반응 시간을 증가시킨 수직형 확산로

[청구항2] 제1항에 있어서,상기 와류 발생 수단은 상기 반응 튜브의 내측면 소정 위치에 형성되고, 상기 웨이퍼 보트 캡의 직경보다는 크고 상기 반응 튜브의 내측면 직경보다는 작은 소정 폭을 갖는 링 형태의 배플 플레이트가 적어도 한 개 이상 형성된 것을 특징으로 하는 반응 시간증가시킨수직형 확산로. 제 1 항에 있어서,상기 와류 발생 수단은 상기 반응 튜브의 내측면 소정 위치에 형성되고, 상기 웨이퍼 보트 캡의 직경보다는 크고 상기 반응 튜브의 내측면 직경보다는 작은 소정 폭을 갖는 링 형태의 배플 플레이트가 적어도 한 개 이상 형성된 것을 특징으로 하는 반응 시간증가시킨수직형 확산로. [청구항3] 제2항에 있어서,상기 와류 발생 수단은 상기 웨이퍼 보트 캡의 높이와 대향하는 상기 반응 튜브 내측면으로부터 상기 반응 가스 배출구 사이에 위치하는 것을 특징으로 하는 반응 시간증가시킨수직형 확산로. 제 2 항에 있어서,상기 와류 발생 수단은 상기 웨이퍼 보트 캡의 높이와 대향하는 상기 반응 튜브 내측면으로부터 상기 반응 가스 배출구 사이에 위치하는 것을 특징으로 하는 반응 시간증가시킨수직형 확산로. [청구항4] 제1항에 있어서,상기 와류 발생 수단은 상기 웨이퍼 보트 캡의 외측 원주면상의 소정위치에 형성되고 상기 웨이퍼 보트 캡의 직경보다는 크고 상기 반응 튜브의 내측면 직경 보다는 작은 소정 폭을 갖는 링 형태의 배플 플레이트인 것을 특징으로 하는 반응 시간증가시킨수직형 확산로. 제 1 항에 있어서,상기 와류 발생 수단은 상기 웨이퍼 보트 캡의 외측 원주면상의 소정위치에 형성되고 상기 웨이퍼 보트 캡의 직경보다는 크고 상기 반응 튜브의 내측면 직경 보다는 작은 소정 폭을 갖는 링 형태의 배플 플레이트인 것을 특징으로 하는 반응 시간증가시킨수직형 확산로. [청구항5] 제4항에 있어서,상기 웨이퍼 보트 캡의 원주면상에 형성된 와류 발생 수단은 웨이퍼 보트 캡의 상단부와 상기 반응 튜브의 배기구 사이에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 반응 시간증가시킨수직형 확산로. 제 4 항에 있어서,상기 웨이퍼 보트 캡의 원주면상에 형성된 와류 발생 수단은 웨이퍼 보트 캡의 상단부와 상기 반응 튜브의 배기구 사이에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 반응 시간증가시킨수직형 확산로. [청구항6] 제1항에 있어서,상기 와류 발생 수단은 웨이퍼 보트 캡의 외측 원주면상과 상기 웨이퍼 보트 캡과 대향하는 상기 반응 튜브의 소정 위치에 상기 웨이퍼 보트 캡의 직경보다는 크고 상기 반응튜브의 내측면 직경보다는 작은 소정 폭을 갖는 링 형태의 배플 플레이트가 교호로 동시에 형성되는 것을 특징으로 하는 반응 시간증가시킨수직형 확산로. 제 1 항에 있어서,상기 와류 발생 수단은 웨이퍼 보트 캡의 외측 원주면상과 상기 웨이퍼 보트 캡과 대향하는 상기 반응 튜브의 소정 위치에 상기 웨이퍼 보트 캡의 직경보다는 크고 상기 반응튜브의 내측면 직경보다는 작은 소정 폭을 갖는 링 형태의 배플 플레이트가 교호로 동시에 형성되는 것을 특징으로 하는 반응 시간증가시킨수직형 확산로. [청구항7] 제6항에 있어서,상기 웨이퍼 보트 캡과 반응 튜브에 동시 형성된 와류 발생 수단의 소정 위치는 상기웨이퍼 보트 캡의 높이와 대향하는 상기 반응 튜브 내측면에서 반응 가스 배기구 사이에 위치함을 특징으로 하는 반응 시간증가시킨수직형 확산로. 제 6 항에 있어서,상기 웨이퍼 보트 캡과 반응 튜브에 동시 형성된 와류 발생 수단의 소정 위치는 상기 웨이퍼 보트 캡의 높이와 대향하는 상기 반응 튜브 내측면에서 반응 가스 배기구 사이에 위치함을 특징으로 하는 반응 시간증가시킨수직형 확산로. [청구항8] 제1항 또는 제7항에 있어서,상기 확산로는 상기 반응 가스의 흐름이 상부에서 하부로 유동되는 상기 반응튜브에 형성되어, 상기 배플 플레이트를 통과하면서 가스의 흐름이 와류를 형성하여 반응가스 배기 속도를 감소시키는 것을 특징으로 하는 반응 시간증가시킨수직형 확산로. 제 1 항 또는 제 7 항에 있어서,상기 확산로는 상기 반응 가스의 흐름이 상부에서 하부로 유동되는 상기 반응튜브에 형성되어, 상기 배플 플레이트를 통과하면서 가스의 흐름이 와류를 형성하여 반응가스 배기 속도를 감소시키는 것을 특징으로 하는 반응 시간증가시킨수직형 확산로.