문맥 (context)
[청구항 1]
원통형의 히터부;
상기 히터부 내에 있으며 상부가 밀폐된 형태의 외부 튜브(outer tube)
상기 외부 튜브 내에 있는 상부가 개방된 형태의 내부 튜브(inner tube)
상기 내부 튜브의 안쪽으로 로딩되는 보트(boat); 및
상기 보트가 위 방향으로 적재되는 보트캡(boat cap)을 포함하는 로더(loader)부를 구비하는 반도체 소자 제조용 화학기상증착 장비에 있어서,
상기 로더부의 보트캡에 있는 고정핀은 보트와 보트캡을 락킹(locking)시키기 위한 보트 락킹용 걸쇠가 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조용 화학기상증착 장비
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 반도체 소자 제조용 화학기상증착 장비는 종형 확산로형(vertical furnace type)저압화학기상증착장비인것을특징으로 하는반도체 소자 제조용 화학기상증착 장비.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 고정핀은 보트캡의 외곽에 두 개가 있는 것특징으로 하는반도체 소자 제조용 화학기상증착 장비.
[청구항 4]
제3항에 있어서,상기 보트 락킹용 걸쇠는 2개의 고정핀 중 한개있는것을특징으로 하는반도체 소자 제조용 화학기상증착 장비.
[청구항 5]
제4항에 있어서,상기 보트 락킹용 걸쇠가 없는 나머지 한 개의 고정핀은일직선형인것을특징으로 하는반도체 소자 제조용 화학기상증착 장비.
[청구항 6]
제3항에 있어서,상기 2개의 고정핀의 길이는보트캡의상부인것을특징으로 하는반도체 소자 제조용 화학기상증착 장비.
[청구항 7]
제1항에 있어서,상기 보트 락킹용 걸쇠는 180도 회전시켜보트캡과보트락킹시키는것을특징으로 하는반도체 소자 제조용 화학기상증착 장비.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
보트 락킹용 걸쇠가 형성된 고정핀의 구성과 해당 걸쇠를 이용한 보트와 보트캡의 락킹 방식은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation고정핀의 구성(개수, 형태 등)과 걸쇠를 이용한 보트와 보트캡의 락킹 방식을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1, 3, 4, 5, 7에서 고정핀의 구성과 락킹 방식에 관한 정보를 추출한다.
- 보트캡에 있는 고정핀은 보트와 보트캡을 락킹(locking)시키기 위한 보트 락킹용 걸쇠가 형성된 것
- 보트캡의 외곽에 두 개가 있는 것
- 2개의 고정핀 중 한개있는것
- 걸쇠가 없는 나머지 한 개의 고정핀은일직선형인것
- 180도 회전시켜보트캡과보트락킹시키는것
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3근거 선택
evidence_selection질문에 직접적으로 대응하는 고정핀의 구성(2개 중 1개는 걸쇠, 1개는 일직선형)과 락킹 방식(180도 회전) 구절을 선택한다.
- 보트캡의 외곽에 두 개가 있는 것
- 2개의 고정핀 중 한개있는것
- 걸쇠가 없는 나머지 한 개의 고정핀은일직선형인것
- 180도 회전시켜보트캡과보트락킹시키는것
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4논리 통합
logical_integration보트캡 외곽에 위치한 2개의 고정핀 중 하나에는 걸쇠가 있고 다른 하나는 일직선형이며, 걸쇠를 180도 회전시켜 락킹한다는 점을 결합한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation고정핀은 보트캡 외곽에 2개가 있으며, 그중 하나는 보트 락킹용 걸쇠가 형성되어 있고 나머지 하나는 일직선형이다. 락킹은 걸쇠를 180도 회전시켜 수행한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 최종 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 보트캡에 있는 고정핀은 보트와 보트캡을 락킹(locking)시키기 위한 보트 락킹용 걸쇠가 형성된 것
- 보트캡의 외곽에 두 개가 있는 것
- 2개의 고정핀 중 한개있는것
- 걸쇠가 없는 나머지 한 개의 고정핀은일직선형인것
- 180도 회전시켜보트캡과보트락킹시키는것
최종 답변 (final_answer)
보트 락킹용 고정핀은 보트캡의 외곽에 2개가 구성되며, 그중 한 개의 고정핀에는 보트 락킹용 걸쇠가 형성되어 있고 나머지 한 개의 고정핀은 일직선형이다. 락킹 방식은 보트 락킹용 걸쇠를 180도 회전시켜 보트캡과 보트를 락킹시키는 방식이다.
핵심 해석 (core_interpretation)
보트캡 외곽에 걸쇠가 있는 고정핀과 일직선형 고정핀을 배치하고, 걸쇠를 180도 회전시켜 보트를 고정하는 락킹 구조를 제공한다.