버 내부로 이송된 상기 기판의 가장자리를 지지하고, 상하 구동됨으로서 상기 지지된 기판을 상기 서셉터에 로딩 또는 언로딩하는 다수개의 리프트 핑거
- 다수개의 리프트 핑거
최종 답변 (final_answer)
다수개의 리프트 핑거이다.
핵심 해석 (core_interpretation)
증착 장치 내에서 기판의 가장자리를 지지하며 상하 구동을 통해 로딩 및 언로딩을 수행하는 핵심 구성요소는 리프트 핑거이다.