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반도체 제조장치용 웨이퍼 가공장치

uuid
2eeb5412-614c-58e2-b28c-c03cf8b775d5
출원번호
1020000074701
출원연도
2000
IPC
C23C
분류
화학(C섹션)
문맥 (context)
[청구항2] 제 1항에 있어서,캡은 원판형상으로 형성되어 상기 서셉터 위로 일부 삽입 설치되되 상기 공간부가 진공을 형성하도록 하는 관이 연결되도록 된연통홀형성된것을특징으로 하는반도체 제조장치용 웨이퍼 가공장치. 제 1항에 있어서,캡은 원판형상으로 형성되어 상기 서셉터 위로 일부 삽입 설치되되 상기 공간부가 진공을 형성하도록 하는 관이 연결되도록 된연통홀형성된것을특징으로 하는반도체 제조장치용 웨이퍼 가공장치. [청구항3] 제 1항에 있어서,캡은 원판형상으로 형성되어 상기 서셉터 위로 일부 삽입 설치되되 상기 공간부로 질소를 공급하는 관이 연결되도록 된연통홀형성된것을특징으로 하는반도체 제조장치용 웨이퍼 가공장치. 제 1항에 있어서,캡은 원판형상으로 형성되어 상기 서셉터 위로 일부 삽입 설치되되 상기 공간부로 질소를 공급하는 관이 연결되도록 된연통홀형성된것을특징으로 하는반도체 제조장치용 웨이퍼 가공장치. [청구항4] 제 1항에 있어서,캡은 중심부분이 원형으로 개구된개구홀형성되어있는것을특징으로 하는반도체 제조장치용 웨이퍼 가공장치. 제 1항에 있어서,캡은 중심부분이 원형으로 개구된개구홀형성되어있는것을특징으로 하는반도체 제조장치용 웨이퍼 가공장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
반도체 제조장치용 웨이퍼 가공장치에서 캡의 형상적 특징과, 캡에 형성된 연통홀을 통해 연결되는 관이 수행하는 두 가지 서로 다른 기능은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    캡의 형상적 특징과 연통홀에 연결된 관의 두 가지 기능을 추출해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 2, 3, 4에서 캡의 형상, 연통홀의 역할, 관의 기능을 추출한다.

    • 캡은 원판형상으로 형성
    • 상기 공간부가 진공을 형성하도록 하는 관이 연결
    • 상기 공간부로 질소를 공급하는 관이 연결
    • 캡은 중심부분이 원형으로 개구된개구홀형성
  3. 3근거 선택evidence_selection

    질문에 부합하는 캡의 형상(원판형상, 개구홀)과 관의 기능(진공 형성, 질소 공급)을 선택한다.

    • 캡은 원판형상으로 형성
    • 중심부분이 원형으로 개구된개구홀
    • 공간부가 진공을 형성하도록 하는 관
    • 공간부로 질소를 공급하는 관
  4. 4논리 통합logical_integration

    캡의 형상은 원판형상이며 중심에 개구홀이 있고, 관은 진공 형성 또는 질소 공급 기능을 수행함을 통합한다.

    • 캡은 원판형상으로 형성되어 상기 서셉터 위로 일부 삽입 설치되되
    • 상기 공간부가 진공을 형성하도록 하는 관이 연결
    • 상기 공간부로 질소를 공급하는 관이 연결
    • 캡은 중심부분이 원형으로 개구된개구홀형성
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    캡은 원판형상이며 중심에 원형 개구홀이 있고, 관은 공간부에 진공을 형성하거나 질소를 공급하는 역할을 한다.

    • 캡은 원판형상
    • 중심부분이 원형으로 개구된개구홀
    • 공간부가 진공을 형성하도록 하는 관
    • 공간부로 질소를 공급하는 관
  6. 6답변 생성answer_generation

    질문에 맞춰 캡의 형상과 관의 두 가지 기능을 정리하여 답변을 생성한다.

    • 캡은 원판형상으로 형성
    • 중심부분이 원형으로 개구된개구홀
    • 공간부가 진공을 형성하도록 하는 관
    • 공간부로 질소를 공급하는 관
근거 (evidence)
  • 캡은 원판형상으로 형성
  • 상기 공간부가 진공을 형성하도록 하는 관이 연결
  • 상기 공간부로 질소를 공급하는 관이 연결
  • 캡은 중심부분이 원형으로 개구된개구홀형성
  • 중심부분이 원형으로 개구된개구홀
  • 공간부가 진공을 형성하도록 하는 관
  • 공간부로 질소를 공급하는 관
  • 캡은 원판형상으로 형성되어 상기 서셉터 위로 일부 삽입 설치되되
  • 캡은 원판형상
최종 답변 (final_answer)
캡의 형상은 원판형상이며 중심 부분이 원형으로 개구된 개구홀이 형성되어 있다. 연통홀에 연결되는 관의 두 가지 기능은 공간부가 진공을 형성하도록 하거나, 공간부로 질소를 공급하는 것이다.
핵심 해석 (core_interpretation)
캡은 원판형상에 중심 개구홀을 가지며, 연통홀을 통해 연결된 관은 공간부에 진공을 형성하거나 질소를 공급하는 기능을 수행한다.