문맥 (context)
[청구항2]
제1항에 있어서,상기기판(18) 주변근방의 빈틈으로 플라즈마가 집중되는 것을 방지하기 위해, 상기기판(18) 주변근방의 기판전극(17)과 상기 방착판의 제1개구부(31) 안쪽가장자지부위가 겹쳐서 이들 양자간에 빈틈구성된것을특징으로 하는반도체 제조장치.
[청구항3]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 방착판의 제2개구부가 여러개마련된것을특징으로 하는반도체 제조장치.
[청구항4]
제1항 내지 제3항중 어느 한 항에 있어서,상기 제2개구부를 통해서 피스파터입자가 상기 공간바깥으로 튀어나가지 않도록, 상기 제2개구부의 가장자리 부위가 절곡시켜 끼워형태로된것을특징으로 하는반도체 제조장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
청구항 4에 기재된 제2개구부의 가장자리 부위는 어떠한 형태로 구성되어 있으며, 이러한 구성이 수행하는 역할은 무엇입니까?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation청구항 4에서 제2개구부의 형태와 그 목적을 추출해야 함을 파악함
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2정보 추출
information_extraction제2개구부의 가장자리 부위가 '절곡시켜 끼워형태'라는 점과 '피스파터입자가 상기 공간바깥으로 튀어나가지 않도록' 한다는 정보를 추출함
- 상기 제2개구부의 가장자리 부위가 절곡시켜 끼워형태로된것을특징으로 하는
- 피스파터입자가 상기 공간바깥으로 튀어나가지 않도록
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3근거 선택
evidence_selection질문에 직접적으로 대응하는 형태(절곡시켜 끼워형태)와 기능(입자 이탈 방지) 근거를 선택함
- 상기 제2개구부의 가장자리 부위가 절곡시켜 끼워형태로된것을특징으로 하는
- 피스파터입자가 상기 공간바깥으로 튀어나가지 않도록
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4논리 통합
logical_integration형태적 특징(절곡시켜 끼워형태)이 기능적 목적(피스파터입자 이탈 방지)을 달성하기 위한 수단임을 연결함
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5결론 도출
conclusion_formulation제2개구부의 가장자리는 절곡시켜 끼워진 형태이며, 이는 피스파터입자가 공간 밖으로 튀어나가는 것을 막기 위함임
- 상기 제2개구부의 가장자리 부위가 절곡시켜 끼워형태로된것을특징으로 하는
- 피스파터입자가 상기 공간바깥으로 튀어나가지 않도록
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 완성된 문장으로 답변을 생성함
근거 (evidence)
- 상기 제2개구부의 가장자리 부위가 절곡시켜 끼워형태로된것을특징으로 하는
- 피스파터입자가 상기 공간바깥으로 튀어나가지 않도록
최종 답변 (final_answer)
제2개구부의 가장자리 부위는 절곡시켜 끼워진 형태로 구성되어 있으며, 이는 피스파터입자가 공간 바깥으로 튀어나가는 것을 방지하는 역할을 합니다.
핵심 해석 (core_interpretation)
청구항 4에 명시된 제2개구부의 물리적 구조(절곡시켜 끼워진 형태)와 그에 따른 기능적 효과(피스파터입자의 외부 유출 방지)를 기술함.