문맥 (context)
[청구항1]
1. 쳄버내에 설치되고 하부가 개구된 인너 튜브에 상하로 웨이퍼가 적층되어, 플레이트에 설치된 히터에 의해 반응가스가 가열, 산화되어 웨이퍼에 산화막을 성장시키는 반도체 산화막 제조용 수직로에 있어서
상기 히터보다 하부로 일정부분이 플레이트를 지나 돌출된 이너튜브의 외곽을 따라 플레이트와 상하 소정간격을 두고 설치된 바텀패널과, 바텀 패널과 플레이트의 외곽을 종으로 서로 연결하여 설치된 사이드 패널에 의해 형성된 공간부
상기 공간부 상부의 플레이트에 형성된 배기구
및 상기 배기구와 연결되어, 쳄버의 외부로 연장된 배기덕트를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 산화막 제조용 수직로의 방열장치
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
반도체 산화막 제조용 수직로의 방열장치에서 공간부는 어떠한 구성요소들에 의해 형성되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation방열장치 내 공간부를 형성하는 구성요소를 식별하는 과업을 수행한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항에서 공간부와 관련된 구성요소인 바텀패널과 사이드 패널을 추출한다.
- 바텀패널
- 사이드 패널
- 공간부
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3근거 선택
evidence_selection공간부의 형성 원인을 설명하는 문구를 선택한다.
- 바텀 패널과 플레이트의 외곽을 종으로 서로 연결하여 설치된 사이드 패널에 의해 형성된 공간부
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4논리 통합
logical_integration바텀패널과 사이드 패널이 결합하여 공간부를 형성한다는 논리적 관계를 도출한다.
- 바텀 패널과 플레이트의 외곽을 종으로 서로 연결하여 설치된 사이드 패널에 의해 형성된 공간부
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5결론 도출
conclusion_formulation공간부는 바텀패널과 사이드 패널에 의해 형성된다는 결론을 내린다.
- 바텀 패널과 플레이트의 외곽을 종으로 서로 연결하여 설치된 사이드 패널에 의해 형성된 공간부
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6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 형태로 구성요소를 나열하여 답변을 생성한다.
- 바텀 패널
- 사이드 패널
근거 (evidence)
- 바텀패널
- 사이드 패널
- 공간부
- 바텀 패널과 플레이트의 외곽을 종으로 서로 연결하여 설치된 사이드 패널에 의해 형성된 공간부
- 바텀 패널
최종 답변 (final_answer)
공간부는 바텀패널과 사이드 패널에 의해 형성된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
방열장치의 공간부는 플레이트와 일정 간격을 두고 설치된 바텀패널과, 바텀패널 및 플레이트의 외곽을 종방향으로 연결하는 사이드 패널에 의해 만들어진다.