증착 장치

[청구항2] 제1항에 있어서,상기 가스공급부가상기기판탑재부의직선또는곡선이동구간설치되는것을특징으로 하는,증착 장치. 제1항에 있어서,상기 가스공급부가상기기판탑재부의직선또는곡선이동구간설치되는것을특징으로 하는,증착 장치. [청구항3] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 굴곡 유로의 폭이1내지인것을특징으로 하는,증착 장치. 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 굴곡 유로의 폭이1내지인것을특징으로 하는,증착 장치. [청구항4] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 돌출부의 표면거칠기(ra)가 0.2내지인것을특징으로 하는,증착 장치. 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 돌출부의 표면거칠기(ra)가 0.2내지인것을특징으로 하는,증착 장치. [청구항5] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 돌출부의 표면이 아크릴계 내열성 점착제, 실리콘계 내열성 점착제, 에폭시계 내열성 접착제, 폴리벤즈이미다졸계 내열성 접착체 및 폴리이미드계 내열성 접착제로 이루어진 군으로부터 선택된하나이상의점착제또는접착제코팅된것을특징으로 하는,증착 장치. 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 돌출부의 표면이 아크릴계 내열성 점착제, 실리콘계 내열성 점착제, 에폭시계 내열성 접착제, 폴리벤즈이미다졸계 내열성 접착체 및 폴리이미드계 내열성 접착제로 이루어진 군으로부터 선택된하나이상의점착제또는접착제코팅된것을특징으로 하는,증착 장치. [청구항6] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 반응챔버의 내벽과 상기 서셉터 사이의 거리nan가1내지인것을특징으로 하는,증착 장치. 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 반응챔버의 내벽과 상기 서셉터 사이의 거리nan가1내지인것을특징으로 하는,증착 장치. [청구항7] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 반응챔버의 내벽및 상기 서셉터는 서로 대향하는 각각의 면에 돌출부를 포함하고, 상기 돌출부들 사이의 공간이 유로저항을 갖는굴곡유로형성하는것을특징으로 하는,증착 장치. 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 반응챔버의 내벽및 상기 서셉터는 서로 대향하는 각각의 면에 돌출부를 포함하고, 상기 돌출부들 사이의 공간이 유로저항을 갖는굴곡유로형성하는것을특징으로 하는,증착 장치. [청구항8] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 가스공급부가 2개 이상이고, 상기 가스공급부 사이에 스페이서포함하는것을특징으로 하는,증착 장치. [청구항9] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 반응챔버의 내벽 또는 상기 기판탑재부에 설치되어,상기 기판탑재부의 이동, 위치, 또는 이들 모두를 감지하는센서를추가포함하는것을특징으로 하는,증착 장치. 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 반응챔버의 내벽 또는 상기 기판탑재부에 설치되어,상기 기판탑재부의 이동 및/또는 위치를 감지하는센서를추가포함하는것을특징으로 하는,증착 장치. [청구항10] 제9항에 있어서,상기 센서가 광센서이고, 상기 광센서는 광을 조사하는 발광부 및 상기 발광부로부터 조사된 광을 수광하는 수광부를 포함하며, 상기 발광부 및 상기 수광부는 인접한 상기 서셉터들 또는 상기 반응챔버의 내벽과 상기 내벽에 인접한상기서셉터각각설치되는것을특징으로 하는,증착 장치. 제9항에 있어서,상기 센서가 광센서이고, 상기 광센서는 광을 조사하는 발광부 및 상기 발광부로부터 조사된 광을 수광하는 수광부를 포함하며, 상기 발광부 및 상기 수광부는 인접한 상기 서셉터들 또는 상기 반응챔버의 내벽과 상기 내벽에 인접한상기서셉터각각설치되는것을특징으로 하는,증착 장치.