문맥 (context)
[청구항 1]
반도체 기판 상에 배치되어 제1 방향을 따라 연장되며 서로 전기적으로 절연되는 다수의 신호라인
상기 신호라인의 상부에서 상기 제1 방향과 상이한 제2 방향을 따라 연장되며 상기 신호라인과 전기적으로 절연되는 다수의 어드레스 라인; 및
상기 어드레스 라인과 교차하는 상기 신호라인 상에 위치하며 상기 어드레스 라인으로부터 전송된 코딩신호에 따라 상기 신호라인을 경유하는 데이터 신호를 선택적으로 전송하는 다수의 스위칭 소자를 포함하여, 상기 어드레스 라인을 통하여 인가되는 상기 코딩신호의 조합에 의해 상기 다수의 신호라인들을 서로 구별하는 것을 특징으로 하는 멀티플렉서
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 신호라인들 사이에 위치하여 서로 인접하는 상기 신호라인들을 전기적으로 절연하는 절연패턴 및 상기 신호라인의 상면 및 상기 절연패턴의 상면에 배치되는 층간 절연막을 더 포함하며, 상기 어드레스 라인은 상기 층간 절연막 상에서 상기 제2 방향을 따라 연장하여 상기 층간 절연막의 하부에 위치하는상기신호라인과전기적절연되는것을특징으로 하는멀티플렉서.
[청구항 3]
제2항에 있어서,상기 기판은 상기 신호라인들 사이에 위치하는 기판의 표면은 상기 신호라인의 바닥면 보다 낮게 위치하는 트렌치를 더 포함하며 상기 트렌치는상기절연패턴매립된것을특징으로 하는멀티플렉서.
[청구항 4]
제2항에 있어서,신호라인은 상이한 신호 라인에 배치되어 상기 제2 방향을 따라 정렬되도록 상기 제1 방향을 따라 서로 상이한 패턴을 갖도록 배열되고 상기 기판의 표면을 노출하도록 상기 신호라인을 단절하는 한 쌍의 절연 리세스부를 포함하며, 상기 스위칭 소자는상기절연리세스부내배치되는것을특징으로 하는멀티플렉서.
[청구항 5]
제4항에 있어서,상기 절연 리세스부를 통하여 노출되는 상기 기판의 표면과 절단된 상기 신호라인의 측면 및 상기 신호라인의 상면을 덮는 게이트 절연막을 더 포함하며, 상기 스위칭 소자는 상기 절연 리세스부 내에서 상기 게이트 절연막 상에 배치되는 게이트 구조물을 구비하는전계효과트랜지스터포함하는것을특징으로 하는멀티플렉서.
[청구항 6]
제5항에 있어서,상기 게이트 절연막은 상기 층간 절연막과 동일한 물질을 포함하며, 실리콘 산화물 또는 고유전율을 갖는금속산화물포함하는것을특징으로 하는멀티플렉서.
[청구항 7]
제5항에 있어서,상기 신호 라인및 상기 어드레스 라인은 불술물이 도핑된 폴리실리콘, 금속물질 및 전도성 폴리머 중의 어느하나포함하는것을특징으로 하는멀티플렉서.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
청구항 1 및 청구항 2를 참조할 때, 멀티플렉서 내에서 어드레스 라인이 신호라인과 전기적으로 절연되기 위해 배치되는 위치 관계는 어떠한가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation청구항 1과 2를 바탕으로 멀티플렉서 내 어드레스 라인과 신호라인의 전기적 절연을 위한 위치 관계를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1은 신호라인 상부에 어드레스 라인이 연장됨을 명시하고, 청구항 2는 구체적인 층 구조를 설명한다.
- 상기 신호라인의 상부에서 상기 제1 방향과 상이한 제2 방향을 따라 연장되며 상기 신호라인과 전기적으로 절연되는 다수의 어드레스 라인
- 상기 어드레스 라인은 상기 층간 절연막 상에서 상기 제2 방향을 따라 연장하여 상기 층간 절연막의 하부에 위치하는상기신호라인과전기적절연되는것을특징
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3근거 선택
evidence_selection어드레스 라인이 층간 절연막 상에서 연장되며 신호라인의 상부에 위치한다는 청구항 2의 구절을 선택한다.
- 상기 어드레스 라인은 상기 층간 절연막 상에서 상기 제2 방향을 따라 연장하여 상기 층간 절연막의 하부에 위치하는상기신호라인과전기적절연되는것을특징
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4논리 통합
logical_integration신호라인 상부에 층간 절연막이 있고, 어드레스 라인은 이 층간 절연막 상에서 연장되므로, 결과적으로 어드레스 라인은 층간 절연막의 하부에 위치하는 신호라인과 전기적으로 절연된다.
- 상기 어드레스 라인은 상기 층간 절연막 상에서 상기 제2 방향을 따라 연장하여 상기 층간 절연막의 하부에 위치하는상기신호라인과전기적절연되는것을특징
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5결론 도출
conclusion_formulation어드레스 라인은 층간 절연막 상에서 연장되어, 층간 절연막의 하부에 위치하는 신호라인과 전기적으로 절연되는 위치 관계를 가진다.
- 상기 어드레스 라인은 상기 층간 절연막 상에서 상기 제2 방향을 따라 연장하여 상기 층간 절연막의 하부에 위치하는상기신호라인과전기적절연되는것을특징
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 직접적인 답변을 작성한다.
- 상기 어드레스 라인은 상기 층간 절연막 상에서 상기 제2 방향을 따라 연장하여 상기 층간 절연막의 하부에 위치하는상기신호라인과전기적절연되는것을특징
근거 (evidence)
- 상기 신호라인의 상부에서 상기 제1 방향과 상이한 제2 방향을 따라 연장되며 상기 신호라인과 전기적으로 절연되는 다수의 어드레스 라인
- 상기 어드레스 라인은 상기 층간 절연막 상에서 상기 제2 방향을 따라 연장하여 상기 층간 절연막의 하부에 위치하는상기신호라인과전기적절연되는것을특징
최종 답변 (final_answer)
상기 어드레스 라인은 상기 층간 절연막 상에서 상기 제2 방향을 따라 연장하여, 상기 층간 절연막의 하부에 위치하는 상기 신호라인과 전기적으로 절연되는 위치 관계를 가진다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 층간 절연막을 매개로 하여, 층간 절연막 상부에 배치된 어드레스 라인과 그 하부에 위치한 신호라인 간의 전기적 절연을 구현하는 구조를 특징으로 한다.