문맥 (context)
[청구항2]
제1항에 있어서,상기 일정 각도는지면수직인것을특징으로 하는박막 증착장치.
제1항에 있어서,상기 일정 각도는지면수직인것을특징으로 하는박막 증착장치.
[청구항3]
제1항에 있어서,상기 기판지지부는 상기 기판이 인입 또는 인출될 때, 상기 기판을 지면과 수평인상태지지하는것을특징으로 하는박막 증착장치.
제1항에 있어서,상기 기판지지부는 상기 기판이 인입 또는 인출될 때, 상기 기판을 지면과 수평인상태지지하는것을특징으로 하는박막 증착장치.
[청구항4]
제3항에 있어서,상기 기판지지부는 상기 기판이 상기 가스공급부를 지날 때, 상기 기판을 지면과 수직인상태운반하는것을특징으로 하는박막 증착장치.
제3항에 있어서,상기 기판지지부는 상기 기판이 상기 가스공급부를 지날 때, 상기 기판을 지면과 수직인상태운반하는것을특징으로 하는박막 증착장치.
[청구항5]
제1항에 있어서,상기 기판지지부는 수평 상태에서 상기 폐경로내측회전하는것을특징으로 하는박막 증착장치.
제1항에 있어서,상기 기판지지부는 수평 상태에서 상기 폐경로내측회전하는것을특징으로 하는박막 증착장치.
[청구항6]
제1항에 있어서,상기 기판이동부는상기 기판지지부와 연결되어 상기 기판지지부와 연동하는 연결부재와,상기 연결부재를 상기 직선경로 및 곡선경로를 따라 이동시키는 한 쌍의 구동부; 및상기 기판지지부가 이동 가능하게 지지하는 가이드부포함하는박막 증착장치.
제1항에 있어서,상기 기판이동부는상기 기판지지부와 연결되어 상기 기판지지부와 연동하는 연결부재와,상기 연결부재를 상기 직선경로 및 곡선경로를 따라 이동시키는 한 쌍의 구동부; 및상기 기판지지부가 이동 가능하게 지지하는 가이드부포함하는박막 증착장치.
[청구항7]
제1항에 있어서,상기 기판지지부는상기 기판지지부를 상기 기판이동부에 회전가능하게 연결하는 힌지결합부와, 상기 기판지지부를 상기 힌지결합부의 회전축을 중심으로 회동시키는 회전부와,상기 기판지지부가 일정 각도 이상 회전하는 것을 제한하는 회전제한부재포함하는박막 증착장치.
제1항에 있어서,상기 기판지지부는상기 기판지지부를 상기 기판이동부에 회전가능하게 연결하는 힌지결합부와, 상기 기판지지부를 상기 힌지결합부의 회전축을 중심으로 회동시키는 회전부와,상기 기판지지부가 일정 각도 이상 회전하는 것을 제한하는 회전제한부재포함하는박막 증착장치.
[청구항8]
제7항에 있어서,상기 회전부는 상기 기판지지부가 회전할 수 있는 구동력을 제공하는 구동모터포함하는박막 증착장치.
제7항에 있어서,상기 회전부는 상기 기판지지부가 회전할 수 있는 구동력을 제공하는 구동모터포함하는박막 증착장치.
[청구항9]
제7항에 있어서,상기 회전부는 상기 폐경로 상에 구비되며 상기 기판지지부가 이동함에 따라 상기 회전축을 중심으로 회동할 수 있도록 상기 기판지지부의 하부를 지지하는 레일부재포함하는박막 증착장치.
제7항에 있어서,상기 회전부는 상기 폐경로 상에 구비되며 상기 기판지지부가 이동함에 따라 상기 회전축을 중심으로 회동할 수 있도록 상기 기판지지부의 하부를 지지하는 레일부재포함하는박막 증착장치.
[청구항10]
제1항에 있어서,상기 기판지지부는상기 기판이 안착되는 서셉터와,상기 기판이 상기 서셉터로부터 이탈되지 않도록 고정시키는 고정부포함하는박막 증착장치.
제1항에 있어서,상기 기판지지부는상기 기판이 안착되는 서셉터와,상기 기판이 상기 서셉터로부터 이탈되지 않도록 고정시키는 고정부포함하는박막 증착장치.
[청구항11]
제10항에 있어서,상기 고정부는 정전기력에 의해 기판을 흡착하는 정전척포함하는박막 증착장치.
제10항에 있어서,상기 고정부는 정전기력에 의해 기판을 흡착하는 정전척포함하는박막 증착장치.
[청구항12]
제1항에 있어서,상기 기판을 상기 챔버 내부로 인입 및 인출시키는 기판인입인출부를 더 포함하고,상기 기판인입인출부는 상기 기판의 인입 및 인출을 수행할 수 있는 단일(single)또는별개장치로이루어진것을특징으로 하는박막 증착장치.
제1항에 있어서,상기 기판을 상기 챔버 내부로 인입 및 인출시키는 기판인입인출부를 더 포함하고,상기 기판인입인출부는 상기 기판의 인입 및 인출을 수행할 수 있는 단일(single)또는별개장치로이루어진것을특징으로 하는박막 증착장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판이 장치에 인입 또는 인출될 때와 가스공급부를 통과할 때, 기판지지부가 기판을 지지하는 상태의 차이는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation기판의 이동 단계(인입/인출 vs 가스공급부 통과)에 따른 기판지지부의 기판 지지 상태 변화를 비교 분석해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction인입/인출 시의 기판지지부 동작과 가스공급부 통과 시의 기판지지부 동작에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 기판지지부는 상기 기판이 인입 또는 인출될 때, 상기 기판을 지면과 수평인상태지지하는것
- 상기 기판지지부는 상기 기판이 상기 가스공급부를 지날 때, 상기 기판을 지면과 수직인상태운반하는것
-
3근거 선택
evidence_selection두 가지 서로 다른 동작 조건과 그에 따른 지지 상태(수평 vs 수직)를 나타내는 문구를 선택한다.
- 상기 기판이 인입 또는 인출될 때, 상기 기판을 지면과 수평인상태지지
- 상기 기판이 상기 가스공급부를 지날 때, 상기 기판을 지면과 수직인상태운반
-
4논리 통합
logical_integration인입/인출 단계에서는 '지면과 수평' 상태로 지지하고, 가스공급부 통과 단계에서는 '지면과 수직' 상태로 운반한다는 차이점을 도출한다.
- 지면과 수평인상태지지
- 지면과 수직인상태운반
-
5결론 도출
conclusion_formulation기판의 위치에 따라 기판지지부가 기판을 유지하는 각도가 수평에서 수직으로 변화함을 결론짓는다.
- 지면과 수평인상태지지
- 지면과 수직인상태운반
-
6답변 생성
answer_generation질문에 대해 명확하게 비교하여 답변을 작성한다.
- 상기 기판이 인입 또는 인출될 때, 상기 기판을 지면과 수평인상태지지
- 상기 기판이 상기 가스공급부를 지날 때, 상기 기판을 지면과 수직인상태운반
근거 (evidence)
- 상기 기판지지부는 상기 기판이 인입 또는 인출될 때, 상기 기판을 지면과 수평인상태지지하는것
- 상기 기판지지부는 상기 기판이 상기 가스공급부를 지날 때, 상기 기판을 지면과 수직인상태운반하는것
- 상기 기판이 인입 또는 인출될 때, 상기 기판을 지면과 수평인상태지지
- 상기 기판이 상기 가스공급부를 지날 때, 상기 기판을 지면과 수직인상태운반
- 지면과 수평인상태지지
- 지면과 수직인상태운반
최종 답변 (final_answer)
기판이 인입 또는 인출될 때는 기판지지부가 기판을 지면과 수평인 상태로 지지하지만, 기판이 가스공급부를 지날 때는 기판을 지면과 수직인 상태로 운반한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
기판의 이동 경로(인입/인출 구간 vs 가스공급부 구간)에 따라 기판지지부가 기판을 유지하는 각도가 수평에서 수직으로 전환된다.