문맥 (context)
[청구항 2]
제 1항에 있어서,상기 트랜지스터는코아/주변회로(core/peri) 영역에 형성된트랜지스터인것을특징으로 하는반도체 소자.
[청구항 3]
제 2항에 있어서,상기 제 2 접합 영역은소오스 접합 영역 또는 게이트접합 영역인것을특징으로 하는반도체 소자.
[청구항 4]
제 2항에 있어서,상기 메탈 플러그의 상부는인접한비트라인상부의일부또는전부중첩되는것을특징으로 하는반도체 소자.
[청구항 5]
제 2항에 있어서,상기 비트라인은인접한 비트라인과 일정한간격갖는것을특징으로 하는반도체 소자.
[청구항 6]
제 2항에 있어서,상기 비트라인nan은스트라이프타입형성되는것을특징으로 하는반도체 소자.
[청구항 7]
제 1항에 있어서,상기 메탈 플러그는텅스텐(w), 알루미늄(al), 구리(cu) 및 이들의 합금 중 어느하나형성된것을특징으로 하는반도체 소자.
[청구항 8]
제 1항에 있어서,상기 메탈 플러그는상기 제 2 접합 영역에 연결되도록 상기 제 2 접합 영역 상부에 형성된 제 1 메탈 플러그; 및상기 제 1 메탈 플러그와 상기 메탈라인 또는 상기 메탈라인 콘택을 연결시켜주는제2메탈플러그포함하는것을특징으로 하는반도체 소자.
[청구항 9]
제 8항에 있어서,상기 제 1 메탈 플러그는상기 비트라인 콘택과 동일한물질형성되는것을특징으로 하는반도체 소자.
[청구항 10]
제 8항 또는 제 9항에 있어서,상기 제 2 메탈 플러그는텅스텐(w), 알루미늄(al), 구리(cu) 및 이들의 합금 중 어느하나형성된것을특징으로 하는반도체 소자.
[청구항 11]
제 1항에 있어서,상기 메탈 플러그와 상기 제 2 접합 영역의 접촉면에 형성된실리사이드막더포함하는것을특징으로 하는반도체 소자.
[청구항 12]
제 11항에 있어서,상기 실리사이드막은tisi2 막, tinsi2 막 및 cosi2막중하나인것을특징으로 하는반도체 소자.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
제 1항의 반도체 소자에서 제 1 메탈 플러그와 제 2 메탈 플러그가 각각 어떤 역할을 수행하며, 이들은 무엇과 연결되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation제 1 메탈 플러그와 제 2 메탈 플러그의 역할 및 연결 대상을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 8에서 제 1 메탈 플러그와 제 2 메탈 플러그에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 제 2 접합 영역에 연결되도록 상기 제 2 접합 영역 상부에 형성된 제 1 메탈 플러그; 및상기 제 1 메탈 플러그와 상기 메탈라인 또는 상기 메탈라인 콘택을 연결시켜주는제2메탈플러그
-
3근거 선택
evidence_selection제 1 메탈 플러그는 제 2 접합 영역 상부에 형성되어 해당 영역에 연결됨을 확인하고, 제 2 메탈 플러그는 두 구성 요소를 연결함을 확인한다.
- 상기 제 2 접합 영역에 연결되도록 상기 제 2 접합 영역 상부에 형성된 제 1 메탈 플러그; 및상기 제 1 메탈 플러그와 상기 메탈라인 또는 상기 메탈라인 콘택을 연결시켜주는제2메탈플러그
-
4논리 통합
logical_integration제 1 메탈 플러그는 제 2 접합 영역에 연결되는 역할을 하며, 제 2 메탈 플러그는 제 1 메탈 플러그와 메탈라인 또는 메탈라인 콘택 사이를 연결하는 역할을 수행함을 통합한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation추출된 정보를 바탕으로 각 메탈 플러그의 역할과 연결 대상을 정리한다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대한 최종 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 상기 제 2 접합 영역에 연결되도록 상기 제 2 접합 영역 상부에 형성된 제 1 메탈 플러그; 및상기 제 1 메탈 플러그와 상기 메탈라인 또는 상기 메탈라인 콘택을 연결시켜주는제2메탈플러그
최종 답변 (final_answer)
제 1 메탈 플러그는 제 2 접합 영역 상부에 형성되어 상기 제 2 접합 영역에 연결되는 역할을 수행하며, 제 2 메탈 플러그는 제 1 메탈 플러그와 상기 메탈라인 또는 상기 메탈라인 콘택을 서로 연결시켜주는 역할을 수행한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 제 1 메탈 플러그를 통해 제 2 접합 영역을 형성하고, 제 2 메탈 플러그를 통해 제 1 메탈 플러그와 메탈라인(또는 메탈라인 콘택) 간의 전기적 연결을 구현하는 반도체 소자의 구조를 정의하고 있다.