문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,접합부 계면으로부터 30㎛의 높이의 범위내의 보올의 조직을 반도체 펠리트표면과거의 평행으로 연마후, 상부로부터 현미경으로 관찰했을 때, 결정 입자 직경의 평균치가 15㎛이하임특징으로 하는반도체 장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,본딩 패드는알루미늄주성분으로하는재료로써 되는반도체 장치.
[청구항 4]
제1항에 있어서,본딩은 초음파 진동을 병용한열압착방식에의한와이어 본딩인반도체 장치.
[청구항 5]
제1항에 있어서,봉입으로서는 성형용 수지에 의하여 수지봉입되어 있는반도체 장치.
[청구항 6]
제1항에 있어서,반도체 펠리트로서는 ic가형성되어 있는반도체 장치.
[청구항 7]
제1항에 있어서,반도체 펠리트로서는 lsi가형성되어 있는반도체 장치.
[청구항 8]
제1항에 있어서,반도체 펠리트로서는 트랜지스터형성되어 있는반도체 장치.
[청구항 9]
제1항에 있어서,반도체 펠리트로서는 실리콘(si)기판에 집적 회로 또는 트랜지스터 등의 반도체 소자형성되어 있는반도체 장치.
[청구항 24]
제23항에 있어서,가스 공급 수단에는 가스를 100~200℃로 가열할 수 있는 히이터부설되어 있는와이어 본딩장치.
[청구항 25]
제23항에 있어서,방전전극에는 방전전원에 있어서의 음극접속되어 있는와이어 본딩장치.
[청구항 26]
제23항에 있어서,가스 공급 수단은 그 가스공급 출구부가 방전전극고정되어 있는와이어 본딩장치.
[청구항 27]
제23항에 있어서,와이어 접속공구는 초음파 진동을 병용하는 열압착 방식의 보올 본딩용 캐필러리인와이어 본딩장치.
[청구항 29]
제28항에 있어서,상기 가스공급 수단은 흡출가스의 온도가 100~200℃로 설정할 수 있는 히이터갖는것을특징으로 하는와이어 본딩장치.
[청구항 31]
제30항에 있어서,가스 공급수단이 와이어 선단에 생선되는 보올에 수소를 3%미만 함유하는 혼합가스를 공급하도록구성되어특징으로 하는와이어 본딩장치.
[청구항 32]
제30항에 있어서,가스 공급수단이 리이드 페레임에 수소를 4%미만 함유하는 혼합가스를 공급하도록구성되어특징으로 하는와이어 본딩장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
와이어 본딩 장치에서 가스 공급 수단이 공급하는 혼합가스의 수소 함유량은 와이어 선단에 생성되는 보올과 리드 프레임에 각각 어느 정도의 비율로 구성되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation와이어 본딩 장치의 가스 공급 수단이 공급하는 혼합가스 내 수소 함유량이 보올과 리드 프레임에 각각 어느 정도 비율로 구성되는지 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 31에서 보올에 대한 수소 함유량 조건을, 청구항 32에서 리드 프레임에 대한 수소 함유량 조건을 추출한다.
- 가스 공급수단이 와이어 선단에 생선되는 보올에 수소를 3%미만 함유하는 혼합가스를 공급하도록구성되어특징으로 하는와이어 본딩장
- 가스 공급수단이 리이드 페레임에 수소를 4%미만 함유하는 혼합가스를 공급하도록구성되어특징으로 하는와이어 본딩장치
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3근거 선택
evidence_selection보올의 수소 함유량은 3% 미만, 리드 프레임의 수소 함유량은 4% 미만임을 명시한 구절을 선택한다.
- 가스 공급수단이 와이어 선단에 생선되는 보올에 수소를 3%미만 함유하는 혼합가스
- 가스 공급수단이 리이드 페레임에 수소를 4%미만 함유하는 혼합가스
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4논리 통합
logical_integration추출된 두 정보를 결합하여 보올과 리드 프레임 각각의 수소 함유량 비율을 비교 및 정리한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation보올에는 3% 미만, 리드 프레임에는 4% 미만의 수소가 함유된 혼합가스가 공급됨을 결론짓는다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 보올 3% 미만, 리드 프레임 4% 미만으로 답변을 생성한다.
근거 (evidence)
- 가스 공급수단이 와이어 선단에 생선되는 보올에 수소를 3%미만 함유하는 혼합가스를 공급하도록구성되어특징으로 하는와이어 본딩장
- 가스 공급수단이 리이드 페레임에 수소를 4%미만 함유하는 혼합가스를 공급하도록구성되어특징으로 하는와이어 본딩장치
- 가스 공급수단이 와이어 선단에 생선되는 보올에 수소를 3%미만 함유하는 혼합가스
- 가스 공급수단이 리이드 페레임에 수소를 4%미만 함유하는 혼합가스
최종 답변 (final_answer)
보올에는 3% 미만, 리드 프레임에는 4% 미만의 수소가 함유된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
와이어 본딩 공정 시 보올과 리드 프레임의 특성에 맞추어 공급되는 혼합가스 내 수소의 함유량을 각각 다르게 제어하는 기술적 구성에 관한 것이다.