화학 기상 증착 장치

[청구항2] 제1항에 있어서,상기 천장부재는,상기 서셉터의 직경이 실질적으로 40 cm 이상 70 cm 이하의 범위인 경우, 상기 서셉터와 상기 반응로의 천장 사이의 높이(t)는 실질적으로 10 mm이하구비되는것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치. 제1항에 있어서,상기 천장부재는,상기 서셉터의 직경이 40 cm 이상 70 cm 이하의 범위인 경우, 상기 높이(t)는 10 mm이하구비되는것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치. [청구항3] 제1항에 있어서,상기 천장부재는,상기 반응가스의 유량이 80 slm 이상 300 slm 이하인 범위에서 상기 반응가스의 유속이 67 cm/s 이상 200 cm/s 이하가 되도록 상기 서셉터와 상기 반응로의 천장 사이의 높이가 조절되어구비되는것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치. 제1항에 있어서,상기 천장부재는,상기 서셉터의 직경이 증가함에 따라 반응가스의 유량이 실질적으로 80 slm 이상 300 slm 이하인 범위에서 상기 반응가스의 유속이 실질적으로 67 cm/s 이상 200 cm/s 이하가 되도록 상기 서셉터와 상기 반응로의 천장 사이의 높이가 조절되어구비되는것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치. [청구항5] 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 챔버의 중심부에 마련되어 상기 반응로에서 반응한 가스가 배출되도록 하는가스배출부더포함하는것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 챔버의 중심부에 마련되어 상기 반응로에서 반응한 가스가 배출되도록 하는가스배출부더포함하는것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치. [청구항6] 제4항에 있어서,상기 챔버의 상단 내면이 상기 반응로의천장형성하는것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치. 제4항에 있어서,상기 챔버의 상단 내면이 상기 반응로의천장형성하는것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치. [청구항7] 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 천장부재를 고정시키는고정부재더포함하는것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 천장부재를 고정시키는고정부재더포함하는것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치. [청구항8] 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,셉터에 회전 가능하도록 구비되며, 상기 피증착물이 수용되는 포켓부를 적어도 하나 구비하는적어도하나의새틀라이트더포함하는것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,셉터에 회전 가능하도록 구비되며, 상기 피증착물이 수용되는 포켓부를 적어도 하나 구비하는적어도하나의새틀라이트더포함하는것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치. [청구항9] 제8항에 있어서,셉터는 회전 가능하도록구비되는것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치. 제8항에 있어서,셉터는 회전 가능하도록구비되는것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치. [청구항10] 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 가스도입부는,외부로부터 도입되는 소정의 가스를 저장하는 적어도 하나의 리저버와,상기 리저버와 상기 챔버 내부를 연통하며, 상기 리저버에 저장된 가스를 상기 챔버 내부로 분사되도록 하는분사노즐포함하는것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 가스도입부는,외부로부터 도입되는 소정의 가스를 저장하는 적어도 하나의 리저버와,상기 리저버와 상기 챔버 내부를 연통하며, 상기 리저버에 저장된 가스를 상기 챔버 내부로 분사되도록 하는분사노즐포함하는것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치. [청구항11] 제2항 또는 제4항에 있어서,상기 반응로의 천장 높이가 상기 서셉터의 측단부 쪽으로부터 중심부 쪽으로 점차 확대되도록 하는 유로확장부를 더 포함하고,상기 t는 상기 서셉터의 측단부에서의유로확장부높이인것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치. 제2항 또는 제4항에 있어서,상기 반응로의 천장 높이가 상기 서셉터의 측단부 둘레를 따라서 상기 서셉터를 에워싸도록 배치되는 상기 경사면의 단부로부터 중심부 쪽으로 점차 확대되도록 상기 바닥면에 함몰형성되는 유로확장부를 더 포함하고,상기 높이(t)는 상기 서셉터의 측단부에서의유로확장부높이인것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치. [청구항12] 제2항 또는 제4항에 있어서,상기 반응로의 천장 높이가 상기 서셉터의 측단부 쪽으로부터 중심부 쪽으로 점차 축소되도록 하는 유로축소부를 더 포함하고,상기 t는 상기 서셉터의 측단부에서의유로축소부높이인것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치. 제2항 또는 제4항에 있어서,상기 반응로의 천장 높이가 상기 서셉터의 측단부 둘레를 따라서 상기 서셉터를 에워싸도록 배치되는 상기 경사면의 단부로부터 중심부 쪽으로 점차 축소되도록 상기 바닥면에 돌출형성되는 유로축소부를 더 포함하고,상기 높이(t)는 상기 서셉터의 측단부에서의유로축소부높이인것을특징으로 하는화학 기상 증착 장치.