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반도체 장치 제조용 가접합용 적층체, 및 반도체 장치의 제조 방법

uuid
30ced1cf-ebaa-5a8b-ad3b-00a286ef8cf0
출원번호
1020157025913
출원연도
2014
IPC
C09J 7/40
분류
화학(C섹션)
문맥 (context)
[청구항2] 제 1 항에 있어서,상기(a1) 제 1 박리층의 연화점은 200℃∼450℃의 범위 내인 것을 특징으로 하는 반도체 장치 제조용가접합용 적층체. 제 1 항에 있어서,상기(a1) 제 1 박리층의 연화점은 200℃∼450℃의 범위 내인 것을 특징으로 하는 반도체 장치 제조용가접합용 적층체. [청구항3] 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기(a1) 제 1 박리층은 열가소성 수지를 함유하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치 제조용가접합용 적층체. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기(a1) 제 1 박리층은 열가소성 수지를 함유하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치 제조용가접합용 적층체. [청구항4] 제 3 항에 있어서,상기 열가소성 수지는 폴리에테르술폰 수지, 폴리이미드 수지, 폴리에스테르 수지, 폴리벤즈이미다졸 수지, 폴리페닐렌에테르 수지, 폴리페닐렌술피드 수지, 폴리아미드이미드 수지 및 폴리에테르케톤 수지로부터 선택되는 적어도 하나의 열가소성 수지인 것을 특징으로 하는 반도체 장치 제조용가접합용 적층체. 제 3 항에 있어서,상기 열가소성 수지는 폴리에테르술폰 수지, 폴리이미드 수지, 폴리에스테르 수지, 폴리벤즈이미다졸 수지, 폴리페닐렌에테르 수지, 폴리페닐렌술피드 수지, 폴리아미드이미드 수지 및 폴리에테르케톤 수지로부터 선택되는 적어도 하나의 열가소성 수지인 것을 특징으로 하는 반도체 장치 제조용가접합용 적층체. [청구항5] 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기(a2) 제 2 박리층에 포함되는 수지는 폴리카보네이트 수지, 폴리우레탄 수지 및 탄화수소계 수지로부터 선택되는 적어도 1종인 것을 특징으로 하는 반도체 장치 제조용가접합용 적층체. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,상기(a2) 제 2 박리층에 포함되는 수지는 폴리카보네이트 수지, 폴리우레탄 수지 및 탄화수소계 수지로부터 선택되는 적어도 1종인 것을 특징으로 하는 반도체 장치 제조용가접합용 적층체. [청구항6] 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,상기(b) 접착성층은 바인더와, 중합성 모노머와, 광중합 개시제 및 열중합 개시제 중 적어도 한쪽을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치 제조용가접합용 적층체. [청구항7] 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,상기(a1) 제 1 박리층의 두께는 1∼10㎛이며, 상기 (a2) 제 2 박리층의 두께는 20∼100㎛인 것을 특징으로 하는 반도체 장치 제조용가접합용 적층체. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기(a1) 제 1 박리층의 두께는 1∼10㎛이며, 상기 (a2) 제 2 박리층의 두께는 20∼100㎛인 것을 특징으로 하는 반도체 장치 제조용가접합용 적층체. [청구항14] 제 13 항에 있어서,탄화수소계 용제 및 에테르 용제 중 적어도 1종을 더 함유하는박리용제포함하는것을특징으로 하는키트.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
반도체 장치 제조용 가접합용 적층체에서 제 1 박리층과 제 2 박리층은 각각 어떠한 수지 성분을 포함하며, 각 층의 두께 범위는 어떻게 정의되어 있는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    제 1 박리층과 제 2 박리층의 수지 성분 및 두께 정보를 추출하여 비교 분석해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    제 1 박리층의 성분(열가소성 수지), 제 2 박리층의 성분(폴리카보네이트, 폴리우레탄, 탄화수소계 수지), 그리고 각 층의 두께 정보를 청구항에서 추출한다.

    • 제 1 박리층은 열가소성 수지를 함유하는 것
    • 제 2 박리층에 포함되는 수지는 폴리카보네이트 수지, 폴리우레탄 수지 및 탄화수소계 수지로부터 선택되는 적어도 1종
    • 제 1 박리층의 두께는 1∼10㎛이며, 상기 (a2) 제 2 박리층의 두께는 20∼100㎛
  3. 3근거 선택evidence_selection

    제 1 박리층의 구체적 수지 종류와 두께, 제 2 박리층의 수지 종류와 두께에 해당하는 문구를 선택한다.

    • 폴리에테르술폰 수지, 폴리이미드 수지, 폴리에스테르 수지, 폴리벤즈이미다졸 수지, 폴리페닐렌에테르 수지, 폴리페닐렌술피드 수지, 폴리아미드이미드 수지 및 폴리에테르케톤 수지
    • 폴리카보네이트 수지, 폴리우레탄 수지 및 탄화수소계 수지
    • 제 1 박리층의 두께는 1∼10㎛
    • 제 2 박리층의 두께는 20∼100㎛
  4. 4논리 통합logical_integration

    추출된 정보를 바탕으로 제 1 박리층과 제 2 박리층의 구성 및 두께를 대조하여 정리한다.

  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    제 1 박리층은 열가소성 수지(폴리에테르술폰, 폴리이미드 등)를 포함하며 1~10㎛ 두께를 갖고, 제 2 박리층은 폴리카보네이트, 폴리우레탄, 탄화수소계 수지를 포함하며 20~100㎛ 두께를 가진다는 결론을 도출한다.

    • 제 1 박리층은 열가소성 수지를 함유
    • 제 2 박리층에 포함되는 수지는 폴리카보네이트 수지, 폴리우레탄 수지 및 탄화수소계 수지
    • 제 1 박리층의 두께는 1∼10㎛
    • 제 2 박리층의 두께는 20∼100㎛
  6. 6답변 생성answer_generation

    질문에 적합한 구조화된 답변을 생성한다.

근거 (evidence)
  • 제 1 박리층은 열가소성 수지를 함유하는 것
  • 제 2 박리층에 포함되는 수지는 폴리카보네이트 수지, 폴리우레탄 수지 및 탄화수소계 수지로부터 선택되는 적어도 1종
  • 제 1 박리층의 두께는 1∼10㎛이며, 상기 (a2) 제 2 박리층의 두께는 20∼100㎛
  • 폴리에테르술폰 수지, 폴리이미드 수지, 폴리에스테르 수지, 폴리벤즈이미다졸 수지, 폴리페닐렌에테르 수지, 폴리페닐렌술피드 수지, 폴리아미드이미드 수지 및 폴리에테르케톤 수지
  • 폴리카보네이트 수지, 폴리우레탄 수지 및 탄화수소계 수지
  • 제 1 박리층의 두께는 1∼10㎛
  • 제 2 박리층의 두께는 20∼100㎛
  • 제 1 박리층은 열가소성 수지를 함유
  • 제 2 박리층에 포함되는 수지는 폴리카보네이트 수지, 폴리우레탄 수지 및 탄화수소계 수지
최종 답변 (final_answer)
제 1 박리층과 제 2 박리층의 구성 및 두께는 다음과 같다. 1. 제 1 박리층 - 수지 성분: 열가소성 수지 (폴리에테르술폰 수지, 폴리이미드 수지, 폴리에스테르 수지, 폴리벤즈이미다졸 수지, 폴리페닐렌에테르 수지, 폴리페닐렌술피드 수지, 폴리아미드이미드 수지 및 폴리에테르케톤 수지 중 적어도 하나) - 두께: 1∼10㎛ 2. 제 2 박리층 - 수지 성분: 폴리카보네이트 수지, 폴리우레탄 수지 및 탄화수소계 수지 중 적어도 1종 - 두께: 20∼100㎛
핵심 해석 (core_interpretation)
제 1 박리층은 특정 열가소성 수지를 포함하며 얇은 두께(1-10㎛)를 유지하고, 제 2 박리층은 다른 종류의 수지를 포함하며 상대적으로 두꺼운 두께(20-100㎛)를 갖는다.