박막형 태양전지 제조용 증착 장치

[청구항 2] 청구항 1에 있어서,상기쳄버는 바디,상기 바디에 일측이 힌지 결합되고 다른 일측에체결부가결합되는커버로 이루어지는박막형 태양전지 제조용 증착 장치. [청구항 3] 청구항 1에 있어서,상기쳄버에는상기 가스 공급부를 통하여 내부로 유입되는 가스를 상기 가열부 어셈블리 측으로 확산시키는 가스 확산판제공되는박막형 태양전지 제조용 증착 장치. [청구항 4] 청구항 1에 있어서,상기 가이드 레일은 위와 아래로 일정한 거리가 떨어져 쌍배치되는박막형 태양전지 제조용 증착 장치. [청구항 5] 청구항 1에 있어서,상기 증착 대상물 고정 트레이에는상기 증착 대상물이 수직인상태고정되어이송되는박막형 태양전지 제조용 증착 장치. [청구항 6] 청구항 1에 있어서,상기 가열부 어셈블리는상기 열선들이 수직 방향으로 배치된 상태로 상기고정되는박막형 태양전지 제조용 증착 장치. [청구항 7] 청구항 1에 있어서,상기 가열부 어셈블리는고정틀;상기 고정틀에 일정한 간격으로 고정되는 열선들;상기 열선들의 일단이 상기 고정틀에 고정되는 제1 고정부;상기 열선들의 타단이 상기 고정틀에 고정되는 제2 고정부;상기 제2 고정부의 위치를 조절하여 상기 열선들의 장력을 조절하는 장력 조절부포함하는박막형 태양전지 제조용 증착 장치. [청구항 8] 청구항 7에 있어서,상기 장력 조절부는 상기 고정틀에 고정되는 지지플레이트;상기 지지플레이트에 나사 결합되어 상기 제2 고정부를 가압하는 장력조절부재;상기 고정틀과 상기 제2 고정부 사이에 배치되어 상기 제2 고정부를 상기 장력조절부재 측으로 가압하는 탄성부재포함하는박막형 태양전지 제조용 증착 장치. [청구항 9] 청구항 7에 있어서,상기 제1 고정부는상기 고정틀에 결합되는 제1 고정블럭,상기 제1 고정블럭에 체결부재에 의하여 고정되는 제2 고정블럭,상기 제1 고정블럭과 제2 고정블럭 사이에 상기 열선들이 배치되고 상기 제1 고정블럭과 상기 제2 고정블럭을 고정하는 체결부재들포함하는박막형 태양전지 제조용 증착 장치. [청구항 10] 청구항 7에 있어서,상기 제2 고정부는상기 고정틀에 제공된 홈에 배치되는 제3 고정블럭,상기 제3 고정블럭에 체결부재에 의하여 고정되는 제4 고정블럭,상기 제3 고정블럭과 제4 고정블럭 사이에 상기 열선들이 배치되고 상기 제3 고정블럭과 상기 제3 고정블럭을 고정하는 체결부재들포함하는박막형 태양전지 제조용 증착 장치. [청구항 11] 청구항 1에 있어서,상기 이송부는하나 이상의 구동원;상기 구동원에 의하여 회전하며 상기 증착 대상물 또는 증착 대상물 고정 트레이를 밀어서 상기 가이드 레일을 따라 이동시키는 하나 이상의 트랜스퍼 로드구비한박막형 태양전지 제조용 증착 장치. [청구항 12] 청구항 7에 있어서,상기 제1 고정부는 자중에 의하여 회전할 수 있도록 편심을 가지면서 상기 고정틀에 힌지 축고정되는박막형 태양전지 제조용 증착 장치.